一种单介质阻挡等离子体放电模块的制作方法

本实用新型涉及等离子体放电技术领域，尤其涉及一种单介质阻挡等离子体放电模块。

背景技术：

等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到击穿电压时，气体分子被电离，产生包括电子、离子、原子和原子团在内的混合体。

近年来，低温等离子体技术已经引起越来越多的关注，等离子体被称作除固态、液态和气态之外的第四种物质存在形态，是由电子、离子、自由基和中性粒子组成的，整体保持电中性。在低温等离子体内，有大量的高能电子及高能电子产生的·o、·oh等活性粒子，然后引发一系列复杂的物理、化学反应，使复杂的大分子污染物转变为简单的小分子物质，或使有毒有害物质转变为无毒无害或低毒低害物质，从而使污染物得以降解去除。低温等离子体技术具有工艺简单、处理流程短、投资少、占地小、去除率高、运行费用低(主要表现为电费)、适用范围广等特点。

目前，使用低温等离子体可以用于清洗设备，但是市场使用的一方面产生的等离子量有限，一方面稳定性较差。为此我司研发出一款多阵列式单介质等离子体发生装置，可以解决上述问题。

技术实现要素：

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种单介质阻挡等离子体放电模块。

本实用新型提出的一种单介质阻挡等离子体放电模块，包括介质片、高压电极和接地电极，其中：

高压电极和接地电极分别固定在介质片的前表面和后表面；

接地电极包括地连接部分和多根地延伸部分，多根地延伸部分相互平行分布在地连接部分上；

高压电极包括高连接部分和多根高延伸部分，多根高延伸部分相互平行设在高连接部分上；

一根高连接部分位于两根相邻的地延伸部分之间，任意相邻的高连接部分和地连接部分之间形成放电间隙。

作为本实用新型进一步优化的方案，介质片为云母片。

作为本实用新型进一步优化的方案，高压电极和/或接地电极为合金材料制成。

作为本实用新型进一步优化的方案，高压电极和/或接地电极为304不锈钢制成。

作为本实用新型进一步优化的方案，高延伸部分和地延伸部分。

作为本实用新型进一步优化的方案，高连接部分位于两根相邻的地连接部分中间。

作为本实用新型进一步优化的方案，放电间隙的宽度h为3.5mm。

作为本实用新型进一步优化的方案，地连接部分与高连接部分相对。

本实用新型中，所提出的单介质阻挡等离子体放电模块，用云母片作为介质，多根高延伸部分和地延伸部分形成多个放电间隙，放电间隙同行排列，可以用于高压交流电频率为40khz上下的放电；且本单介质阻挡等离子体放电模块可用于封闭的容器中，可应用在离子工业清洗设备上，克服了市场上很多产品高压不稳控制频率不稳的特点。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1为本实用新型主视图；

图2为本实用新型左视图；

图3为本实用新型右视图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中表示，其中自始至终相同或类似的符号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解对本实用新型的限制。

需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

如图1-3所示的一种单介质阻挡等离子体放电模块，包括介质片1、高压电极2和接地电极3，其中：

介质片1为云母片，高压电极2和接地电极3为304不锈钢制成，高压电极2和接地电极3分别固定在介质片1的前表面和后表面，高电压电极2与高压交流电源的高压输出端连接，接地电极3与高压交流电源的接地端连接；

接地电极3包括地连接部分30和多根地延伸部分31，多根地延伸部分31相互平行分布在地连接部分30上；

高压电极2包括高连接部分20和多根高延伸部分21，多根高延伸部分21相互平行设在高连接部分20上；

地连接部分30与高连接部分20相对，高延伸部分21和地延伸部分31平行，一根高连接部分20位于两根相邻的地延伸部分31中间，任意相邻的高连接部分20和地连接部分30之间形成放电间隙，放电间隙的宽度h为3.5mm。

本实施例在工作过程中：用云母片作为介质片1，多根高延伸部分21和地延伸部分31形成多个放电间隙，多个放电间隙同行排列，可以用于高压交流电频率为40khz上下的放电；且本单介质阻挡等离子体放电模块可用于封闭的容器中，可应用在离子工业清洗设备上，克服了市场上很多产品高压不稳控制频率不稳的特点。

在本实施例中优选的，介质片1为云母片，结构简单，具有较好的阻挡作用，且成本较低。

为了增大本放电模块的使用寿命，在本实施例中优选的，高压电极2和/或接地电极3为合金材料制成。

为了进一步增大其使用寿命，在本实施例中优选的，高压电极2和/或接地电极3为304不锈钢制成。

在本实施例中优选的，高延伸部分21和地延伸部分31平行，进而保证多个放电间隙相互平行，增大其放电效果。

在本实施例中优选的，一根高连接部分20位于两根相邻的地连接部分30中间，保证多个放电间隙的宽度相等，增大其放电效果。

在本实施例中优选的，放电间隙的宽度h为3.5mm。

在本实施例中优选的，地连接部分30与高连接部分20相对，多个放电间隙的长度相等，增大其放电效果。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。