一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路的制作方法

文档序号:12844145阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路,其特征在于,所述接口电路包括:

电荷转换器电路、PI控制器电路、差分驱动电路,MEMS加速度计的检测正极SP和检测负极SN分别输入相位相反的脉冲电压,MEMS加速度计的驱动正极和驱动负极分别接差分驱动电路的两个输出端,MEMS加速度计中间电极MASS接电荷转换器电路的输入端;电荷转换器电路的输出端接PI控制器电路的输入端;PI控制器电路的输入为单端输入,输出为差分输出,PC控制器电路的输出接差分驱动电路的输入端。

2.根据权利要求1所述的低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路,其特征在于,所述电荷转换器电路包括:电阻R1,电容C1、C2,NMOS管MN1和偏置电流源Is,电荷转换器电路的输入端VI_CSA接电阻R1的正端和电容C1的正端;电阻R1的负端接模拟参考电压REF1;电容C1的负端与NMOS管MN1的栅极和电容C2的正端相连;MN1的源极接到模拟地,漏极接电流源Is1负端;电流源Is1正端与电源相连;电流源Is1负端和C2的负端、MN1的漏极一起接到电路转换器输出端VO_CSA。

3.根据权利要求1所述的低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路,其特征在于,所述PI控制器电路包括:电容C3、C4、C5,电阻R2、R3,开关PH1、PH2、PH3和单端运算放大器OP1、OP2,PI控制器电路的输入端VI_PI接到电容C3的正端;C3的负端分别和开关PH1、PH2和PH3的输入端相连;开关PH1的输出端与电阻R2的正端相接,与运放OP1的负输入端相接;开关PH2的输出端与电阻R3的正端相接,与运放OP2的负输入端相接;开关PH3的输出端和运放OP1、OP2的正输入端一起接到共模地;R2的正端与电容C4的正端相连;C4的负端与运放OP1的输出端相连,并接到PI控制器电路3的输出正极;R3的正端与电容C5的正端相连;C5的负端与运放OP1的输出端相连,并接到PI控制器电路3的输出负极。

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