高密度等离子体发生装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种可用于吸收电磁波和等离子体薄膜技术等领域的新型高密度等离子体发生装置。
【背景技术】
[0002]目前出现的等离子体发生装置设备重量大，频率较高，不适于飞行器隐身、零部件镀膜等领域的广泛应用。
【发明内容】
[0003]为了解决现有的等离子体发生装置设备重量大，频率较高的技术问题，本发明提供一种高密度等离子体发生装置，本发明采用闭式等离子体层，等离子体灌充于管状等离子体装置内，该新型高密度等离子体发生装置开关可控、耗能低、工作可靠、维护便利，等离子体的产生和维持相对简单，便于等离子体技术的广泛应用。
[0004]本发明的技术解决方案:
[0005]高密度等离子体发生装置，其特殊之处在于:包括密闭式的石英管、封装在石英管两端的两个电极以及电源，所述石英管内填充工作气体及工质，所述电源分别与两个电极电连接。
[0006]两个电极的材料为耐高温、易于辐射电子的稀土材料。
[0007]电极材料为钼电极、镧钨电极或三元稀土钨电极。
[0008]上述工作气体及工质按照体积百分比由以下物质组成:
[0009]氩气80%;
[0010]氙气、氪气或氖气10%;
[0011]汞蒸气1%;
[0012]钠或铯9% ;工作气体及工质的气压为100到2000Pa。
[0013]上述工作气体按照体积百分比由以下物质组成:
[0014]氖气或氦气80%;
[0015]氩气8%;
[0016]氙气2%;
[0017]汞蒸气1%;
[0018]钠或铯9% ;工作气体及工质的气压为100到2000Pa。
[0019]本发明所具有的优点:
[0020]1、等离子体密度高:采用高压电源电离密闭容器内的特殊气体(氦气、氖气、氩气、氪气、氙气、汞蒸气、碱金属蒸汽按比例填充)，高效电离获得高密度等离子体。
[0021]2、工作可靠:高密度等离子体装置采用特殊电极材料(稀土钨电极、稀土钼电极)，降低电子的逸出功，便于起弧和重复起弧，耐高温、抗腐蚀、不易使石英着色，工作过程中电极不易损耗，有利于长期使用的稳定性。
[0022]3、维护便利:等离子体装置采用的是闭式等离子体层，便于各种环境、设备的应用，降低了维修成本。
[0023]4、开关可控:根据使用需要，可通过开关电源实现正常工作、的目的。
[0024]5、本发明结构简单，安装方便，总尺寸可根据使用环境调节，接通市电便可工作，开关方便，可控性强。
【附图说明】
[0025]图1为本发明石英管与电极的装配关系示意图；
[0026]图2为本发明高密度等离子体发生装置的结构示意图；
[0027]其中附图标记为:1_电源开关，2-电源，3-电极，4-石英管。
【具体实施方式】
[0028]如图1、图2所示，一种新型高密度等离子体发生装置，具有一个密闭式的石英管(或其它密封结构)，在石英管4两端封装两个电极3，石英管内填充有工作气体及工质，配备高压电源2组合成高密度等离子体发生装置。电极材料选择耐高温、易于辐射电子的稀土钼电极、镧钨电极或三元稀土钨电极(或其它稀土钨电极)，石英管内填充氩气、氖气、氪气、氙气、汞蒸气、碱金属蒸汽(按比例填充)。市电(或其它电源)通过变压器产生数千伏的高压，并配备频率调制器通过电源开关I调制电源频率，电源输出接石英管两端电极，激发石英管内的混合气体，产生高密度等离子体。
[0029]石英管内填充按比例填充气体成分由以下两种:氩气80%、氙气(或氪气、氖气)10%、汞蒸气I %、钠(或铯)9%，气压为100到2000Pa;
[0030]氖气(或氦气)80%、氩气8%、氣气2%、萊蒸气1%、钠(或铯)9%，气压为100到2000Pao
[0031]其中所说的工作气体及工质的组份可以偏差组份±2 %。
[0032]本发明结构简单，安装方便，总尺寸可根据使用环境调节，接通市电便可工作，开关方便，可控性强。
【主权项】
1.高密度等离子体发生装置，其特征在于:包括密闭式的石英管、封装在石英管两端的两个电极以及电源，所述石英管内填充工作气体及工质，所述电源分别与两个电极电连接。2.根据权利要求1所述的高密度等离子体发生装置，其特征在于:两个电极的材料为耐高温、易于辐射电子的稀土材料。3.根据权利要求2所述的高密度等离子体发生装置，其特征在于:电极材料为钼电极、镧钨电极或三元稀土钨电极。4.根据权利要求1或2或3所述的高密度等离子体发生装置，其特征在于:所述工作气体及工质按照体积百分比由以下物质组成: 氩气80% ； 氙气、氪气或氖气10%; 汞蒸气1%; 钠或铯9% ;工作气体及工质的气压为100到2000Pa。5.根据权利要求1或2或3所述的高密度等离子体发生装置，其特征在于:所述工作气体按照体积百分比由以下物质组成: 氖气或氦气80%; 氩气8% ； 氣气2% ； 汞蒸气1%; 钠或铯9% ;工作气体及工质的气压为100到2000Pa。
【专利摘要】本发明涉及高密度等离子体发生装置，包括密闭式的石英管、封装在石英管两端的两个电极以及电源，所述石英管内填充工作气体及工质，所述电源分别与两个电极电连接。为了解决现有的等离子体发生装置设备重量大，频率较高的技术问题，本发明采用闭式等离子体层，等离子体灌充于管状等离子体装置内，该新型高密度等离子体发生装置开关可控、耗能低、工作可靠、维护便利，等离子体的产生和维持相对简单，便于等离子体技术的广泛应用。
【IPC分类】H05H1/34
【公开号】CN105554995
【申请号】CN201510956652
【发明人】周倩倩, 胡炜杰, 王红飞, 王浩静
【申请人】中国科学院西安光学精密机械研究所
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2015年12月18日