新型等离子发生电极板的制作方法

文档序号:15318446发布日期:2018-09-01 00:26阅读:290来源:国知局

本实用新型涉及一种新型等离子发生电极板。



背景技术:

现有的等离子发生电极板通常采用在整块实心铝板上用枪钻打出长深孔制得,结构简单,冷却水通入所述长深孔内对电极进行冷却,使所述电极散热。

由于结构的限制,现有的等离子发生电极板重量大,加工难度高,不良率高;另外,现有等离子发生电极板外壁厚度大,水冷散热效果差、效率低;等离子体穿过现有实心结构的电极板需要经过较长的扩散距离才能获得均匀的等离子场。因此,现有的等离子电极应用范围窄,应用现有等离子电极的设备如离子清洗机等的生产效率低下。



技术实现要素:

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种新型等离子发生电极板,能够大幅提高电极板的散热效率和效果,缩短等离子体的扩散距离,提高等离子场的均匀性。

为解决上述技术问题,本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种新型等离子发生电极板,包括相互连通的多根纵向铝管、焊接在所述多根纵向铝管上端的第一横向铝管、焊接在所述多根纵向铝管下端的第二横向铝管以及固定在所述第一横向铝管上部的中空导联杆;所述多根纵向铝管间隔设置;在所述第一横向铝管、第二横向铝管内沿纵向分别间隔固定有多个第一引流棒、第二引流棒;所述第一引流棒、第二引流棒交错设置在所述相邻的纵向铝管之间。

优选的,所述纵向铝管、第一横向铝管、第二横向铝管为方形铝管。

优选的,所述方形铝管的壁厚为0.9-1.3mm。

优选的,所述各纵向铝管之间的间隔不大于所述纵向铝管的宽度。

优选的,所述第一引流棒、第二引流棒为圆柱销。

优选的,所述第一引流棒焊接在所述第一横向铝管内;所述第二引流棒焊接在所述第二横向铝管内。

优选的,所述第一引流棒的长度等于所述第一横向铝管的高度、所述第二引流棒的长度等于所述第二横向铝管的高度。

优选的,所述第一横向铝管包括两根并排焊接固定的上管和下管。

本实用新型的有益效果是:本实用新型所提供的新型等离子发生电极板,第一横向铝管、间隔设置的纵向铝管和第二横向铝管焊接形成栅格结构,结构新颖,制造安装方便,合格率高,重量仅为现有等离子发生电极板的五分之一;格栅结构设计使等离子体的扩散距离大幅缩短,各电极板之间的等离子场强差异可以在较短的时间内获得平衡,提高了等离子场的均匀性;采用了铝管通冷却水,管内水流量是现有等离子发生电极板的三倍以上,大幅提高了电极的散热效果和效率。

附图说明

图1是本实用新型一较佳实施例中新型等离子发生电极板的结构示意图。

附图中各部件的标记如下:100-新型等离子发生电极板;10-纵向铝管;201-上管;202-下管;20-第一横向铝管;21-第一引流棒;30-第二横向铝管;31-第二引流棒;40-中空导联杆;箭头方向为管内的冷却水流向。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述,以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

本实用新型的一实施例提供了一种新型等离子发生电极板,多块所述新型等离子发生电极板装配在等离子腔体中,形成均匀度高的等离子场,可应用于各种等离子设备如离子清洗机等,提高等离子设备的生产效率。

请参阅图1,图1是本实施例中所述新型等离子发生电极板100的结构示意图,所述等离子发生电极板100包括相互连通的多根纵向铝管10、焊接在所述多根纵向铝管10上端的第一横向铝管20、焊接在所述多根纵向铝管10下端的第二横向铝管30以及固定在所述第一横向铝管20上部的中空导联杆40。

冷却水通入所述纵向铝管10、第一横向铝管20和第二横向铝管30内,按照一定的流向流动,以冷却所述电极板100,降低所述电极板100运作时的温度,保证了工艺过程的可控性。所述纵向铝管10上端与所述第一横向铝管20侧壁、所述纵向铝管10下端与所述第二横向铝管30侧壁之间的焊缝需要确保密封,防止管内的冷却水渗漏影响电极板100的正常作业。

本实施例中,所述中空导联杆40通过焊接固定在所述第一横向铝管20上,所述中空导联杆40设置有两根,用于传导等离子激发功率电源,其中空结构可以通入冷却水,用以降低电极板100的运作温度。

进一步的,所述纵向铝管10、第一横向铝管20、第二横向铝管30为方形铝管,较常见的圆形管,相同体积的方形管表面积更大,管内冷却水的换热面积增大;所述各方形铝管的壁厚仅为0.9-1.3mm,较现有的电极板,增加了管内的水流量,提高了电极板100的散热效果和效率。

本实施例中,所述第一横向铝管20包括两根并排焊接固定的上管201和下管202,所述中空导联杆40固定在所述上管201上,所述上管201为冷却水缓冲区,确保电极板100内的冷却水流通顺畅;所述下管202、第二横向铝管30用于分配冷却水至所述各纵向铝管10中。

所述多根纵向铝管10间隔设置形成栅格结构,较现有实心电极板,等离子腔内的等离子体可在所述栅格结构的电极板100之间自由贯穿,等离子体的扩散距离也大幅缩短,各电极板100间的等离子场强差异可以在较短的时间内获得平衡,提高了整个等离子腔内的等离子场均匀性;栅格结构进一步增加了管内冷却水的换热面积,提高散热效率。本实施例中,所述纵向铝管10设置有至少九根,实际生产中,可根据电极板的尺寸要求进行适应性调整。优选的,所述各纵向铝管10之间的间隔不大于所述纵向铝管10的宽度。

本实施例中,在所述第一横向铝管20、第二横向铝管30内沿纵向分别间隔固定有多个第一引流棒21、第二引流棒31,所述第一引流棒21、第二引流棒31交错设置在所述相邻的纵向铝管10之间,用于改变冷却水的流动方向,使整个电极板100能够被快速充分冷却,冷却水从右向左依次通过所述各纵向铝管10,每两根相邻的纵向铝管10之间均设置有引流棒,在所述第一引流棒21、第二引流棒31的导流和引流作用下,每两根相邻纵向铝管10内的冷却水流向均相反,相邻两根纵向铝管10内的冷却水形成对流,提高了电极板100的散热效率。优选的,所述第一引流棒21、第二引流棒31为圆柱销;所述第一引流棒21焊接在所述第一横向铝管20内;所述第二引流棒31焊接在所述第二横向铝管30内;所述第一引流棒21的长度等于所述第一横向铝管20的高度、所述第二引流棒31的长度等于所述第二横向铝管30的高度。

以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

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