四极杆电压控制电路的制作方法

文档序号:15175794发布日期:2018-08-14 18:24阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种四极杆电压控制电路,所述电压控制电路包括控制单元,顺次连接的第一数模转换器、第一调节单元、射频驱动单元、谐振单元、第一反馈电路和第一模数转换器,顺次连接的第二数模转换器、第二调节单元、射频驱动单元、谐振单元、第二反馈电路和第二模数转换器;第一开关,使得射频驱动单元选择性地连通第一数模转换器的输出端或第一调节单元的输出端;第二开关,使得射频驱动单元选择性地连通第二数模转换器的输出端或第二调节单元的输出端;第三开关,用于控制谐振单元的VRF‑输出端与第二反馈电路之间的通断;第四开关,使得VRF+输出端选择性地连接第一反馈电路或第二反馈电路。本实用新型具有操作简单、射频电压幅值相同等优点。

技术研发人员:杨继伟;李纲;钱隆;张建
受保护的技术使用者:杭州谱育科技发展有限公司
技术研发日:2017.12.30
技术公布日:2018.08.14

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