弹性波装置的制造方法
【专利说明】弹性波装置
[0001]本申请是申请日为2011年11月07日、题为“弹性波装置”的发明专利申请201180053296.8的分案申请，该母案申请对应于2011年11月07日提交的具有相同发明名称的国际申请PCT/JP2011/006181。
技术领域
[0002]本发明主要涉及在移动体通信设备等中使用的弹性波装置。
【背景技术】
[0003]近年来，在便携式电话等中，具备通过频带不同的多个高频滤波器的弹性波装置经常被使用。
[0004]图10是现有的弹性波装置100的电路图。
[0005]在图10中，弹性波装置100具有不平衡一平衡转换型的低频侧滤波器2和不平衡一平衡转换型的高频侧滤波器3，不平衡一平衡转换型的低频侧滤波器2和不平衡一平衡转换型的高频侧滤波器3设置在由压电体单晶构成的压电基板1上。低频侧滤波器2具有中心频率相对低的通过频带。高频侧滤波器3具有中心频率相对高的通过频带。在低频侧滤波器2和高频侧滤波器3中构成为，分别在不平衡端子4与平衡端子5之间串联连接有纵向耦合型弹性波谐振器6和双端子弹性波谐振器7。在与弹性波装置100的低频侧滤波器2连接的平衡端子5和与高频侧滤波器3连接的平衡端子5上连接着其他的电子电路。弹性波装置100进行不同的多个频带的电信号的过滤。
[0006]此外，作为与现有的弹性波装置100有关的现有技术文献信息，已知例如专利文献1。
[0007]在使用这样的现有的弹性波装置100的通信装置中，将与平衡端子5连接的电子电路通用化，有小型化、低成本化的倾向。例如，要求将与低频侧滤波器2连接的平衡端子5和与高频侧滤波器3连接的平衡端子5通用化。
[0008]在现有的弹性波装置100中，在将平衡端子5通用化的情况下，低频侧滤波器2和高频侧滤波器3经由平衡端子5连接。因此，平衡端子5侧的低频侧滤波器2、高频侧滤波器3分别彼此受到阻抗的影响，隔离劣化。另外，由于低频侧滤波器2、高频侧滤波器3的阻抗的不匹配，导致插入损失增加，均衡降低。其结果是，弹性波装置100的电气特性劣化。
[0009]现有技术文献
[0010]专利文献
[0011]专利文献1:国际公开第2008/096514号
【发明内容】
[0012]本发明所涉及的弹性波装置具有:具有低频侧通过频带的低频侧滤波器；具有高频侧通过频带的高频侧滤波器；以及第1和第2平衡端子。低频侧滤波器与第1不平衡端子连接。低频侧通过频带是从第1最小频率至第1最大频率的频带。高频侧滤波器与第2不平衡端子连接。高频侧频带是从第2最小频率至第2最大频率的频带。第1和第2平衡端子与低频侧和高频侧滤波器共同连接。低频侧滤波器具有:第1纵向耦合型弹性波谐振器；以及与第1纵向耦合型弹性波谐振器串联连接的第1双端子弹性波谐振器。第1双端子弹性波谐振器的反谐振频率设定为比第1最大频率高且比第2最小频率低。
[0013]该弹性波装置抑制信号向另一方滤波器的混入，使通过频带中的阻抗的匹配提尚ο
[0014]具体来讲，根据一个实施方式，本发明涉及一种弹性波装置，其具备:第1不平衡端子和第2不平衡端子；第1平衡端子和第2平衡端子；高频滤波器，其具有:第1纵向耦合型弹性波谐振器，其与所述第1不平衡端子连接；第1双端子弹性波谐振器，其串联连接在所述第1纵向耦合型弹性波谐振器和所述第1平衡端子之间；以及第2双端子弹性波谐振器，其串联连接在所述第1纵向耦合型弹性波谐振器和所述第2平衡端子之间，所述高频滤波器具有第1最小频率至第1最大频率的高频通过频带；以及低频滤波器，其具有:第2纵向耦合型弹性波谐振器，其与所述第2不平衡端子连接；第3双端子弹性波谐振器，其串联连接在所述第2纵向耦合型弹性波谐振器和所述第1平衡端子之间；以及第4双端子弹性波谐振器，其串联连接在所述第2纵向耦合型弹性波谐振器和所述第2平衡端子之间，所述低频滤波器具有第2最小频率至比所述第1最小频率低的第2最大频率的低频通过频带，所述第3双端子弹性波谐振器的反谐振频率和所述第4双端子弹性波谐振器的反谐振频率的至少一方处于所述第2最大频率和所述第1最小频率之间。
[0015]根据另一实施方式，本发明涉及一种弹性波装置，其具备:第1不平衡端子和第2不平衡端子；第1平衡端子和第2平衡端子；高频滤波器，其具有:第1纵向耦合型弹性波谐振器，其与所述第1不平衡端子连接；第1双端子弹性波谐振器和第2双端子弹性波谐振器，其串联连接在所述第1纵向耦合型弹性波谐振器和所述第1平衡端子之间；第3双端子弹性波谐振器和第4双端子弹性波谐振器，其串联连接在所述第1纵向耦合型弹性波谐振器和所述第2平衡端子之间，所述高频滤波器具有第1最小频率至第1最大频率的高频通过频带；以及电容元件，其被连接在第1连接点和第2连接点之间，所述第1连接点处于所述第1双端子弹性波谐振器和所述第2双端子弹性波谐振器之间，并且所述第2连接点处于所述第3双端子弹性波谐振器和所述第4双端子弹性波谐振器之间；以及低频滤波器，其具有:第2纵向耦合型弹性波谐振器，其与所述第2不平衡端子连接；第5双端子弹性波谐振器和第6双端子弹性波谐振器，其串联连接在所述第2纵向耦合型弹性波谐振器和所述第1平衡端子之间；以及第7双端子弹性波谐振器和第8双端子弹性波谐振器，其串联连接在所述第2纵向耦合型弹性波谐振器和所述第2平衡端子之间，所述低频滤波器具有第2最小频率至比所述第1最小频率低的第2最大频率的低频通过频带，所述第5双端子弹性波谐振器、所述第6双端子弹性波谐振器、所述第7双端子弹性波谐振器和所述第8双端子弹性波谐振器中的至少一方的反谐振频率处于所述第2最大频率和所述第1最小频率之间，并且所述高频滤波器的相对带宽窄于所述低频滤波器的相对带宽。
【附图说明】
[0016]图1Α是实施方式1中的弹性波装置的电路图。
[0017]图1Β是比较例的弹性波装置的电路图。
[0018]图2A是实施方式1中的实施例和比较例各自的弹性波装置的双端子弹性波谐振器的通过特性的概念图。
[0019]图2B是对实施方式1中的弹性波装置和比较例的弹性波装置各自的双端子弹性波谐振器的谐振频率、反谐振频率的值进行比较的图。
[0020]图3A是实施方式1和比较例中的弹性波装置的驻波比特性图。
[0021]图3B是实施方式1和比较例中的弹性波装置的驻波比特性图。
[0022]图4是实施方式1和比较例中的弹性波装置的驻波比特性图。
[0023]图5A是实施方式1和比较例中的弹性波装置的通过特性图。
[0024]图5B是实施方式1和比较例中的弹性波装置的通过特性图。
[0025]图6A是实施方式1和比较例中的弹性波装置的振幅平衡特性图。
[0026]图6B是实施方式1和比较例中的弹性波装置的振幅平衡特性图。
[0027]图7A是实施方式1和比较例中的弹性波装置的相位平衡特性图。
[0028]图7B是实施方式1和比较例中的弹性波装置的相位平衡特性图。
[0029]图8是实施方式1中的其他的弹性波装置的电路图。
[0030]图9是实施方式2中的弹性波装置的电路图。
[0031]图10是现有的弹性波装置的电路图。
【具体实施方式】
[0032](实施方式1)
[0033]一边参照附图一边对实施方式1中的弹性波装置101进行说明。
[0034]图1A是实施方式1中的弹性波装置101的电路图。在图1A中，弹性波装置101具有:低频侧滤波器12，其配置于压电基板11上，具有中心频率相对低的低频侧通过频带PB1 ;以及高频侧滤波器13，其具有中心频率相对高的高频侧通过频带PB2。弹性波装置101具有第1不平衡端子14、第2不平衡端子15、第1平衡端子16以及第2平衡端子17。不平衡端子14与低频侧滤波器12连接。不平衡端子15与高频侧滤波器13连接。平衡端子
16、17与低频侧滤波器12和高频侧滤波器13两者连接。
[0035]低频侧滤波器12具有第1纵向耦合型弹性波谐振器18、第1第1级双端子弹性波谐振器19以及第1第2级双端子弹性波谐振器20。纵向耦合型弹性波谐振器18与不平衡端子14连接。双端子弹性波谐振器19和双端子弹性波谐振器20在纵向耦合型弹性波谐振器18与平衡端子16之间相互串联连接。低频侧滤波器12还具有第2第1级双端子弹性波谐振器21和第2第2级双端子弹性波谐振器22。双端子弹性波谐振器21和双端子弹性波谐振器22在纵向耦合型弹性波谐振器18与平衡端子17之间相互串联连接。
[0036]高频侧滤波器13具有第2纵向耦合型弹性波谐振器23、第3第1级双端子弹性波谐振器24以及第3第2级双端子弹性波谐振器25。第2纵向耦合型弹性波谐振器23与第2不平衡端子15连接。第1级双端子弹性波谐振器24和第2级双端子弹性波谐振器25在纵向耦合型弹性波谐振器23与平衡端子16之间在连接点40相互串联连接。高频侧滤波器13还具有第4第1级双端子弹性波谐振器26和第4第2级双端子弹性波谐振器27。双端子弹性波谐振器26和双端子弹性波谐振器27在纵向耦合型弹性波谐振器23与平衡端子17之间在连接点41相互串联连接。在连接点40与连接点41之间串联连接着电容元件28。电容元件28由设置在压电基板11上的导电图案形成。弹性波装置101被构成为:当在电子设备的内部被连接使用时，在第1平衡端子16与第2平衡端子17之间连接着电感器101A作为外部电路而使用。
[0037]在实施方式1中，作为低频侧滤波器12的通过频带的低频侧通过频带PB1是1.805GHz?1.880GHz。低频侧通过频带PB1的中心频率是该通过频带的中点的1.8425GHz，其带宽是0.075GHz，将带宽除以中心频率所计算出的相对带宽是4.07%。作为高频侧滤波器13的通过频带的高频侧通过频带PB2是1.930GHz?1.990GHz。高频侧通过频带PB2的中心频率是该通过频带的中点的1.960GHz，其带宽是0.060GHz，将带宽除以中心