低温等离子发生装置及其制作方法及反应器与流程

技术特征：

技术总结
本发明提供一种低温等离子发生装置及其制作方法及反应器，低温等离子发生装置，包括发生单元，发生单元包括第一电极、第二电极和介质板。第一电极和第二电极均固定连接在介质板的同一面上，第一电极和第二电极与外部高压电源电连接，用以在第一电极和第二电极之间产生高电压，使介质板的背对第一电极和第二电极的一侧产生低温等离子。第一电极和第二电极之间存在间隙，在间隙中设置有绝缘部件，用以将第一电极和第二电极绝缘。本发明具有放电效果稳定，电能转换效率高、使用寿命长的优点。

技术研发人员：罗璐;江诗谦;徐宝友;刘国庆
受保护的技术使用者：罗璐
技术研发日：2017.04.27
技术公布日：2017.07.18