MEMS致动系统和方法与流程

文档序号:19420127发布日期:2019-12-14 01:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种制造微机电系统(mems)组件的方法,包括:

将微机电系统(mems)致动器安装至一金属板;

将图像传感器组件安装至微机电系统(mems)致动器上;以及

将图像传感器组件电连接至微机电系统(mems)致动器,从而形成微机电系统(mems)子组件。

2.根据权利要求1所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,其中将微机电系统(mems)致动器安装至一金属板包括:

将环氧树脂施加至所述金属板;

将微机电系统(mems)致动器定位在环氧树脂上;以及

固化环氧树脂。

3.根据权利要求1所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,其中将图像传感器组件安装至微机电系统(mems)致动器包括:

将环氧树脂施加至微机电系统(mems)致动器;

将图像传感器定位在环氧树脂上;以及

固化环氧树脂。

4.根据权利要求1所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,其中将图像传感器组件电连接至微机电系统(mems)致动器包括:

将图像传感器组件引线接合到微机电系统(mems)致动器。

5.根据权利要求1所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,还包括:

将微机电系统(mems)子组件安装至一印刷电路板。

6.根据权利要求5所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,其中将微机电系统(mems)子组件安装至一印刷电路板包括:

将环氧树脂施加至所述印刷电路板;

将微机电系统(mems)子组件定位在环氧树脂上;以及

固化环氧树脂。

7.根据权利要求5所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,还包括:

将微机电系统(mems)子组件电连接至所述印刷电路板。

8.根据权利要求7所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,其中将微机电系统(mems)子组件电连接至所述印刷电路板包括:

将微机电系统(mems)子组件引线接合至所述印刷电路板。

9.根据权利要求8所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,其中将微机电系统(mems)子组件电连接至所述印刷电路板还包括:

将引线接合封装在环氧树脂中。

10.根据权利要求1所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,还包括:

将保持器组件安装至微机电系统(mems)子组件。

11.根据权利要求10所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,其中将保持器组件安装至微机电系统(mems)子组件包括:

将环氧树脂施加至所述印刷电路板;

将保持器组件定位在环氧树脂上;以及

固化环氧树脂。

12.一种制造微机电系统(mems)组件的方法,包括:

将微机电系统(mems)致动器安装至一金属板;

将图像传感器组件安装至微机电系统(mems)致动器;

将图像传感器组件电连接至微机电系统(mems)致动器,从而形成微机电系统(mems)子组件;

将微机电系统(mems)子组件安装至一印刷电路板;以及

将微机电系统(mems)子组件电连接至所述印刷电路板。

13.根据权利要求12所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,其中将微机电系统(mems)致动器安装至一金属板包括:

将环氧树脂施加至所述金属板;

将微机电系统(mems)致动器定位在环氧树脂上;以及

固化环氧树脂。

14.根据权利要求12所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,其中将图像传感器组件安装至微机电系统(mems)致动器包括:

将环氧树脂施加至微机电系统(mems)致动器;

将图像传感器定位在环氧树脂上;以及

固化环氧树脂。

15.根据权利要求12所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,其中将图像传感器组件电连接至微机电系统(mems)致动器包括:

将图像传感器组件引线接合到微机电系统(mems)致动器。

16.根据权利要求12所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,其中将微机电系统(mems)子组件安装至一印刷电路板包括:

将环氧树脂施加至所述印刷电路板;

将微机电系统(mems)子组件定位在环氧树脂上;以及

固化环氧树脂。

17.根据权利要求12所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,其中将微机电系统(mems)子组件电连接至所述印刷电路板包括:

将微机电系统(mems)子组件引线接合至所述印刷电路板;以及

将引线接合封装在环氧树脂中。

18.根据权利要求12所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,还包括:

将保持器组件安装至微机电系统(mems)子组件。

19.根据权利要求18所述的制造微机电系统(mems)组件的方法,其中将保持器组件安装至微机电系统(mems)子组件包括:

将环氧树脂施加至所述印刷电路板;

将保持器组件定位在环氧树脂上;以及

固化环氧树脂。

20.一种制造微机电系统(mems)组件的方法,包括:

将微机电系统(mems)致动器安装至一金属板;

将图像传感器组件安装至微机电系统(mems)致动器;

将图像传感器组件电连接至微机电系统(mems)致动器,从而形成微机电系统(mems)子组件;

将微机电系统(mems)子组件安装至一印刷电路板;

将微机电系统(mems)子组件电连接至所述印刷电路板;以及

将保持器组件安装至微机电系统(mems)子组件。


技术总结
一种制造微机电系统(MEMS)组件的方法包括将微机电系统(MEMS)致动器安装到一金属板。将图像传感器组件安装到微机电系统(MEMS)致动器。图像传感器组件电连接到微机电系统(MEMS)致动器,从而形成微机电系统(MEMS)子组件。

技术研发人员:M·伍;刘晓蕾;王桂芹
受保护的技术使用者:麦斯卓有限公司
技术研发日:2017.09.08
技术公布日:2019.12.13
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1