自动加载型供料器的检查装置及电子元件安装机的制作方法

本说明书涉及自动加载型供料器的检查装置及电子元件安装机。

背景技术：

以往，已知有如下的自动加载型供料器：在基带上粘贴有盖带的载带的搬运过程中将盖带剥离，以能够将载带内的元件取出的状态供给到元件供给位置(例如参照专利文献1)。载带具有设有收容电子元件(以下简称为元件。)的收容部的基带和封闭收容部的盖带。为了能够将收容在收容部中的元件取出，盖带以能够剥离的方式粘贴于基带。

自动加载型供料器具备对搬运路上的载带进行引导的带引导件。带引导件具有沿着载带的搬运方向延伸的带引导件主体和使刀尖处于搬运方向的上游侧而沿着搬运方向延伸的剥离刀。带引导件主体形成为具有上壁部及侧壁部。在上壁部，设有切除一部分而形成的开口部。剥离刀从带引导件主体的上壁部中的开口部的搬运方向下游侧向搬运方向上游侧的斜下方延伸。剥离刀在载带相对于带引导件主体进行搬运的过程中进入到基带与盖带之间的边界，将盖带从基带剥离。这样从基带剥离盖带时，剥离刀的刀尖的高度位置很重要。

在上述的专利文献1所记载的自动加载型供料器中，为了易于将盖带从基带剥离，设有在基带的前端形成凹部的带切断机构。当通过带切断机构在基带的前端形成凹部时，在该基带与盖带之间形成了间隙。因此，能够使剥离刀的刀尖容易地进入到基带与盖带之间，能够切实地将盖带从基带剥离。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-157933号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

但是，当剥离刀相对于带引导件主体的高度位置因为时经多年、安装托架等的热变形等而变化时，有时剥离刀的刀尖无法再进入到沿着带引导件主体搬运的载带的基带与盖带之间。但是，上述的设有在基带的前端形成凹部的带切断机构的构造并没有应对剥离刀的高度位置的变化，所以仅在事后才能够发现盖带不能从基带剥离的情况。

本说明书的目的在于提供一种能够事先检测出剥离刀相对于带引导件主体的高度位置成为不能剥离的状态的自动加载型供料器的检查装置及搭载有自动加载型供料器的电子元件安装机。

用于解决课题的手段

本说明书公开了自动加载型供料器的检查装置，自动加载型供料器具有：带引导件主体，沿着载带的搬运方向延伸，所述载带在设有收容电子元件的收容部的基带上粘贴有封闭上述收容部的盖带；及剥离刀，以刀尖朝着上述搬运方向的上游侧的方式沿着上述搬运方向延伸，从由上述带引导件主体引导的上述载带的上述基带剥离上述盖带，上述自动加载型供料器的检查装置具备：高度检测传感器，输出与上述剥离刀相对于上述带引导件主体的基准点的高度位置对应的信号；及高度判别部，基于上述高度检测传感器的输出信号，来判别上述剥离刀相对于由上述带引导件主体引导的上述载带的高度位置是否在预定范围内。

根据本公开，检查装置具备高度检测传感器，该高度检测传感器输出与剥离刀相对于带引导件主体的基准点的高度位置对应的信号。高度检测传感器的输出信号被传送至高度判别部。高度判别部基于该高度检测传感器的输出信号来判别上述剥离刀相对于由带引导件主体引导的上述载带的高度位置是否在预定范围内。根据该结构，能够事先检测出剥离刀相对于带引导件主体的高度位置成为不能剥离的状态。

本说明书公开了电子元件安装机，该电子元件安装机搭载有自动加载型供料器并且具备移载头，该自动加载型供料器具有：带引导件主体，沿着载带的搬运方向延伸，所述载带在设有收容电子元件的收容部的基带上粘贴有封闭上述收容部的盖带；及剥离刀，以刀尖朝着上述搬运方向的上游侧的方式沿着上述搬运方向延伸，从由上述带引导件主体引导的上述载带的上述基带剥离上述盖带，上述移载头能够移动位置以移载上述盖带被剥离后的上述基带的上述收容部内的上述电子元件，上述电子元件安装机具备：高度检测传感器，安装于上述移载头，输出与上述剥离刀相对于上述带引导件主体的基准点的高度位置对应的信号；及高度判别部，基于上述高度检测传感器的输出信号，来判别上述剥离刀相对于由上述带引导件主体引导的上述载带的高度位置是否在预定范围内。

根据本公开，在能够移动位置以移载盖带被剥离后的基带的收容部内的电子元件的移载头上，安装有高度检测传感器，该高度检测传感器输出与剥离刀相对于带引导件主体的基准点的高度位置对应的信号。高度检测传感器的输出信号被传送至高度判别部。高度判别部基于该高度检测传感器的输出信号来判别上述剥离刀相对于由带引导件主体引导的上述载带的高度位置是否在预定范围内。根据该结构，能够事先检测出剥离刀相对于带引导件主体的高度位置成为不能剥离的状态。

附图说明

图1是搭载有一实施方式涉及的自动加载型供料器的电子元件安装机整体的结构图。

图2是载带的俯视图。

图3是图2所示的载带的iii-iii剖视图。

图4是实施方式的自动加载型供料器的侧面侧的透视图。

图5是实施方式的自动加载型供料器的侧面侧后部的放大图。

图6是实施方式的自动加载型供料器中的操作杆被抬起的状态下的侧面侧后部的放大图。

图7是实施方式的自动加载型供料器中的操作杆的抬起被解除而搬运载带的状态下的侧面侧后部的放大图。

图8是表示实施方式的供料器中在传送载带时产生的带引导件与载带之间的位置关系的图。

图9是实施方式的自动加载型供料器的前部的立体图。

图10是实施方式的自动加载型供料器的带引导件的剥离刀附近的俯视图。

图11是实施方式的自动加载型供料器的带引导件的剥离刀附近的剖视图。

图12是表示载带与剥离刀之间的高度位置关系的图。

图13是在实施方式的自动加载型供料器的检查装置中执行的控制例程的一例的流程图。

图14是一变形方式涉及的自动加载型供料器的带引导件的剥离刀附近的剖视图。

图15是另一变形方式涉及的自动加载型供料器的检查装置所具备的高度检测传感器的附近的概略侧视图。

图16是表示高度测定对象的高度位置处于正常高度时高度检测传感器的投光部在高度测定对象的表面描绘出点c的状态的图。

图17是表示高度测定对象的高度位置过高时高度检测传感器的投光部在高度测定对象的表面描绘出点c的状态的图。

图18是表示高度测定对象的高度位置处于正常高度时高度检测传感器的投光部在高度测定对象的表面描绘出条纹花样s的状态的图。

图19是表示高度测定对象的高度位置过高时高度检测传感器的投光部在高度测定对象的表面描绘出条纹花样s的状态的图。

具体实施方式

1.搭载有自动加载型供料器的电子元件安装机的结构

利用图1-图3对于搭载有一实施方式的自动加载型供料器的电子元件安装机1的结构进行说明。本实施方式的自动加载型供料器是搭载于设置在向基板安装电子元件的基板生产线上的电子元件安装机1(以下简称为元件安装机1。)的装置。如图1所示，元件安装机1具备基板搬运部10、元件供给部20及元件移载部30。

基板搬运部10是搬运作为生产对象的电路基板等基板50的装置。基板搬运部10具有一对导轨11、12、传送带(未图示)及紧固装置(未图示)。导轨11、12设置于基台上。一对导轨11、12空出间隔而相互平行地配置。导轨11、12对基板50进行引导。传送带是能够载置基板50的带部件，设置成能够轮转。传送带将载置的基板50向导轨11、12延伸的搬运方向x进行搬运。基板50由一对导轨11、12进行引导并由传送带向搬运方向x搬运。紧固装置配设成将基板50定位于预定的元件安装位置。基板50当由传送带搬运至预定的元件安装位置时，由紧固装置进行定位。

元件供给部20是将向基板50安装的电子元件60供给至预定的元件供给位置l的装置。电子元件60是构成电子电路的晶体管、二极管、电阻等元件。以下，将电子元件60简称为元件。另外，元件60可以包含例如0201尺寸(0.2mm×0.1mm)等微小元件。

元件供给部20具有插槽21、自动加载型供料器22及带盘保持部23。插槽21安装于基台。插槽21相对于基板搬运部10而沿着与搬运方向x正交的方向y(以下称作正交方向。)配置。插槽21是以能够拆装的方式安装自动加载型供料器22的保持部。插槽21在搬运方向x上并排地设有多个。

带盘保持部23能够将两个带盘70、71保持为能够分别更换且能够旋转。带盘保持部23具有与带盘70对应的第一保持部23a和与带盘71对应的第二保持部23b。带盘保持部23相对于自动加载型供料器22而沿着正交方向y配置。第一保持部23a与第二保持部23b在正交方向y上并排地配置。带盘保持部23与安装自动加载型供料器22的插槽21对应地在搬运方向x上并排地设有多个。带盘70、71分别是卷绕收容有多个元件60的载带80的旋转体。

载带80是将多个元件60沿着长度方向收容为一列的带部件。如图2及图3所示，载带80具有基带81和盖带83。基带81由纸材、树脂等柔软的材料构成。在基带81上，设有收容孔81a。收容孔81a是能够收容元件60的收容部。收容孔81a在基带81的长度方向上以预定间隔设置。

另外，载带80可以是收容孔81a贯通基带81的结构，或者，也可以是在基带81上封闭收容孔81a的压花型。而且，载带80是如图3所示地收容孔81a贯通基带81的构造时，为了保持收容于该收容孔81a中的元件60而防止该元件60的脱落，还具有粘接于基带81的下表面(具体地说，其整个面)的底带82。该底带82由透明或半透明的纸材、高分子薄膜等构成。

而且，在基带81上贯通地设有卡合孔81b。卡合孔81b是与后述的带齿卷盘的卡合突起卡合的传送孔。卡合孔81b形成为大致圆形或楕圆形。卡合孔81b具有能够与后述的带齿卷盘的卡合突起卡合的大小。卡合孔81b在基带81的长度方向上以预定间隔设置。

上述的收容孔81a在基带81的宽度方向的一侧沿着长度方向配置成一列。而且，上述的卡合孔81b在基带81的宽度方向的另一侧沿着长度方向配置成一列。基带81的长度方向上的收容孔81a的间隔间距与卡合孔81b的间隔间距预先对应。例如，收容孔81a的间隔间距可以是卡合孔81b的间隔间距的2倍，也可以与该卡合孔81b的间隔间距相同或是1/2倍等。

盖带83粘接于基带81的上表面(另外，设有卡合孔81b的部分可除外。)。在载带80的宽度方向两侧，将盖带83粘接到基带81上。盖带83具有将基带81的收容孔81a的上部封闭而防止收容在该收容孔81a中的元件60飞出的功能。盖带83由透明的高分子薄膜等构成。

自动加载型供料器22以能够拆装的方式安装于插槽21。自动加载型供料器22是通过沿着与基板50的搬运方向x正交的正交方向y传送卷绕在保持于带盘保持部23的带盘70、71上的载带80而将收容在载带80的收容孔81a中的元件60供给至预定的元件供给位置l的装置。另外，在后文对于自动加载型供料器22进行详细描述。

元件移载部30是将供给至预定的元件供给位置l的元件60从载带80向定位于预定的元件安装位置的基板50移载的装置。元件移载部30具有y轴滑动件31、x轴滑动件32及安装头33。

y轴滑动件31由导轨34、35支撑于基台。导轨34、35沿着与基板搬运部10对基板50的搬运方向x正交的正交方向y延伸，并配设于基板搬运部10的上方。y轴滑动件31能够沿着导轨34、35向正交方向y移动。在y轴滑动件31上以机械方式连结有y轴伺服马达(未图示)。y轴滑动件31通过y轴伺服马达而向正交方向y移动位置。

x轴滑动件32以能够向搬运方向x移动的方式安装于y轴滑动件31。在x轴滑动件32上，以机械方式连结有固定于y轴滑动件31的x轴伺服马达(未图示)。x轴滑动件32通过x轴伺服马达而向搬运方向x移动位置。

在x轴滑动件32上，安装有安装头33。安装头33以能够拆装的方式保持能够吸附元件60的吸嘴(未图示)。另外，安装头33可以为能够保持多个吸嘴。安装头33是能够沿着与搬运方向x及正交方向y都正交的上下方向z移动位置的移载头。安装头33的吸嘴利用负压等吸附由元件供给部20供给到预定的元件供给位置l的元件60，并且通过解除对所吸附的元件60的吸附，安装于定位于预定的元件安装位置的基板50。

在x轴滑动件32上，安装有基板相机36。基板相机36能够从上方拍摄定位于预定的元件安装位置的基板50的基准标记，取得基板位置基准信息，并且从上方拍摄供给到预定的元件供给位置l的元件60，取得元件位置信息。该元件位置信息在向安装头33的吸嘴上吸附元件60时被用于该吸嘴的位置控制、姿势控制。而且，上述的基板位置基准信息在向基板50上安装吸附于安装头33的吸嘴的元件60时被用于该吸嘴的位置控制、姿势控制。

在元件移载部30的基台上，安装有元件相机37。元件相机37从下方拍摄由安装头33的吸嘴吸附的元件60，取得该元件60的姿势信息等。该姿势信息在向基板50上安装吸附于安装头33的吸嘴的元件60时被用于该吸嘴的位置控制、姿势控制。

而且，在安装头33上，安装有高度检测传感器38。高度检测传感器38是测定基板50的高度位置并且测定自动加载型供料器22的后述的预定部位的高度位置的传感器。由高度检测传感器38测定的基板50的高度位置的信息在向基板50上安装吸附于安装头33的吸嘴的元件60时被用于该吸嘴的位置控制、姿势控制。高度检测传感器38由光学式或超音波式等构成。高度检测传感器38相对于吸嘴而配置于在搬运方向x及正交方向y上偏移的位置。另外，高度检测传感器38的安装位置可以是与安装头33一体化的部件，也可以在x轴滑动件32、基板相机36上。

2.自动加载型供料器的结构

接着，利用图4～图9对自动加载型供料器22的详细结构进行说明。自动加载型供料器22是将卷绕在保持于带盘保持部23的带盘70、71上的载带80沿着正交方向y传送而将收容在该载带80中的元件60供给至预定的元件供给位置l的装置。如图4所示，自动加载型供料器22具备供料器主体100、带齿卷盘140及马达150、160。

供料器主体100形成为扁平的箱形。供料器主体100具有带插入部101和带排出部102。带插入部101是用于插入载带80的插入口。带插入部101设置在供料器主体100的后部(即，与基板搬运部10侧相反一侧的部位)。带排出部102是用于将载带80排出到外部的排出口。带排出部102设置在供料器主体100的前部(即，基板搬运部10侧的部位)。

在供料器主体100上设有带搬运路103。带搬运路103从带插入部101到带排出部102而沿着载带80的搬运方向延伸。该供料器主体100中的载带80的搬运方向在将自动加载型供料器22安装于元件供给部20的插槽21中的情况下和与上述的基板50的搬运方向x正交的正交方向y一致。

带搬运路103从带插入部101到带排出部102而对搬运过程中的载带80的下表面及侧面进行支撑而对搬运过程中的载带80进行引导。带搬运路103形成为具有与载带80的长度方向正交的宽度方向的尺寸相同或比该尺寸略大的路宽。带搬运路103以从后部到前部逐渐升高的方式倾斜。带搬运路103的最前部形成为水平。

供料器主体100具有入口按压部件104和下游侧按压部件105。入口按压部件104在带搬运路103的后部的上方接近带插入部101地配置，且沿着与带搬运路103平行的方向形成。下游侧按压部件105在带搬运路103的上方相对于入口按压部件104而配置在前侧(下游侧)。入口按压部件104及下游侧按压部件105分别设置成能够与带搬运路103接触或分离。

入口按压部件104配置在下游侧按压部件105的后部下方，经由一对轴106而安装于该下游侧按压部件105的后部。在一对轴106上，安装有向下方对入口按压部件104施力的弹簧107。入口按压部件104具有在被弹簧107向下方施力时向带搬运路103的上表面按压被插入于带插入部101的载带80的功能。

下游侧按压部件105经由一对轴109-1、109-2而安装于被安装在供料器主体100上的支撑部件108-1、108-2。在轴109-1、109-2上，安装有向下方对下游侧按压部件105施力的弹簧110。下游侧按压部件105具有在被弹簧110向下方施力时在入口按压部件104的下游侧向带搬运路103按压载带80的功能。

带齿卷盘140是设置于供料器主体100中的带搬运路103的下方的圆盘状的部件。带齿卷盘140是沿着将带搬运路103上的载带80从带插入部101侧向带排出部102侧搬运的方向(即正方向)旋转的旋转体。另外，带齿卷盘140也可以是能够沿着将该载带80从带排出部102侧向带插入部101侧搬运的方向(即反方向)旋转。

带齿卷盘140具有后部侧带齿卷盘141和前部侧带齿卷盘142。后部侧带齿卷盘141以能够旋转的方式安装于供料器主体100中的带搬运路103的后部侧。后部侧带齿卷盘141通过正转而沿着带搬运路103向带排出部102侧传送被插入于带插入部101的载带80。而且，前部侧带齿卷盘142以能够旋转的方式安装于供料器主体100中的带搬运路103的前部侧。前部侧带齿卷盘142通过正转而向带排出部102侧、进而从带排出部102向外部传送被从带插入部101侧沿着带搬运路103所搬运的载带80。

沿着带搬运路103设有两个后部侧带齿卷盘141。以下，分别适当地将上游侧(即后部侧)的后部侧带齿卷盘141称作第一后部侧带齿卷盘141-1，将下游侧(即前部侧)的后部侧带齿卷盘141称作第二后部侧带齿卷盘141-2。第一后部侧带齿卷盘141-1与第二后部侧带齿卷盘141-2相互向相同的旋转方向同步地旋转。

沿着带搬运路103设有两个前部侧带齿卷盘142。以下，分别适当地将上游侧(即后部侧)的前部侧带齿卷盘142称作第一前部侧带齿卷盘142-1，将下游侧(即前部侧)的前部侧带齿卷盘142称作第二前部侧带齿卷盘142-2。第一前部侧带齿卷盘142-1与第二前部侧带齿卷盘142-2相互向相同的旋转方向同步地旋转。

各带齿卷盘140(具体为带齿卷盘141-1、141-2、122-1、142-2)分别具有卡合突起143。卡合突起143是在带齿卷盘140的外周向径向外侧突出的外齿。第二后部侧带齿卷盘141-2的卡合突起143、第一前部侧带齿卷盘142-1的卡合突起143及第二前部侧带齿卷盘142-2的卡合突起143分别遍布其外周全周地以预定角度设置。另一方面，第一后部侧带齿卷盘141-1的卡合突起143设置在其外周的一部分。即，第一后部侧带齿卷盘141-1在其外周上具有未设置卡合突起143的部分。

在带搬运路103中的位于各带齿卷盘140的上方的部分设有窗孔。各带齿卷盘140分别以上端附近的卡合突起143通过窗孔而突出到带搬运路103上方的方式配置。卡合突起143能够在突出到带搬运路103上方的状态下与载带80的卡合孔81b卡合。

卡合突起143形成为剖面形状大致呈方形，并且形成为周向宽度从径向内侧向径方向外侧逐渐变小、即侧面观察时呈梯形形状。卡合突起143具有能够与载带80的卡合孔81b卡合的大小。卡合突起143形成为以其突起中心与载带80的卡合孔81b的孔中心一致的状态与该卡合孔81b卡合。

各带齿卷盘140分别具有齿轮144。齿轮144在比带齿卷盘140的设有卡合突起143的外周靠内径侧处形成。齿轮144处在带搬运路103的下方，而不会从上述的窗孔突出到带搬运路103上方。

马达150安装于供料器主体100的后部侧。以下，将该马达150称作后部侧马达150。后部侧马达150是使后部侧带齿卷盘141即第一后部侧带齿卷盘141-1及第二后部侧带齿卷盘141-2旋转的伺服马达。后部侧马达150能够使后部侧带齿卷盘141-1、141-2向正方向旋转。另外，后部侧马达150也可以是能够使后部侧带齿卷盘141-1、141-2向反方向旋转。

在后部侧马达150的旋转轴151上设有驱动齿轮152。驱动齿轮152经由以能够旋转的方式安装于供料器主体100的两个齿轮153、154而与后部侧带齿卷盘141-1、141-2的齿轮144啮合。在该结构中，当使后部侧马达150旋转时，其旋转在利用齿轮153、154进行减速的同时被传递至第一后部侧带齿卷盘141-1及第二后部侧带齿卷盘141-2，上述后部侧带齿卷盘141-1、141-2相互同步地旋转。

马达160安装于供料器主体100的前部侧。以下，将该马达160称作前部侧马达160。前部侧马达160是使前部侧带齿卷盘142即第一前部侧带齿卷盘142-1及第二前部侧带齿卷盘142-2旋转的伺服马达。前部侧马达160能够使前部侧带齿卷盘142-1、142-2向正方向旋转。另外，前部侧马达160也可以是能够使前部侧带齿卷盘142-1、142-2向反方向旋转。

在前部侧马达160的旋转轴161上设有驱动齿轮162。驱动齿轮162经由以能够旋转的方式安装于供料器主体100的两个齿轮163、164而与前部侧带齿卷盘142-1、142-2的齿轮144啮合。在该结构中，当使前部侧马达160旋转时，其旋转在利用齿轮163、164进行减速的同时被传递至第一前部侧带齿卷盘142-1及第二前部侧带齿卷盘142-2，这些前部侧带齿卷盘142-1、142-2相互同步地旋转。

在供料器主体100上，设有操作杆112。操作杆112设置成在比供料器主体100的带插入部101的位置靠上方处向后方突出。操作杆112以能够以枢轴113为中心而转动的方式支撑于供料器主体100的后部。操作杆112由作业者以枢轴113为中心来进行转动操作。

在操作杆112上，活动地连结有入口按压部件104。如图5所示，入口按压部件104具有配置在一对轴106之间的卡合部件104a。在操作杆112的前后中央部，设有活动卡合部112a。活动卡合部112a与入口按压部件104的卡合部件104a的下表面卡合。操作杆112通过弹簧114的作用力而向预定转向(在图5中为逆时针方向)转动。在操作杆112上未被施加克服弹簧114的作用力的力(即与该作用力下的转动方向相反的方向(在图5中为顺时针方向)的力)的通常情况下，如图5所示，活动卡合部112a被保持在预定的下端位置，入口按压部件104被弹簧107的作用力向带搬运路103按压，所以不能将新的载带80插入于带插入部101。

另一方面，如图6所示，当操作杆112被作业者向上方抬起而克服弹簧114的作用力以枢轴113为中心转动时，活动卡合部112a上升，入口按压部件104克服弹簧107的作用力而上升。因此，当作业者抬起操作杆112时，入口按压部件104与带搬运路103分离，因此能够将新的载带80插入于带插入部101。

挡板115枢支于入口按压部件104的后部。挡板115具有在向带搬运路103按压入口按压部件104的状态下通过自重将带插入部101封闭而不能将新的载带80插入的功能。挡板115在入口按压部件104上升时与下游侧按压部件105的后部卡合而转动，从而开放以能够将新的载带80插入于带插入部101。

在入口按压部件104的下游侧，相邻地设有止动部件116。止动部件116通过设置于其中央部的轴支撑部116a而以能够转动的方式支撑于下游侧按压部件105。在止动部件116上，设有抵接部116b。抵接部116b设置于比止动部件116的轴支撑部116a靠前方处的下部。抵接部116b是向下方突出而能够与带搬运路103抵接的部位。抵接部116b被设置在下游侧按压部件105与止动部件116之间的弹簧(未图示)向与带搬运路103抵接的方向施力。

在止动部件116的后端部，设有停止部116c。停止部116c设置成能够与带搬运路103接触或分离。停止部116c具有能够与载带80的前端抵接的后表面，具有在与带搬运路103抵接时能够阻止向该载带80的下游侧搬运的功能。停止部116c配置于前端与该停止部116c的后表面抵接的载带80的卡合孔81b与第一后部侧带齿卷盘141-1的卡合突起143是否发生卡合的边界位置。另外，该卡合是在停止部116c与带搬运路103分离的状态下实现的。

在止动部件116上设有突出部116d。突出部116d设置于止动部件116的、比轴支撑部116a靠前方处的上部。突出部116d向上方突出。在突出部116d的前端，设有凸轮从动件116e。在操作杆112的前部，形成有凸轮部112b。凸轮部112b与凸轮从动件116e以能够卡合或分离的方式卡合。

如图5所示，操作杆112通过弹簧114的作用力而向预定转向转动，在将入口按压部件104保持于与带搬运路103抵接的位置的状态下，操作杆112的凸轮部112b与止动部件116的凸轮从动件116e分离。在这种情况下，止动部件116通过图略的弹簧的作用力以轴支撑部116a为中心而向相反转向转动，保持为使抵接部116b与带搬运路103抵接并且使停止部116c与带搬运路103分离的状态。

另一方面，如图6所示，当操作杆112克服弹簧114的作用力而进行转动时，操作杆112的凸轮部112b与止动部件116的凸轮从动件116e卡合。在这种情况下，止动部件116克服图略的弹簧的作用力而以轴支撑部116a为中心向预定转向转动，使停止部116c与带搬运路103抵接。当在这样的状态下将载带80插入于带插入部101时，被插入的该载带80在进入到供料器主体100中的带上表面施力部件与带下表面施力部件之间后，其前端与止动部件116的停止部116c抵接而停止。

另外，在载带80(以下将该载带80称作旧载带80。)通过带搬运路103与止动部件116的抵接部116b之间后，由该旧载带80将抵接部116b抬起，止动部件116的停止部116c与带搬运路103抵接。当在这样的状态下将新的载带80(以下，将该载带80称作新载带80。)插入于带插入部101而重叠于旧载带80上时，该新载带80在进入到带上表面施力部件与带下表面施力部件之间后，其前端与止动部件116的停止部116c抵接而停止。由此，当在带搬运路103上搬运旧载带80时，新载带80被阻止向下游侧搬运，新载带80在此位置进行待机。

而且，如图4所示，供料器主体100具有上表面按压部件120。上表面按压部件120配置在第二后部侧带齿卷盘141-2与第一前部侧带齿卷盘142-1之间的带搬运路103的上方，沿着与该带搬运路103平行的方向形成。在上表面按压部件120的前端部形成有轴支撑部121。轴支撑部121轴支撑于设置在供料器主体100上的轴部。上表面按压部件120通过轴支撑部121而以能够摆动的方式安装于供料器主体100。上表面按压部件120被扭转弹簧等施力部件122向下方施力。上表面按压部件120具有在被施力部件122向下方施力时按压沿着带搬运路103搬运的载带80的上表面而防止该载带80上浮的功能。

在供料器主体100上，设有带引导件130。带引导件130对带搬运路103上的载带80在其宽度方向及其上下方向上进行引导。另外，带引导件130可以分体地安装于供料器主体100，或者，也可以一体地设置于供料器主体100。带引导件130具有带引导件主体131和带剥离装置135。

带引导件主体131沿着作为载带80的搬运方向的正交方向y即带搬运路103延伸，而覆盖该带搬运路103。带引导件主体131配置在带搬运路103的搬运方向下游侧。如图8所示，带引导件主体131具有夹着带搬运路103的两个侧壁部131a、131b和对两侧壁部131a、131b彼此进行连接的上壁部131c。带引导件主体131例如形成为u字状剖面。带引导件主体131的两侧壁部131a、131b配置成隔着带搬运路103而相互平行地相对。而且，如图9所示，在带引导件主体131的上壁部131c，设有将一部切除而形成的开口部132。

带剥离装置135与带引导件主体131一体地设置。带剥离装置135具有剥离刀136和折返部件137。剥离刀136是为了成为能够在元件供给位置l从收容孔81a取出元件60的状态而在元件供给位置l的搬运方向上游侧将盖带83从载带80剥离的刀部件。剥离刀136的前端部具有将载带80的宽度方向两侧中的一侧的粘接部(具体地说，与卡合孔81b侧相反一侧的粘接部)剥离的锋利的刀尖。

剥离刀136相对于元件供给位置l而配置在搬运方向上游侧，例如配置在第一前部侧带齿卷盘142-1的搬运方向下游侧、且第二前部侧带齿卷盘142-2的搬运方向上游侧。剥离刀136从带引导件主体131的上壁部131c中的开口部132的搬运方向下游侧向搬运方向上游侧的斜下方延伸。剥离刀136的刀尖的高度位置处于比上壁部131c的带搬运路103侧的顶面(即背面)靠下方处。而且，预定的元件供给位置l位于比剥离刀136的刀尖位置靠搬运方向下游侧处。

而且，折返部件137是将剥离的盖带83的宽度方向一侧(具体地为载带80中的配有有收容元件60的收容孔81a的一侧)立起而折返的部件。折返部件137形成为板状。折返部件137相对于剥离刀136而配置在搬运方向下游侧，相对于元件供给位置l而配置在搬运方向上游侧。折返部件137配置成一部分与剥离刀136重叠。

3.自动加载型供料器的动作

在上述的自动加载型供料器22中，旧载带80卷绕在保持于第一保持部23a的带盘70上，并且新载带80卷绕在保持于第二保持部23b的带盘71。在通过弹簧114的作用力保持操作杆112的通常状态下，如图5所示，入口按压部件104被保持在与带搬运路103抵接的位置，并且挡板115通过自重进行转动而将带插入部101封闭。

当在上述的状态下克服弹簧114的作用力而对操作杆112对进行抬起操作时，如图6所示，通过活动卡合部112a的上升使入口按压部件104克服弹簧107的作用力而上升。在这种情况下，入口按压部件104与带搬运路103分离，并且，挡板115通过下游侧按压部件105而进行转动，将带插入部101开放为能够将载带80插入的状态。而且，同时，止动部件116通过操作杆112的凸轮部112b而进行转动，停止部116c与带搬运路103抵接。

当在此状态下由作业者将旧载带80从带插入部101插入到带搬运路103上时，该旧载带80的前端能够插入至与止动部件116的停止部116c抵接的位置。当在将旧载带80插入至与停止部116c抵接的位置的状态下解除操作杆112的抬起操作时，该操作杆112通过弹簧114的作用力进行转动而复原至原位置。在该复原至原点的状态下，如图7所示，入口按压部件104通过弹簧107的作用力而向带搬运路103下降，由此向带搬运路103按压旧载带80，并且，挡板115通过自重将带插入部101封闭。而且，同时，止动部件116通过弹簧的作用力而使抵接部116b与带搬运路103抵接，并且，使停止部116c与带搬运路103分离。

利用各种传感器来检测旧载带80向带插入部101的插入，当检测出带搬运路103上的旧载带80的存在、且检测出操作杆112复原至原位置时，后部侧马达150被驱动以使得第一及第二后部侧带齿卷盘141-1、141-2向正方向旋转。当这样驱动后部侧马达150时，第一及第二后部侧带齿卷盘141-1、141-2向正方向旋转。

在这种情况下，首先，在通过停止部116c与带搬运路103的分离而允许旧载带80的前端侧被从停止部116c向搬运方向下游侧搬运的同时，第一后部侧带齿卷盘141-1在其卡合突起143与旧载带80的卡合孔81b卡合的状态下进行正转，因此该旧载带80通过第一后部侧带齿卷盘141-1的正转而被向带排出部102侧搬运。当这样进行搬运时，通过旧载带80克服弹簧110的作用力而将下游侧按压部件105抬起，该旧载带80被搬运到下游侧按压部件105与带搬运路103之间。

如上所述，仅在第一后部侧带齿卷盘141-1的外周的一部分设有该第一后部侧带齿卷盘141-1的卡合突起143。因此，在卡合突起143与旧载带80的卡合孔81b卡合后，该旧载带80被间歇式地向带排出部102侧传送。因此，能够避免第一后部侧带齿卷盘141-1将载带80急速地拉入。另外，当抬起下游侧按压部件105时，止动部件116的轴支撑部116a一体地上升。

当通过第一后部侧带齿卷盘141-1的正转来进行旧载带80的搬运时，第二后部侧带齿卷盘141-2的卡合突起143与该旧载带80的前端侧的卡合孔81b卡合。在该卡合后，通过第二后部侧带齿卷盘141-2的正转向带排出部102侧搬运该旧载带80。如上所述，第二后部侧带齿卷盘141-2的卡合突起143遍布该第二后部侧带齿卷盘141-2的外周全周地设置。因此，在第二后部侧带齿卷盘141-2的卡合突起143与旧载带80的卡合孔81b卡合后，该旧载带80向带排出部102的移动短时间地进行。

当通过第二后部侧带齿卷盘141-2的正转来搬运旧载带80时，首先，该旧载带80的前端从在上表面按压部件120的后端部形成的引导部与带搬运路103之间进入到上表面按压部件120的下方。因此，该旧载带80的前端侧在由上表面按压部件120抑制从带搬运路103上浮的状态下被向前部侧带齿卷盘142侧搬运。

当通过第二后部侧带齿卷盘141-2的正转来搬运旧载带80从而利用传感器检测到旧载带80的前端相对于第一前部侧带齿卷盘142-1而到达了搬运方向上游侧时，后部侧马达150及前部侧马达160被驱动，以使第一及第二后部侧带齿卷盘141-1、141-2和第一及第二前部侧带齿卷盘142-1、142-2向正方向间歇式旋转。当这样驱动后部侧马达150及前部侧马达160时，各后部侧带齿卷盘141及各前部侧带齿卷盘142向正方向间歇式旋转。另外，该间歇式旋转的每一次动作的角度可以以收容在载带80中的元件60的间距间隔来进行。

当在这样的状态下第一前部侧带齿卷盘142-1的卡合突起143与旧载带80的卡合孔81b卡合时，该旧载带80通过第一前部侧带齿卷盘142-1的正转而被向带排出部102侧搬运，并且，在该搬运过程中带剥离装置135的剥离刀136的刀尖进入到基带81与盖带83之间的边界从而将盖带83从旧载带80剥离。并且，当第二前部侧带齿卷盘142-2的卡合突起143与该旧载带80的卡合孔81b卡合时，该旧载带80通过第二前部侧带齿卷盘142-2的正转而被向带排出部102侧搬运。另外，在后部侧带齿卷盘141及前部侧带齿卷盘142的间歇式旋转过程中的每次停止旋转时，收容在旧载带80中的元件60被定位于元件供给位置l并由元件移载部30移载。

而且，在带搬运路103上搬运旧载带80的过程中，该旧载带80按压并抬起止动部件116的抵接部116b，因此，止动部件116克服弹簧的作用力而以轴支撑部116a为中心进行转动。由此，止动部件116的停止部116c与旧载带80的上表面接触而抵接。

在这样的状态下，当操作杆112被抬起而克服弹簧114的作用力进行转动时，入口按压部件104与带搬运路103分离，并且挡板115将带插入部101开放，因此能够将新载带80插入。并且，当新载带80的前端侧通过带插入部101而被插入到旧载带80与入口按压部件104之间时，该新载带80的前端在进入到带上表面施力部件与带下表面施力部件之间后与止动部件116的停止部116c抵接，该新载带80在此位置被停止搬运。因此，阻止了新载带80向下游侧的搬运。

当在如上所述地新载带80被插入至与停止部116c抵接的位置的状态下解除操作杆112的抬起操作时，该操作杆112通过弹簧114的作用力进行转动而复原至原位置。这时，由于新载带80将止动部件116的抵接部116b抬起，所以通过止动部件116的停止部116c来维持新载带80的停止。

当在如上所述地维持新载带80的停止的状态下、旧载带80的后端即末端被向比新载带80的前端即首端靠搬运方向下游侧的方向搬运时，该新载带80与相对于旧载带80而处于搬运方向上游侧的带搬运路103的上表面接触，第一后部侧带齿卷盘141-1的卡合突起143与新载带80的卡合孔81b卡合。并且，通过第一前部侧带齿卷盘142-1的正转，新载带80进入到由于旧载带80的存在而在带搬运路103与止动部件116之间形成的间隙，被向带排出部102侧搬运。另外，当新载带80的前端将抵接部116b抬起时，如上所述，止动部件116克服弹簧的作用力而转动，通过停止部116c来阻止新载带80的进入。

这样，如果带搬运路103中被插入两条载带80，则能够在第一条载带80的搬运结束时开始搬运第二条载带80。因此，能够在时间上连续地搬运两条载带80，而不会在两条载带80重叠的状态下从停止部116c向搬运方向下游侧搬运，能够不间断地、连续向元件供给位置l供给收容在载带80中的元件60。而且，后部侧马达150及前部侧马达160双方都被驱动以使各带齿卷盘140进行正转，由此，能够将收容在载带80中的元件60供给至预定的元件供给位置l。

4.自动加载型供料器的预定部位的高度测定

另外，在自动加载型供料器22中，载带80在剥离刀136的搬运方向上游侧以与带引导件主体131的上壁部131c的顶面接触的状态在带搬运路103上被搬运。在该载带80的搬运过程中，剥离刀136进入到基带81与盖带83之间的边界，由此将盖带83从基带81剥离。剥离刀136的刀尖位于比带引导件主体131的上壁部131c的顶面靠下方处，剥离刀136配置成其刀尖相对于上壁部131c的顶面而位于预定高度范围。另外，上述的预定高度范围与盖带83的厚度对应，设定在低于上壁部131c的顶面例如0.14mm～0.20mm的位置。

当从基带81剥离盖带83时，设有收容元件60的收容孔81a的基带81通过剥离刀136的下方而被向带排出部102传送，并且，从基带81剥离后的盖带83通过剥离刀136的上方并由折返部件137将宽度方向的一方侧折返而被排出到自动加载型供料器22的外部。

如图1所示，对自动加载型供料器22进行检查的检查装置2具备高度检测传感器38和控制部3。高度检测传感器38是输出与剥离刀136相对于自动加载型供料器22的带引导件130中的带引导件主体131的高度位置对应的信号的传感器。具体地说，高度检测传感器38输出与带引导件主体131的上壁部131c的高度位置t1对应的信号，并且输出与剥离刀136的高度位置t2对应的信号。高度检测传感器38例如是具有照射光的投光部和接收从投光部照射的光的反射波的受光部的反射式光电传感器等。高度检测传感器38以投光部向铅垂下方照射光的方式安装于安装头33。

作为高度检测传感器38的测定对象的带引导件主体131的上壁部131c的部位(以下称作测定点a。)例如如图10及图11所示是与开设于上壁部131c的开口部132在搬运方向上游侧相邻的水平的上表面部位等。而且，作为高度检测传感器38的测定对象的剥离刀136的部位(以下称作测定点b。)例如如图10及图11所示是剥离刀136中的水平的上表面部位等。另外，由于剥离刀136的刀尖是锋利的，所以上述的测定点b是比刀尖位置靠搬运方向下游侧的水平的上表面部位。

高度检测传感器38的输出信号向控制部3提供。控制部3是以微型计算机为主体而构成的单元。控制部3是对包含自动加载型供料器22的元件安装机1的动作进行控制的装置。控制部3在后文详述的判定时机(图13所示的步骤s100的肯定判定时)执行以下的处理。如图12所示，该处理是剥离刀136的刀尖是否适当地进入到由自动加载型供料器22传送的载带80的基带81与盖带83之间的高度确认处理。而且，上述的判定时机是自动加载型供料器22的剥离刀136还未开始剥离载带80(即载带80的前端还未到达剥离刀136)的时机。

控制部3基于被输入的高度检测传感器38的输出信号来测定带引导件主体131的上壁部131c的上表面的高度位置t1，并且测定剥离刀136的上表面的高度位置t2(步骤s110)。另外，高度位置t1的测定和高度位置t2的测定可以使用一个高度检测传感器38而按照时间差来进行定位而进行。控制部3基于分别测定的上壁部131c的上表面的高度位置t1与剥离刀136的上表面的高度位置t2之间的高度差，来测定剥离刀136相对于带引导件主体131的相对的高度位置t(步骤s120)。

另外，控制部3在如上所述地测定剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置时，可以设为能够分别存储或从外部的主机取得带引导件主体131的上壁部131c(特别优选为高度检测传感器38的测定对象的基准点的位置)的上下方向厚度的信息及剥离刀136(特别优选为高度检测传感器38的测定对象的点的位置。)的上下方向厚度的信息。而且，控制部3可以基于上壁部131c的上表面的高度位置t1和上下方向厚度来测定上壁部131c的顶面(背面)的高度位置，基于剥离刀136的上表面的高度位置t2和上下方向厚度来测定剥离刀136的下表面的高度位置，并基于上述两高度位置的高度差来测定剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t。

而且，控制部3可以分别对上述的高度测定对象的上下方向厚度进行实测并存储。具体地说，控制部3可以在自动加载型供料器22的首次驱动时分别测定带引导件主体131的上壁部131c(特别优选为高度检测传感器38的测定对象的基准点的位置。)的背面的高度位置及剥离刀136(特别优选为高度检测传感器38的测定对象的点的位置。)的背面的高度位置，并且，使用高度检测传感器38分别测定上壁部131c的上表面的高度位置t1及剥离刀136的上表面的高度位置t2。而且，控制部3可以将上壁部131c的背面的高度位置与上表面的高度位置t1之间的高度差作为上壁部131c的上下方向厚度进行存储，并且将剥离刀136的背面的高度位置与上表面的高度位置t2之间的高度差作为剥离刀136的上下方向厚度进行存储。在这种情况下，控制部3也能够测定剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t。

控制部3存储剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t的正常范围的信息。该正常范围与关于剥离刀136的配置位置其刀尖相对于上壁部131c的顶面而应该位于的上述预定高度范围对应，被设定为低于上壁部131c的顶面例如0.14mm～0.20mm的位置。

控制部3判别如上所述地测定的剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t是否在正常范围内(步骤s130)。控制部3在判别为剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t在正常范围内的情况下，判定为未发生剥离刀136的高度异常，并判定为能够使用自动加载型供料器22(步骤s140)。

另一方面，控制部3在判定为剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t不在正常范围内的情况下，判定为发生了剥离刀136的高度异常，并判定为不能使用自动加载型供料器22。控制部3在判定为剥离刀136的高度异常的情况下，向元件安装机1的操作员、管理者通知该剥离刀136的高度异常(步骤s150)。另外，控制部3可以设为在判定为剥离刀136的高度异常的情况下强制地停止自动加载型供料器22的传送动作。

另外，由上述的控制部3进行的剥离刀136的高度异常的判定可以包含剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置高于或低于正常范围的判定。在这种情况下，剥离刀136的高度异常的通知可以包含该高度位置是高于还是低于正常范围的信息。而且，上述的剥离刀136的高度异常的通知例如可以在元件安装机1的监视画面等进行异常发生的显示。而且，该异常发生的显示可以是催促对安装于自动加载型供料器22的载带80进行更换或修理的显示。

而且，带引导件主体131的上壁部131c的高度位置t1的测定及剥离刀136的高度位置t2的测定以及由控制部3进行的剥离刀136的高度异常的有无判定虽然在以下时机中的一个以上的任意时机来进行，但优选提高该高度异常的判定精度、或避免盖带83的剥离错误、收容孔81a内的元件60的损伤等。

上述的判定时机例如是使用安装于自动加载型供料器22的载带80内的元件60的基板50的生产开始时。或者，是从自动加载型供料器22相对于元件安装机1的安装完成后到在元件供给位置l开始由吸嘴取出吸附载带80内的元件60为止的期间。或者，是在自动加载型供料器22中被搬运到元件供给位置l的元件60的供给数每达到预先规定的预定数时。或者，是自动加载型供料器22安装于元件安装机1后的时间或自动加载型供料器22的使用累计时间每经过预定时间时。或者，是吸嘴在元件供给位置l未成功取出吸附元件60时。或者，是在元件供给位置l由吸嘴取出的元件60的外观发生缺损、损伤等错误时。或者，是对自动加载型供料器22实施检查时。或者，是实施对伴随着经由托架而安装于安装头33的高度检测传感器38的姿势变化的由热量引起的温度变化进行校正的热校正时。

控制部3在上述的判定时机进行剥离刀136的高度异常的有无判定时，首先对y轴滑动件31及x轴滑动件32进行控制，将安装于安装头33的高度检测传感器38定位于带引导件130的上方的预定位置。之后，控制部3使用高度检测传感器38分别测定上壁部131c的上表面的高度位置t1及剥离刀136的上表面的高度位置t2，判定上述的剥离刀136的高度异常的有无。

另外，将上述的高度检测传感器38定位的预定位置优选为，在带引导件主体131的上壁部131c的高度位置t1的测定时与剥离刀136的高度位置t2的测定时相互不同。例如，该预定位置在带引导件主体131的上壁部131c的高度位置t1的测定时处于该上壁部131c的测定点a的正上方，在剥离刀136的高度位置t2的测定时处于该剥离刀136的测定点b的正上方。高度检测传感器38通过利用y轴滑动件31及x轴滑动件32而进行的安装头33的位置移动，而在上壁部131c的测定点a的正上方与剥离刀136的测定点b的正上方之间移动。

这样，根据本实施方式的自动加载型供料器22的检查装置2，能够测定剥离刀136相对于带引导件130中的带引导件主体131的相对的高度位置t。而且，在该高度位置t在正常范围内的情况下，能够如通常那样实施载带80的传送动作即元件60向元件供给位置l的供给，并且在该高度位置t不在正常范围内的情况下，能够将剥离刀136的高度异常通知操作员等。

因此，根据本实施方式的检查装置2，能够事先检测出剥离刀136相对于带引导件主体131的相对的高度位置t偏离正常范围而成为不能剥离的状态，并能够在检测出该高度异常时将该情况通知操作员等。

因此，例如在剥离刀136的高度位置过于接近带引导件主体131的上壁部131c而偏离正常范围地过高的情况下，判定为剥离刀136的高度异常，因此抑制了剥离刀136的刀尖没有进入到载带80的基带81与盖带83之间的边界而是刺入到盖带83中的情况，从而能够避免盖带83从基带81的剥离错误。而且，在剥离刀136的高度位置过于远离带引导件主体131的上壁部131c而偏离正常范围地过低的情况下，判定为剥离刀136的高度异常，因此，抑制了剥离刀136的刀尖干扰到基带81的收容孔81a内的元件60的情况，从而能够避免该元件60的破损、损伤或剥离刀136的磨损。

而且，高度检测传感器38是分别测定带引导件主体131的上壁部131c的高度位置t1及剥离刀136的高度位置t2的传感器，并且是测定基板50的高度位置的传感器。即，剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t的测定和基板50的高度位置的测定使用同一高度检测传感器38来实施。基板50的高度位置的信息在向基板50安装吸附于安装头33的吸嘴的元件60时被用于该吸嘴的位置控制、姿势控制。因此，在测定剥离刀136的高度位置t时，不需要准备与测定基板50的高度位置的传感器不同的其他高度检测传感器，因此，通过使用作为现有设备的测定基板50的高度位置的高度检测传感器38，能够在不追加新的高度检测传感器的情况下来测定剥离刀136的高度位置t。因此，能够以简单的结构来测定剥离刀136的高度位置t而判定剥离刀136的高度异常的有无。

另外，在上述的实施方式中，控制部3判别基于使用高度检测传感器38测定的上壁部131c的上表面的高度位置t1与剥离刀136的上表面的高度位置t2之间的高度差而得到的剥离刀136相对于带引导件主体131的相对的高度位置t是否在正常范围内，相当于技术方案中记载的“高度判别部”，控制部3在判别为上述的高度位置t不在正常范围内的情况下通知剥离刀136的高度异常，相当于技术方案中记载的“异常通知部”。

另外，在上述的实施方式中，为了判定剥离刀136相对于带引导件主体131的高度异常的有无，分别测定带引导件主体131的上壁部131c的高度位置t1和剥离刀136的高度位置t2。但是，例如，也可以多次进行同一测定点a、b的高度位置t1、t2的测定而算出各个测定结果的平均值，判别上述平均值的高度差是否在正常范围内，从而判定剥离刀136相对于带引导件主体131的高度异常的有无。根据该变形方式的结构，能够提高剥离刀136的高度异常的有无的判定精度。

而且，在上述的实施方式中，判别剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t是否在一定的正常范围内。但是，实施方式不限于此，也可以设置多个范围，并判别剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t是否在某一范围内。例如，作为上述的多个范围，可以设置正常范围、警告范围和驱动禁止范围，如果上述的高度位置t在警告范围内，则通知操作员等剥离刀136的剥离将来有可能不能进行的情况，而如果上述的高度位置t在驱动停止范围内，则禁止自动加载型供料器22的驱动，并将此情况通知操作员等。

而且，在上述的实施方式中，上述的高度位置t1、t2的测定及剥离刀136的高度异常的有无判定能够在从自动加载型供料器22相对于元件安装机1的安装完成到在元件供给位置l开始由吸嘴取出吸附载带80内的元件60为止的期间的时机进行。该时机优选为，与在安装头33的吸嘴在元件供给位置l吸附元件60前使用高度检测传感器38来测定自动加载型供料器22的元件供给位置l处的元件60的吸附位置点的时机一致。

而且，在上述的实施方式中，安装于安装头33的高度检测传感器38的个数为一个。但是，也可以在安装头33上各安装一个与测定点a对应的高度检测传感器38和与测定点b对应的高度检测传感器38。在这种情况下，两个高度检测传感器38配置成与测定点a和测定点b的相对位置关系一致的位置关系即可。根据该变形方式的结构，能够使用两个高度检测传感器38同时地测定带引导件主体131的上壁部131c的上表面的高度位置t1和剥离刀136的上表面的高度位置t2，因此能够迅速地进行剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t的测定乃至剥离刀136的高度异常的有无判定。

而且，在上述的实施方式中，作为高度检测传感器38的测定对象的剥离刀136的测定点b是比锋利的刀尖位置靠搬运方向下游侧的水平的上表面。但是，在从基带81剥离盖带83时，剥离刀136的刀尖的高度位置很重要，因此如果将远离刀尖位置的位置设为测定点b，有可能导致剥离刀136的高度位置t2的测定精度降低。因此，如图14所示，可以在剥离刀136的相对于水平而倾斜的刀尖的上表面设置用于形成水平面的切除部139，将通过该切除部139而水平地设置的平面设为剥离刀136的测定点b。根据该变形方式，能够精确地测定剥离刀136的高度位置t2，能够提高剥离刀136的高度异常的有无的判定精度。

另外，作为高度检测传感器38的测定对象的剥离刀136的测定点b也可以取代水平的上表面部位，而设为倾斜的上表面部位(斜面)。根据该结构，虽然高度检测传感器38的受光量有可能降低，但能够通过预先规定对于照射量的受光量的范围来判定剥离刀136的高度异常的有无。而且，将作为高度检测传感器38的测定对象的剥离刀136的测定点b设定为倾斜的上表面部位(斜面)，并且将高度检测传感器38配置成倾斜地正对着该斜面，由此能够抑制剥离刀136的高度异常的有无判定的精度降低。

而且，在上述的实施方式中，高度检测传感器38设为反射式光电传感器，该反射式光电传感器具有照射光的投光部和接收由该投光部照射的光的反射光的受光部。但是，实施方式不限于此。如图15所示，高度检测传感器38也可以具有投光部170和相机部171。

在该变形方式中，投光部170是照射激光等定向性高的光的光源。投光部170以照射光倾斜地入射于带引导件130的高度测定对象即带引导件主体131的上壁部131c及剥离刀136(具体地说，该上壁部131c、剥离刀136的高度位置发生变化的上下方向)的方式、经由托架39而安装于安装头33。投光部170能够在上壁部131c、剥离刀136的表面描绘图16及图17所示的具有预定直径的点c、或图18及图19所示的直线以预定间隔排列的条纹花样s。而且，相机部171配置在作为高度测定对象的带引导件主体131的上壁部131c及剥离刀136的正上方，经由托架39而安装于安装头33。相机部171能够拍摄包含通过从投光部170照射的光而在上壁部131c、剥离刀136的表面描绘出的点c或条纹花样s的区域。

在该变形方式中，从投光部170照射的光的入射方向与高度测定对象的高度位置发生变化的方向相互不同。因此，例如如图16及图17所示，在投光部170在高度测定对象的表面描绘点c的结构中，在设为在高度测定对象的高度位置处于正常高度时从投光部170照射的光所描绘的点c位于相机部171的拍摄区域的中心的情况下，当高度测定对象的高度位置高于或低于正常高度时，则从投光部170照射的光所描绘的点c偏离相机部171的拍摄区域的中心。该偏离量与高度测定对象的高度位置的相对于正常高度的高度变化量成正比。同样地，例如如图18及图19所示，在投光部170在高度测定对象的表面描绘条纹花样s的结构中，在设为高度测定对象的高度位置处于正常高度时从投光部170照射的光所描绘的条纹花样s在相机部171的拍摄区域内描绘成各线以预定间隔排列的情况下，当高度测定对象的高度位置高于或低于正常高度时，则从投光部170照射的光所描绘的条纹花样s的各线的间隔发生变化。该间隔变化量与高度测定对象的高度位置的相对于正常高度的高度变化量成正比。因此，通过检测相机部171拍摄的区域中所包含的由从投光部170照射的光所描绘的点c、条纹花样s的位置，能够测定高度测定对象的高度位置，结果能够判定剥离刀136的高度异常的有无。

而且，特别是，在投光部170在高度测定对象的表面描绘条纹花样s的结构中，通过检测相机部171拍摄的区域中所包含的由从投光部170照射的光所描绘的条纹花样s的位置、各线的弯曲度、弯曲位置等，能够把握高度测定对象的立体形状，从而能够把握该高度测定对象的变形。另外，在投光部170在高度测定对象的表面描绘点c的结构中，如果将高度测定对象的高度位置的测定部位增加为多个部位，则也能够一定程度地把握高度测定对象的立体形状，从而能够一定程度地把握该高度测定对象的变形。

而且，也可以取代上述的变形方式，高度检测传感器38不具有投光部，而仅具有相机部。在该变形方式中，通过在带引导件130的带引导件主体131的上壁部131c、剥离刀136的上表面附设基准标记，并检测相机部171拍摄的区域中所包含的该基准标记的位置，来测定高度测定对象的高度位置。另外，在该变形方式中，相机部可以是能够测距的立体相机，而且，上壁部131c或剥离刀136的上表面上的基准标记也可以设置于分离预定距离的多个部位。

而且，在上述的实施方式中，控制部3预先存储剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t的正常范围的信息，并判别使用高度检测传感器38测定的剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t是否在该正常范围内。但是，实施方式不限于此。例如，控制部3也可以以前次处理时所测定的高度位置t为基准，来判别本次处理时使用高度检测传感器38所测定的剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t是否在预定范围内。即，也可以判别从前次处理时到本次处理时的高度位置t的变化量是否在预定范围。根据该变形方式，从前次处理时到本次处理时，能够通知操作员等剥离刀136相对于带引导件主体131的高度位置t是否大幅度变化。

而且，在上述的实施方式中，设为将检查装置2搭载于元件安装机1。但是，实施方式不限于此。检查装置2也可以是与元件安装机1单独地设置的检查专用装置。

另外，实施方式不限于上述的实施方式、变形方式，能够在不超出发明宗旨的范围内实施各种变更。

附图标记说明

1：电子元件安装机、2：检查装置、3：控制部、22：自动加载型供料器、33：安装头、38：高度检测传感器、50：基板、60：电子元件、80：载带、81：基带、81a：收容孔、83：盖带、100：供料器主体、103：带搬运路、130：带引导件、131：带引导件主体、131c：上壁部、135：带剥离装置、136：剥离刀、170：投光部、171：相机部。