一种图形复合对位靶标的制作方法

文档序号:13860807阅读:来源:国知局
一种图形复合对位靶标的制作方法

技术特征:

1.一种图形复合对位靶标,其特征在于,包括开设于HDI板(10)的各板角区域的四个呈圆环形的对位盲孔(20);其中,所述HDI板(10)呈长方形;

所述对位盲孔(20)的中间开设有圆形的对位通孔(30);所述对位盲孔(20)的圆心和所述对位通孔(30)的圆心重合;所述对位通孔(30)的直径小于所述对位盲孔(20)内环的直径;

所述对位盲孔(20)包括第一对位盲孔(21)、第二对位盲孔(22)、第三对位盲孔(23)和第四对位盲孔(24);所述第一对位盲孔(21)的圆心和所述第二对位盲孔的圆心的连线,垂直于所述第二对位盲孔(22)的圆心和所述第三对位盲孔的圆心的连线;

所述第四对位盲孔(24)的圆心和所述第一对位盲孔(21)的圆心的连线平行于所述HDI板(10)的宽度边(12),且平行于所述第二对位盲孔(22)的圆心和所述第三对位盲孔的圆心的连线;

所述第四对位盲孔(24)的圆心和所述第一对位盲孔(21)的圆心之间的距离,小于所述第二对位盲孔(22)的圆心和所述第三对位盲孔的圆心之间的距离。

2.根据权利要求1所述的图形复合对位靶标,其特征在于,所述对位盲孔(20)的外径为5±0.1mm;所述对位盲孔(20)的内径为4±0.1mm;其中,所述外径为所述对位盲孔(20)外环的直径,所述内径为所述对位盲孔(20)内环的直径;

所述对位通孔(30)的直径为2.5±0.1mm。

3.根据权利要求1所述的图形复合对位靶标,其特征在于,所述HDI板(10)长度边(11)包括第一长度边(111)和第二长度边(112);

所述第一对位盲孔(21)的圆心到所述第一长度边(111)之间的距离小于等于所述宽度边(12)长度的15%;所述第三对位盲孔(23)的圆心到所述第二长度边(112)之间的距离小于等于所述宽度边(12)长度的15%;

所述第四对位盲孔(24)为防呆对位盲孔,所述第四对位盲孔(24)的圆心到所述第二长度边(112)之间的距离大于所述宽度边(12)长度的15%,小于等于所述宽度边(12)长度的30%。

4.根据权利要求3所述的图形复合对位靶标,其特征在于,所述第一对位盲孔(21)的圆心到所述第一长度边(111)之间的距离,等于所述第三对位盲孔(23)的圆心到所述第二长度边(112)之间的距离;

所述第四对位盲孔(24)的圆心到所述第二长度边(112)之间的距离,为所述第三对位盲孔(23)的圆心到所述第二长度边(112)之间的距离的两倍。

5.根据权利要求3所述的图形复合对位靶标,其特征在于,所述HDI板(10)宽度边(12)包括第一宽度边(121)和第二宽度边(122);

所述第一对位盲孔(21)的圆心到所述第一长度边(111)之间的距离,等于所述第一对位盲孔(21)的圆心到所述第一宽度边(111)之间的距离;

所述第二对位盲孔(22)的圆心到所述第一长度边(111)之间的距离,等于所述第二对位盲孔(22)的圆心到所述第二宽度边(122)之间的距离。

6.根据权利要求5所述的图形复合对位靶标,其特征在于,所述第三对位盲孔(22)的圆心到所述第二长度边(112)之间的距离,等于所述第三对位盲孔(22)的圆心到所述第二宽度边(122)之间的距离。

7.根据权利要求5所述的图形复合对位靶标,其特征在于,所述对位盲孔(20)由若干个相互毗邻的直径为0.1mm的激光盲孔(203)排布而成。

8.根据权利要求5所述的图形复合对位靶标,其特征在于,所述对位通孔(30)由若干个相互毗邻的直径为0.1mm的激光通孔排布而成。

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