振动元件及其制造方法、振子、陀螺仪传感器、电子设备和移动体的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及振动元件、振动元件的制造方法、振子、陀螺仪传感器、电子设备以及移动体。
【背景技术】
[0002]—直以来，公知有使用了石英的振动元件(例如参照专利文献I)。这样的振动元件被广泛用作各种电子设备的基准频率源、振荡发生源、陀螺仪传感器等。
[0003]专利文献I所记载的振动元件呈音叉型，具有基部、和从基部起延伸的一对振动臂。此外，在各振动臂上形成有朝其上表面和下表面敞开的一对槽。此外，振动元件具有:相互处于正背关系并形成有所述槽的一对主面、和连结于该一对主面之间的侧面。
[0004]但是，在专利文献I所记载的振动元件中，由于应力集中在角部，有时耐久性不充分。
[0005]【专利文献I】日本特开2005-184767号公报
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于提供能够提高耐久性的振动元件、振动元件的制造方法、振子、陀螺仪传感器、电子设备以及移动体。
[0007]本发明是为了解决上述课题的至少一部分而作出的，其可以作为以下的方式或应用例来实现。
[0008][应用例I]
[0009]本发明的石英振动元件的特征在于，所述振动元件具有:相互处于正背关系的第I主面和第2主面；以及连结于所述第I主面和所述第2主面之间的侧面，所述侧面由交替配置的平面和曲面状的面构成。
[0010]由此，在石英振动元件的侧面上，在角部不易形成尖锐的角度，能够提高对冲击的耐久性。
[0011][应用例2]
[0012]在本发明的石英振动元件中，优选的是，所述振动元件具有基部、和从所述基部起延伸的至少I个振动臂。
[0013]由此，通过在振动臂的末端侧的侧面、即石英振动元件的凸部的侧面形成弯曲面状的形状，能够提高对冲击的耐久性。
[0014][应用例3]
[0015]在本发明的振动元件中，优选的是，所述振动元件具有一对所述振动臂，所述一对振动臂之间的谷部的侧面是所述曲面状的面。
[0016]由此，在所述谷部的侧面、即石英振动元件的凹部的侧面形成的面是曲面状的面，因此能够提尚对冲击的耐久性。
[0017][应用例4]
[0018]在本发明的石英振动元件中，优选的是，所述曲面状的面具有在俯视所述第I主面时曲率半径处于3 μ m以上且50 μ m以下的范围内的部分。
[0019]由此，能够进一步提高对冲击的耐久性。
[0020][应用例5]
[0021]在本发明的石英振动元件中，优选的是，所述曲面状的面包括凹状的曲面和凸状的曲面，
[0022]所述凹状的曲面具有在俯视所述第I主面时曲率半径处于5 μ m以上且50 μ m以下的范围内的部分，
[0023]所述凸状的曲面具有在俯视所述第I主面时曲率半径处于3 μπι以上且30 μπι以下的范围内的部分。
[0024]由此，能够进一步提高对冲击的耐久性。
[0025][应用例6]
[0026]在本发明的石英振动元件中，优选的是，各所述曲面状的面包括凹状的曲面和凸状的曲面，
[0027]俯视所述第I主面时，所述凹状的曲面的平均曲率半径比所述凸状的曲面的平均曲率半径大。
[0028]由此，能够增大石英振动元件的凸部的末端部的体积，并且在振动元件的凸部和凹部形成曲面状的形状。
[0029][应用例7]
[0030]本发明的振子的特征在于，该振子具有:本发明的石英振动元件；以及收纳有所述石英振动元件的封装。
[0031]由此，在石英振动元件的侧面上，能够消除尖锐的角部，能够提高对冲击的耐久性。
[0032][应用例8]
[0033]本发明的陀螺仪传感器的特征在于，该陀螺仪传感器具有本发明的石英振动元件。
[0034]由此，在石英振动元件的侧面上，能够消除尖锐的角部，能够提高对冲击的耐久性。
[0035][应用例9]
[0036]本发明的电子设备的特征在于，该电子设备具有本发明的石英振动元件。
[0037]由此，在石英振动元件的侧面上，能够消除尖锐的角部，能够提高对冲击的耐久性。
[0038][应用例10]
[0039]本发明的移动体的特征在于，该移动体具有本发明的石英振动元件。
[0040]由此，在石英振动元件的侧面上，能够消除尖锐的角部，能够提高对冲击的耐久性。
[0041][应用例11]
[0042]本发明的石英振动元件的制造方法的特征在于，该制造方法包含以下工序:
[0043]准备基板；以及
[0044]使用所述掩模对所述基板进行干蚀刻，形成相互处于正背关系的第I主面和第2主面、以及侧面，所述侧面配置于所述第I主面与所述第2主面之间且由交替配置的平面和曲面状的面构成。
[0045]并且，优选的是，在准备所述石英基板的工序之后，包含在所述石英基板上形成掩模的工序，所述干蚀刻中使用所述掩模来进行所述石英基板的干蚀刻。
[0046]并且，优选的是，所述石英振动元件具有一对振动臂，所述一对振动臂之间的谷部的侧面包含所述曲面状的面。
[0047]由此，能够容易地制造对冲击的耐久性优异的石英振动元件。
[0048]S卩，通过使用干蚀刻，能够在石英振动元件的侧面容易且高精度地形成平面和曲面状的面，并且，在石英振动元件的侧面上，能够消除尖锐的角部，因此能够提高对冲击的耐久性。
[0049][应用例12]
[0050]在本发明的石英振动元件的制造方法中，优选的是，在形成所述侧面的工序中，对与所述振动元件的振动方向交叉的方向进行干蚀刻。
[0051]在本发明的石英振动元件的制造方法中，优选的是，在形成所述侧面的工序中，对与所述第I主面和所述第2主面中的至少一方交叉的方向进行干蚀刻。
[0052]由此，能够容易且高精度地形成朝沿着石英振动元件的振动方向的方向、或者沿着第I主面和第2主面中的至少一方的面的方向弯曲的曲面状的形状。
【附图说明】
[0053]图1是示出本发明的振子的第I实施方式的俯视图。
[0054]图2是图1中的A-A线剖视图。
[0055]图3是图1中的B-B线剖视图。
[0056]图4是图1所不的振子的振动兀件的剖视图(图1中的C 一 C线剖视图)。
[0057]图5是图1所不的振子的振动兀件的振动基板的立体图。
[0058]图6是用于说明图1所示的振子的振动元件的制造方法的图。
[0059]图7是用于说明图1所示的振子的振动元件的制造方法的图。
[0060]图8是用于说明图1所示的振子的振动元件的制造方法的图。
[0061]图9是示出本发明的振子的第2实施方式的俯视图。
[0062]图10是图9所不的振子的横剖视图。
[0063]图11是示出图9所示的振子的驱动用振动臂的图，其中，(a)是放大俯视图，(b)是放大横剖视图。
[0064]图12是示出图9所示的振子的检测用振动臂的图，其中，(a)是放大俯视图，(b)是放大横剖视图。
[0065]图13是图9所示的振子的振动元件的主要部分的立体图。
[0066]图14是用于说明图9所示的振子的振动元件的检测模式的图。
[0067]图15是示出本发明振子的第3实施方式的振动元件的俯视图。
[0068]图16是示出图15所示的振动元件具有的电极的俯视图。
[0069]图17是示出图15所示的振动元件具有的电极的俯视图(透视图)。
[0070]图18是用于说明图15所示的振动元件的动作的图。
[0071]图19是示出应用了本发明的电子设备的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。
[0072]图20是示出应用了本发明的电子设备的移动电话机(也包括PHS)的结构的立体图。
[0073]图21是示出应用了本发明的电子设备的数字静态照相机的结构的立体图。
[0074]图22是示出应用了本发明的移动体的汽车的结构的立体图。
[0075]标号说明
[0076]1:振子;11、13:导电性粘接剂；2:振动兀件；3:振动基板；31:第I主面；32:第2主面；33:侧面；34:谷部；361?366:平面；371?376:曲面；30:石英基板；4:基部；5:振动臂;51、52:主面;53、54:侧面;55、56:槽；6:振动臂;61、62:主面;63、64:侧面；65、66:槽；84:第I驱动用电极；85:第2驱动用电极；9:封装；91:底座；100:显示部；911:凹部；92:盖；951、961:连接端子；952、962:贯通电极；953、963:外部端子；1100:个人计算机；1102:键盘；1104:主体部；1106:显示单元；1200:移动电话机；1202:操作按钮；1204:接听口 ；1206:通话口 ；1300:数字静态照相机；1302:外壳；1304:受光单元；1306:快门按钮；1308:存储器；1312:视频信号输出端子；1314:输入输出端子；1430:电视监视器；1440:个人计算机；F1、F2:曲线;1500:汽车;M1、M2、M3:掩模;L:线段;T:厚度;a、b:箭头;IA:振子；2A:振动兀件；20A:振动基板；21A:基部；221A:驱动用振动臂；222A:驱动用振动臂；231A:检测用振动臂；232A:检测用振动臂；23A:侧面；25A:支承部；261A:连结部；262A:连结部；263A:连结部；264A:连结部；27A ??第I主面；28A:第2主面；4A:封装；41A:底座部件(底座)；411A:板体(板部)；412A:框体(框部)；42A:盖部件(盖)；51A:驱动用电极组；511A:驱动用电极；512A:驱动用电极；513A:驱动用电极；514A:驱动用电极；52A:驱动用电极组；53A:检测用电极组；531A:检测用电极；532A:检测用电极；533A:检测用电极;534A:检测用电极;54A:检测用电极组;57a:端子;57b:端子；57c:端子;57d:端子；57e:端子；57f:端子；71A:内部端子;73A:外部端子;81A:接合部件;A1:箭头;A2:箭头;B1:箭头;B2:箭头;C1:箭头;C2:箭头;D1:箭头;D2:箭头;E1:箭头;E2:箭头;L1:长度;L2:长度;ω:角速度；1Β:振动元件;2Β:振动基板;20Β:振动部;21Β:基部;221Β:第I检测臂；2211Β:锤头；222Β:第2检测臂；2221Β:锤头；231Β:第I连结臂；232Β:第2连结臂；241Β:第I驱动臂；2411Β:锤头；242Β:第2驱动臂；2421Β:锤头；243Β:第3驱动臂；2431Β:锤头；244Β ??第4驱动臂；2441Β:锤头；251B:第I支承部；252B:第2支承部；261B:第I梁；261a:蛇行部；261b:倾斜部；262B:第2梁；262a:蛇行部；262b:倾斜部；263B ??第3梁；263a:蛇行部；263b:倾斜部；264B:第4梁；264a:蛇行部；264b:倾斜部；27B:侧面；28B:第I主面；29B:第2主面；311B:检测信号电极；312B:检测信号端子；321B:检测接地电极；322B:检测接地端子；331B: