环堆叠离子加速器中产生的脉冲电场的均质化的制作方法

文档序号:10618813阅读:417来源:国知局
环堆叠离子加速器中产生的脉冲电场的均质化的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种用于质谱仪中的环堆叠加速器,其包含被布置于堆叠中的多个环形板,且所述环堆叠加速器电耦合到分压器,在对所述堆叠通电时所述分压器允许产生大体上均质电场。所述分压器可包含电阻器及电容器,其中所述电容器经选择以补偿所述板经历的寄生电容。可使用RF脉冲对所述环堆叠加速器通电。所述环堆叠加速器可包含用于校正引起非线性的效应的一或多个平衡电容器。
【专利说明】
环堆叠离子加速器中产生的脉冲电场的均质化
[0001] 相关申请案
[0002] 本申请案主张2014年1月2日申请且标题为"环堆叠离子加速器中产生的脉冲电场 的均质化(Homogenization of the Pulsed Electric Field Created in a Ring Stack Ion Accelerator)"的第61/922,973号美国临时申请案(其W全文引用方式并入本文中)及 20 14年12月19日申请且标题为"环堆叠离子加速器中产生的脉冲电场的均质化 (Homogenization of the Pulsed Electric Field Created in a Ring Stack Ion Accelerator)"的第62/094,283号美国临时申请案(其W全文引用方式并入本文中)的优先 权。
技术领域
[0003] 本发明大体上设及质谱分析法,且更特定来说,设及利用环堆叠加速器的方法及 设备。
【背景技术】
[0004] 在质谱分析法中,固体、液体或气体样本含有作为研究(通常为量化或识别)目标 的原子或分子。目标原子或分子被电离化且W气相引入到质谱仪中。电离化原子或分子(离 子)被根据其荷质比分离,且由能够检测带电颗粒的机构检测。所得信号被处理且组织成光 谱,所述光谱呈现不同离子的根据离子质荷比而变化的相对丰度。使用此信息W用于识别 及量化。通过使检测到的质荷比与已知或期望质荷比相关来完成识别。替代地,可使用特性 裂解模式,其中源于主要分子结构的结构分解的离子被类似地分离及检测。
[0005] 可通过许多技术完成基于质荷比的离子分离。一种此类技术为飞行时间(TOF)质 谱分析法。在飞行时间技术中,不同质荷比的离子经受恒定能量加速。接着,在远离加速的 位置的距离处检测离子。在检测位置处,离子将在根据W下公式的与离子质荷比有关的不 同时间撞击检测器:
[0006]
[0007]其中:
[000引t为离子行进从加速点到检测器的距离所需的时间,
[0009] m为离子质荷比,
[0010] d为加速点与检测器之间的距离,且 [001 U KE为离子在加速中接收的能量。
[0012] 在距离及能量为恒定的情况下,离子飞行时间将取决于质荷比的平方根。通常情 况为离子进入加速器且随后被加速,从而使飞行时间技术为脉冲技术。此意味着W脉冲产 生离子(例如在激光电离的情况中,或当对加速电场施W脉冲(迅速接通)时)。
[0013] 加速器是飞行时间技术的重要组件。通常情况为,在任何单个加速事件期间存在 多个离子。不同离子可能不共享加速器中的相同位置。因此,加速器的任务是,不管离子位 置为何都产生相同的加速电场。换句话来说,对于加速器的有效容积,加速器应具有大体上 均质电场,有效容积为加速器中的空间,随后将被检测到的任何离子将通过其行进。
[0014] 理想地,由按某一距离Z分离、在X及Y上具有无穷尺寸、在其之间具有电势差的两 个完全平行的板产生均质电场。实际上,维度X及Y为有限的,且此引入自板的边缘的场渗透 问题。此外,通常由将允许多数离子穿过的栅格替换一个板。如果用十分小的Z间隔将板间 隔开,那么场渗透将减少。然而,如果出于某一原因,希望具有较大的Z间隔,那么场渗透将 破坏均质性且加速器将不会将相同的动能施加到加速器中不同位置处的离子。在此情况 中,离子飞行时间的变化将较大,且光谱仪的分辨能力将减小。用于使自侧面的场渗透最小 化的策略是,使用置于最初的两个板之间的"场均质化"板。运些场均质化板将具有取决于 两个原始板之间的位置而线性地变化的所应用的电势。此组合件可称为环堆叠加速器 (RSA)。在W脉冲产生离子的情况中(例如在激光电离中),可通过电阻分压器网络将电势施 加于场均质化板。在此模式中,欧姆定律将适用。但如果原子及分子在其它地方被电离化且 被引入到RSA中,那么RSA中的场将必须被断开W允许离子进入,接着接通W提供加速。在此 情况中,接通及断开将十分迅速地发生,且欧姆定律将不适用。分压将主要取决于全部板之 间及板与周围环境之间的电容值。对于电场在RSA中接通及断开的情况,希望实现均质电 场。

【发明内容】

[0015] -方面,掲示一种用于质谱仪中的加速器,其包含:第一多个导电板,其被布置于 堆叠中,间隙分离任一对所述板;及第一电阻器分压器,其电禪合到板。多个电容器电禪合 到板且经配置W允许响应于跨越所述堆叠的电压脉冲的施加(例如,RF电压脉冲)在每一板 处产生具有从所述堆叠中的第一板到所述堆叠的最后一板大体上线性地变化的幅度的电 压脉冲。举例来说,电压可在下游方向上线性地减小。RF脉冲可具有在约IHz到约200,OOOHz 的范围内的频率、在约100伏特到约10,000伏特的范围内的幅度及约1微秒到约100微秒的 范围内的持续时间。在一些实施例中,跨越堆叠所施加的电压脉冲的幅度在所述脉冲持续 时间内可为恒定的。通过实例,可通过将堆叠中的第一板电禪合到电压源且使堆叠中的最 后一板电接地而跨越堆叠施加所述RF电压脉冲。
[0016] 电容器可经布置W提供与电阻器分压器并联的电容器分压器。在一些实施例中, 电容器分压器中的电容器为具有大体上补偿所述第一多个板中的寄生电容的值的离散电 容器。
[0017] 在一些实施例中,由多个导电板所产生的电场至少沿着堆叠的纵轴且优选地在堆 叠的有效容积内是大体上均质的。在一些实施例中,电容器经配置使得板在RF脉冲的频率 下展现大体上相等的电阻抗。电容器可具有在(例如)约20微微法拉到约10毫微法拉的范围 内的电容。
[0018] 在一些实施例中,每一板包含开口(例如,中屯、开口)W允许多个离子穿过其。
[0019] 在一些实施例中,加速器可进一步包含:第二多个导电板,其被布置于堆叠中,间 隙分离任一对所述板;及第二电阻器分压器,其电禪合到所述第二多个导电板,其中第二多 个导电板经配置W经由将DC电压施加到其而通电。
[0020] 在有关方面中,可提供一种用于质谱仪中的加速器,所述加速器包括:第一多个导 电板,其被布置于堆叠中,间隙分离任一对所述板;第一电阻器分压器,其电禪合到所述板; 一或多个电容器,其禪合到所述板且经配置W允许响应于跨越所述堆叠的电压脉冲的施加 在每一板处产生具有从所述堆叠中的第一板到所述堆叠中的最后一板大体上线性地变化 的幅度的电压脉冲;及一或多个平衡电容器,其用于校正引起非线性的效应。
[0021] 在一些实施例中,电容器可经布置W提供与所述第一电阻器分压器并联的电容器 分压器。
[0022] 在一些实施例中,电容器分压器中的电容器可为具有大体上补偿第一多个导电板 中的寄生电容的值的离散电容器。
[0023] 在一些实施例中,当用所述RF脉冲对所述第一多个导电板进行通电时,由所述第 一多个导电板所产生的电场可至少沿着所述堆叠的纵轴大体上均质。
[0024] 在一些实施例中,电容器可经配置使得板在所述RF脉冲的频率下展现大体上相等 的电阻抗。
[0025] 在一些实施例中,所述板中的每一者可包括开口 W允许多个离子穿过其。
[0026] 在一些实施例中,第一多个导电板中的第一板可电禪合到经配置W提供所述RF脉 冲的源。
[0027] 在一些实施例中,加速器可进一步包括:第二多个导电板,其被布置于堆叠中,间 隙分离任一对所述板;及第二电阻器分压器,其电禪合到所述第二多个导电板,其中所述第 二多个导电板可经配置W经由将DC电压施加到其而通电。
[0028] 在有关方面中,掲示一种质谱仪,其包含:环堆叠加速器,其用于接收多个离子及 使离子加速。所述环堆叠加速器可包含:第一多个导电板,其被布置于堆叠中,间隙分离任 一对所述板;第一电阻器分压器,其电禪合到所述板;及电容器分压器,其与所述第一电阻 器分压器并联电禪合到所述板,其中所述电容器分压器经配置使得由所述第一多个导电板 响应于将RF电压脉冲施加到所述堆叠所产生的电场至少沿着所述堆叠的纵轴且优选地在 堆叠的有效容积中大体上均质。所述质谱仪可进一步包含:检测器,其被安置于所述加速器 下游且经配置W检测所加速离子的至少一个性质(例如,其相对m/z比)。在一些实施例中, 所述堆叠中的第一板禪合到电压源,且最后一板经电接地,W用于跨越堆叠施加电压脉冲。
[0029] 上文质谱仪中的电容器分压器中的电容器可为具有大体上补偿第一多个导电板 中的寄生电容的值的离散电容器。通过实例,电容器可具有在约20微微法拉到约10毫微法 拉的范围内的电容。
[0030] 在一些实施例中,质谱仪中的环堆叠加速器可包含:第二多个导电板,其被布置于 堆叠中,间隙分离任一对所述板;第二电阻器分压器,其电禪合到第二多个导电板,其中所 述第二多个导电板经配置W由DC电压对其通电。在一些实施例中,板中的每一者可包含用 于使离子穿过其的中屯、开口。具有开口的板还可称为环。堆叠的纵轴可延伸通过所述中屯、 开口的中屯、。
[0031] 在有关方面中,可提供一种质谱仪,其包括:环堆叠加速器,其用于接收多个离子 及使所述离子加速,所述环堆叠加速器可包括第一多个导电板,所述第一多个导电板被布 置于堆叠中,间隙分离任一对所述板;第一电阻器分压器,其电禪合到所述板;及电容器分 压器,其与所述第一电阻器分压器并联电禪合到所述板,其中所述电容器分压器经配置使 得由所述第一多个导电板响应于将电压脉冲施加于所述堆叠所产生的电场至少沿着所述 堆叠的纵大体上均质;一或多个平衡电容器,其用于校正引起非线性的效应;及检测器,其 被安置于所述加速器下游且经配置W检测所述所加速离子的至少一个性质。
[0032] 在一些实施例中,电容器分压器中的电容器可为具有大体上补偿第一多个导电板 中的寄生电容的值的离散电容器。
[0033] 在一些实施例中,第一多个导电板中的第一板可电禪合到经配置W提供所述RF脉 冲的源。
[0034] 在一些实施例中,环堆叠加速器可进一步包括:第二多个导电板,其被布置于堆叠 中,间隙分离任一对所述板;及第二电阻器分压器,其电禪合到所述第二多个导电板,其中 第二多个导电板可经配置W用DC电压对其通电。
[0035] 在一些实施例中,所述板中的每一者可包括用于使所述离子穿过其的中屯、开口。
[0036] 在一些实施例中,纵轴延伸通过所述中屯、开口的中屯、。
[0037] 另一方面,掲示一种用于改进具有环加速器的质谱仪的RF性能的方法,其包含:估 计环堆叠加速器中的板的板到板电容;估计在一或多个RF频率下所述板的寄生电容;确定 用于补偿所述寄生电容的多个补偿电容器中的每一者的电容;及利用所述电容器形成用于 电禪合到堆叠加速器的板的电容器分压器,使得板响应于横跨所述堆叠加速器具有所述一 或多个频率的RF电压脉冲的施加所产生的电场比在不存在电容器分压器的情况下将所述 脉冲施加到堆叠加速器所产生的相应电场更均质。
[0038] 在一些实施例中,确定所述补偿电容器的电容的步骤可包含:计算电容器分压器 中的每一电容器的值,使得每一板处的电容在所述一或多个RF频率下大体上相同。
[0039] 在一些实施例中,方法可进一步包含W下步骤:在将电容器分压器电禪合到板的 步骤之前,模拟具有并入到堆叠中的电容器分压器的环堆叠加速器产生的电场。在一些实 施例中,RF电压脉冲的持续时间可在约1到约100微秒的范围内,且其幅度可在约100伏特到 约100,000伏特的范围内。在一些情况中,RF电压脉冲在脉冲持续时间内具有均匀幅度。
[0040] 在有关方面中,可提供一种用于改进具有环堆叠加速器的质谱仪的RF性能的方 法,其包括W下步骤:估计所述环堆叠加速器中的板的板到板电容;估计在一或多个RF频率 下所述板的寄生电容;确定用于补偿所述寄生电容的一或多个补偿电容器的电容;利用所 述电容器形成用于电禪合到堆叠加速器的板的电容器分压器,使得板响应于跨越所述堆叠 加速器具有所述一或多个频率的RF电压脉冲的施加而产生的电场比在不存在电容器分压 器的情况下将所述脉冲施加到堆叠加速器所产生的相应电场更均质;及校正引起非线性的 效应。
[0041] 在一些实施例中,校正引起非线性的效应的步骤可包括:提供一或多个平衡电容 器。
[0042] 在一些实施例中,方法可进一步包括:测试质谱仪W确认电容器分压器在所述RF 电压脉冲被施加到环堆叠加速器时改进质谱仪的性能。
[0043] 在一些实施例中,确定所述一或多个补偿电容器的电容的步骤可进一步包括:计 算电容器分压器中的每一电容器的值,使得每一板处的电容可在所述一或多个RF频率下大 体上相同。
[0044] 在一些实施例中,方法可进一步包括:在将电容器分压器电禪合到板的步骤之前, 模拟由具有电容器分压器的环堆叠加速器产生的电场的步骤。
[0045] 在一些实施例中,RF脉冲可为大约化S持续时间的高电压脉冲,且任选地,其中所 述RF脉冲可在脉冲持续时间内具有大体上均匀幅度。
【附图说明】
[0046] 图1为可结合一些实施例使用的示范性质谱仪的剖面图;
[0047] 图2为可结合一些实施例使用的示范性环堆叠加速器(RSA)的透视图;
[0048] 图3为包含电路元件的示范性现有技术RSA的侧视图;
[0049] 图4为可结合一些实施例使用的包含电路元件的示范性RSA的侧视图;
[0050] 图5为描绘在示范性RSA中的板处所测量的电压的曲线图;
[0051] 图6为描绘在示范性RSA中的板处所测量的与理想值的电压误差的曲线图;
[0052] 图7为描绘当用脉冲通电时RSA未被校正时的示范性测试结果的曲线图;
[0053] 图8为描绘当用脉冲通电时根据一些实施例校正RSA时的示范性测试结果的曲线 图;
[0054] 图9为未对寄生电容进行校正的RSA的电路图;
[0055] 图10为根据一些实施例的对寄生电容进行校正的RSA的电路图;及
[0056] 图11为描绘对寄生电容进行校正的示范性方法的流程图。
[0057] 图12说明根据一些实施例的S板RSA的3D等距视图;
[005引图13为根据一些实施例的图12中所描绘的=板RSA的横截面;
[0059] 图14为根据一些实施例的对寄生电容进行校正的=板RSA的电路图;
[0060] 图15为根据一些实施例的S板RSA的电路图;
[0061] 图16展示根据一些实施例的典型质谱;
[0062] 图17展示在图16中所描绘的质谱中所观测到的质量的表;
[0063] 图18W曲线图展示图17中所列出的质量;
[0064] 图19展示根据一些实施例的S个板的堆叠的照片。
【具体实施方式】
[0065] 本发明大体上设及用于质谱仪中的环堆叠加速器(RSA),可利用环堆叠加速器 (RSA)响应于横跨堆叠加速器的电压脉冲(例如,射频(RF)电压脉冲)的施加在堆叠加速器 的容积内且至少沿着其纵轴产生大体上均质(均匀)电场。环堆叠加速器的目标是具有两种 状态(接通及断开)的电场。接通状态为非零电场,其具有导致离子在检测器处在空间时间 速度上聚焦所必要的量值。场接通状态必须具有比最慢、最高质荷比离子离开加速器所花 费的时间长的周期。此周期取决于所关注离子的质荷比为约1到20微秒。对于此整个持续时 间,脉冲必须维持电场恒定。当离子处于电场内时场必须不改变。否则,将观测到时间相依 效应,其将表现为质量相依效应。较快移动的低质荷比离子与较慢移动的高质荷比离子将 经历不同的加速。电场必须具有可控制及可知的值,且场取决于性能要求必须为十分均质 的(意味着场在操作容积内的全部位置处具有偏差在0.1 %到0.0 OOOl %范围内的相同值)。 在断开状态期间,离子被允许进入电场。零场意味着离子轨迹不受扰动,且牛顿第一定律将 适用。在接通状态期间,离子W众所周知且受控的质量/空间/初始离子速度相依速度加速 进入到TOF分析器的剩余区段中,借此允许离子在检测器上按质荷比进行时间聚焦。断开状 态与接通状态之间的时间必须被保持为尽可能的短W便防止将在实现高精确聚焦的目标 的过程中引起问题的任何效应。采取巨大努力W产生可产生具有十分快速上升时间、十分 小的振铃及十分平坦顶部的所需电压脉冲的装置。假定现有此类脉冲,出于给定原因(寄生 电容及时间相依充电),在环堆叠加速器中仍产生问题。本发明解决运些问题。
[0066] 还可将具有开口的板称为环。本文中可交换地使用术语"平衡电容器"及"补偿电 容器"。如本文中所使用的术语"大体上均匀电场"是指其量值在不同空间点(例如,堆叠加 速器的容积内或沿着堆叠加速器的纵轴的空间点)处变化非常小的量(0.1%或更少)的电 场。如本文中所使用的术语"RF电压脉冲"是指具有有限的持续时间(例如,在约1微秒到约 100微秒的范围内)及在约IHz到约200 ,OOOHz的范围内(例如,在约3000Hz到约200 ,OOOHz的 范围内)的频率的时变电压。在一些实施例中,此类电压脉冲具有大体上均匀幅度(例如,在 脉冲持续时间内展现小于约0.10%或更少的变化的幅度)。在一些实施例中,RSA包含多个 导电板,其被安置于堆叠中,间隙分离所述板中的任两者。电阻器分压器电禪合到所述板。 另外,电容器分压器与电阻器分压器并联禪合到所述板。电容器分压器包含多个电容器,其 中的每一者并联电禪合到堆叠加速器的板中的一者。环堆叠加速器完全依赖于堆叠中的环 之间的电容W提供电容性分压。在环堆叠加速器中所使用的脉冲的时间尺度上,不能使用 欧姆或电阻性分压。通过使电流经过电阻器来使板充电太慢了。在足够长的时间尺度(大于 1毫秒)上,分压变成完全欧姆性的。但在有关时间周期(其在几纳秒与几微秒之间)期间,是 电容性网络进行分压。在不存在任何寄生电容的情况下,极有帮助的是通过使多个相同板 按相同距离间隔(产生相同电容器)来构造环堆叠加速器。存在额外问题。再一次,此为时间 尺度问题。对于具有许多板的环堆叠加速器,位于端之间、位于中间的那些板是最慢达到操 作电压的板。此引起时间相依行为,所述时间相依行为将表现在关于质量校准及跨越质量 范围的均质质量分辨率的问题中。本发明(使用补偿电容器)必须校正由寄生电容及归因于 环的时间相依充电两者而引入到环堆叠加速器中的问题。本发明的一个实施例是将补偿电 容器附接于板之间W校正寄生电容问题及时间相依问题。另一实施例将是调整板的尺寸使 得板到板电容沿着环堆叠加速器变化,从而产生正好为校正寄生电容及时间相依问题所必 要的板到板电容器值。
[0067] 存在=种类型的电容,两种为可控制的且精确可知的,一种为很大程度上未知且 不受控的。
[0068] 第一类型的电容为板到板电容。运些电容值取决于板与环的间隔及尺寸。使每一 对板或环精确地平行于彼此而定位,因此组成经典的教科书式的电容器。在给定其它约束 的情况下,所有板到板电容值为精确地可知的、可测量的且可受控于一范围内。一些约束包 含允许安装到可用真空腔中的尺寸、足W防止形成电弧的板分离尺寸、允许离子进入及离 开的电极形状及大小,及最后地,最终允许离子在检测器处的时间空间速度聚焦的电场尺 寸及量值。
[0069] 第二类型的电容是补偿电容器。在给定可用性的约束的情况下,此等电容器是精 确地可知且可控制的标准电容器。
[0070] 第=类型的电容是寄生电容。此为每一电极与环境之间的电容。环境中影响此类 型电容的元件包含真空腔、附近离子引导件,或被保持于接地电压或足够接近W在环境元 件与环堆叠电极中的环中的任一者之间产生非零电容值的任何其它电压的任何导体。难W 得知运些电容且其在很大程度上不受控制。运些电容的效应是引起预期的电容器分压偏离 预期线性行为,从而导致飞行时间质量分析仪系统在检测器处空间时间速度聚焦离子的能 力损失。
[0071] (例如)W下文更详细论述的方式选择电容器的电容值使得每一板在RF脉冲的频 率下展现大体上均匀阻抗。举例来说,在一些情况中,在RF频率下板的阻抗变化小于10%或 5%。在一些实施例中,每一电容器的电容经选择W补偿与与该电容器禪合的板相关联的寄 生电容。此外,在一些实施例中,电容器经配置使得电容器及电阻器分压器的组合允许响应 于跨越堆叠(即,跨越RSA的第一上游板及其最后一下游板最后一板)的RF电压脉冲的施加, 在RSA的连续板处(即,从前述第一板到最后一板)电压大体上线性变化。换句话来说,板处 的电压从第一上游板到下游板线性地变化,或展现与此类线性的小于大约1%或更少的偏 差。举例来说,在一些实施例中,板处的电压从第一上游板到最后一下游板大体上线性地减 小。在一些实施例中,补偿电容器中的每一者的电容可在大约20微微法拉到大约10毫微法 拉的范围内。
[0072] 如本文中所使用的术语"大约"指示小于10%或小于5%的变化。
[0073] 在一些实施例中,环堆叠加速器(RSA)可包含多个大体上平行的环形板,在堆叠中 的板之间布置有预定的大体上均匀间隙。电阻器分压器或梯形物可被连接到板W便在每一 板处大体上均匀地划分跨越整个堆叠施加的电压,使得邻近板之间所产生的场大体上相 同。堆叠中的每一板可经由相等值电阻器连接到其邻近板(类似于上文所论述的DC实例)。
[0074] 在板之间存在固有电容,W及在板与环境之间也存在寄生电容。当DC电压被施加 到板时,可基于板相对于彼此的大小及布置而建模板之间的电容。RF电压(例如,在大约IHz 到大约200,OOOHz的范围内的频率下巧Ij板的施加可导致更复杂的情况,其中板之间的电容 的变化及与环境的寄生电容可导致非线性分压及非均质电场。
[0075] 实施例可通过添加额外补偿电容器来解决运些寄生电容及因此在较高频率下的 阻抗W减轻问题。此可使得可能产生比使用仅具有电阻器分压器的板堆叠所产生的场更均 质的脉冲电场。运些电容器可被布置为与电阻器分压器并联(且借此与板并联)的电容器分 压器。仔细选择添加到并联分压器中的额外电容器可在用预定特性的电脉冲对堆叠进行通 电时导致环堆叠中的大体上更均匀电场。在一些实施例中,可作为模拟、经验性测试或其任 何组合的结果做出电容器的选择。在一些实施例中,由周围板及环境在每一板处产生的电 容的有效阻抗可通过模拟来计算及通过用低电容探针进行测量加W改进。一旦产生每一板 的电容的近似值,那么可与每一对邻近板并联地添加电容器W使每一板对的电容大体上标 准化,使得每一板的有效电容大体上相同。应了解,如果电容器被适当选择,那么每一板处 的电容可大体上均匀,从而使RSA的高频率有效电路大体上类似于RSA的理想DC模型。
[0076] 在一些实施例中,可提供一种用于质谱仪中的加速器,其包括:第一多个导电板, 其被布置于堆叠中,间隙分离任一对所述板;第一电阻器分压器,其电禪合到所述板;一或 多个电容器,其禪合到所述板且经配置W允许响应于跨越堆叠的电压脉冲的施加在每一板 处产生电压脉冲,所述电压脉冲具有从所述堆叠中的第一板到所述堆叠中的最后一板大体 上线性地变化的幅度;及一或多个平衡电容器,其用于校正引起非线性的效应。
[0077] 在一些实施例中,电容器可经布置W提供与所述第一电阻器分压器并联的电容器 分压器。
[0078] 在一些实施例中,电容器分压器中的电容器可为离散电容器,其具有大体上补偿 第一多个导电板中的寄生电容的值。
[0079] 在一些实施例中,由第一多个导电板所产生的电场可在用所述RF脉冲对其进行通 电时至少沿着所述堆叠的纵轴大体上均质。
[0080] 在一些实施例中,电容器可经配置使得板在所述RF脉冲的频率下展现大体上相等 的电阻抗。
[0081] 在一些实施例中,所述板中的每一者可包括开口 W允许多个离子穿过其。
[0082] 在一些实施例中,第一多个导电板中的第一板可电禪合到经配置W提供所述RF脉 冲的源。
[0083] 在一些实施例中,加速器可进一步包括:第二多个导电板,其被布置于堆叠中,间 隙分离任一对所述板;及第二电阻器分压器,其电禪合到所述第二多个导电板,其中第二多 个导电板可经配置W经由施加到其的DC电压而通电。
[0084] 在一些实施例中,可提供一种质谱仪,其包括:环堆叠加速器,其用于接收多个离 子及使所述离子加速,所述环堆叠加速器可包括:第一多个导电板,其被布置于堆叠中,间 隙分离任一对所述板,第一电阻器分压器,其电禪合到所述板,及电容器分压器,其与第一 电阻器分压器并联地电禪合到所述板,其中所述电容器分压器经配置使得由所述第一多个 导电板响应于电压脉冲到所述堆叠的施加所产生的电场至少沿着所述堆叠的纵大体上均 质;一或多个平衡电容器,其用于校正引起非线性的效应;及检测器,其被安置于所述加速 器下游且经配置W检测所述所加速离子的至少一个性质。
[0085] 在一些实施例中,电容器分压器中的所述电容器可为具有大体上补偿第一多个导 电板中的寄生电容的值的离散电容器。
[0086] 在一些实施例中,所述第一多个导电板中的第一板可电禪合到经配置W提供所述 RF脉冲的源。
[0087] 在一些实施例中,环堆叠加速器可进一步包括:第二多个导电板,其被布置于堆叠 中,间隙分离任一对所述板;及第二电阻器分压器,其电禪合到所述第二多个导电板,其中 所述第二多个导电板可经配置W用DC电压对其通电。
[0088] 在一些实施例中,所述板中的每一者可包括用于使所述离子穿过其的中屯、开口。
[0089] 在一些实施例中,纵轴延伸通过所述中屯、开口的中屯、。
[0090] 在一些实施例中,可提供一种用于改进具有环堆叠加速器的质谱仪的RF性能的方 法,其包括W下步骤:估计所述环堆叠加速器中的板的板到板电容;估计在一或多个RF频率 下板的寄生电容;确定用于补偿所述寄生电容的一或多个补偿电容器的电容;利用所述电 容器形成用于电禪合到堆叠加速器的板的电容器分压器,使得由板响应于跨越所述堆叠加 速器具有所述一或多个频率的RF电压脉冲的施加所产生的电场比在不存在电容器分压器 的情况下通过将所述脉冲施加到堆叠加速器所产生的相应电场更均质;及校正引起非线性 的效应。
[0091] 在一些实施例中,校正引起非线性的效应的步骤可包括:提供一或多个平衡电容 器。
[0092] 在一些实施例中,所述方法可进一步包括:测试质谱仪W确认当所述RF电压脉冲 被施加到环堆叠加速器时电容器分压器改进质谱仪的性能。
[0093] 在一些实施例中,确定所述一或多个补偿电容器的电容的步骤可进一步包括:计 算电容器分压器中的每一电容器的值,使得在所述一或多个RF频率下每一板处的电容可大 体上相同。
[0094] 在一些实施例中,所述方法可进一步包括W下步骤:在将电容器分压器电禪合到 板的步骤之前,模拟由具有所述电容器分压器的所述环堆叠加速器所产生的电场。
[00M] 在一些实施例中,所述RF脉冲可为大约化S持续时间的高电压脉冲,且任选地,其 中所述RF脉冲可在所述脉冲持续时间内具有大体上均匀的幅度。
[0096] 图1为质谱仪20的示范性实施例的组件的图。离子源22提供来自受测试样本的离 子。环堆叠加速器24及26提供电场W用于使来自源22的离子沿着离子路径30加速。RSA 24 为脉冲加速器,其允许提供选通功能W按需要使离子加速。RSA 26包含DC区段,其提供使已 经受RSA区段24的加速的离子进一步加速的均匀DC电场。在一些实施例中,离子镜34及36提 供引起离子路径30反射的电场,其允许质谱仪被置于更紧凑外壳中。在沿着离子路径30行 进之后,离子落在检测器38处,在检测器38处可发生光谱仪检测。在离子路径30的一些部分 中,离子可经受电场(例如,在区域40中或在离子镜34及36内)。离子路径30的最后部分包括 无场区域,离子穿过其到达检测器38。离子检测器38的此离子检测可根据如所属领域中所 理解的任何技术发生。
[0097] 图2是图1的示范性质谱仪的RSA的外部透视图,其包含DC RSA区段26及RF脉冲RSA 区段24两者。RSA的RF脉冲区段24包含板1到15。所展示的板巧Ijl5中的每一者及其它板包含 允许离子穿过其的孔隙。此孔隙允许每一板充当环堆叠中的环。可经由高电压脉冲49的施 加来对距接地板28最远的板1进行充电。与板巧Ijl5并联的分压器可将越来越小的电压施加 到板1到15中的每一者。理想地,分压器允许将电压施加到板,所述电压从板1到板15线性地 变化,使得板1与2之间的电压差与板5与6、9与10、14与15等等之间的电压差大体上相同。应 了解,可基于被加速的离子的类型选择高电压脉冲49的极性。施加到板巧Ijl5的电压将产生 将使离子加速的轴向电场。经加速离子移动经过接地板28且进一步由DC RSA区段26向离子 镜34加速。
[0098] 图3展示与加速器脉冲区段24及DC区段26中的板并联放置的分压器的示范性布 置。脉冲区段24中的板1到15包含置于每一对板之间的多个电阻器。因为板为导电的,所W 每一板与具有固有电容的其它板相互作用,电阻器充当与由板产生的固有电容分压器并联 的电阻器分压器。板1到15中的每一板经历稳态电压,如果电阻器中的每一者都相同,那么 稳态电压在板1与15之间被线性地划分。相同分压器可被应用于DC区段26中。在现有技术中 可见此布置。然而,在不补偿的情况下,脉冲区段中的板1到15可在跨越堆叠施加RF脉冲时 经历非线性瞬变电压。因为归因于(例如,多个板与光谱仪的壁之间的)寄生电容,实际有效 电容在板之间变化,所W会发生此瞬变行为。
[0099] 图4展示根据本教示的RSA的示范性实施例,其利用补偿电容器Ia到15a在使用RF 脉冲对RSA的脉冲区段通电时补偿板1到15处的寄生电容。在此实例中,脉冲区段40包含与 电阻器化到15b并联的补偿电容器Ia到15a。通过与电阻器并联地放置电容器,可产生补偿 电容分压器W补偿每一板处经历的电容的差。在不存在补偿电容器的情况下,在较高频率 下(例如在RF脉冲的施加期间),不同板之间的电容的变化可在板1与15之间的分压器中产 生异质阻抗。运些异质阻抗可导致板1与15之间的非线性电压,所述非线性电压又可导致异 质电场。可通过各种技术(例如模拟或测量或两者,包含图11中所展示的技术)选择电容器 分压器中所使用的电容W改善且优选地消除所产生的电场中的此类异质性。
[0100] 图5展示在图3及4中的实例的示范性实施方案中所观测到的RF脉冲期间的板1到 15中的每一者处的电压对运些板中的每一者的理想电压,其中理想电压假设完美的分压。 运些实例中所运用的电阻器化到15b的电阻分别各自为1兆欧姆,且运些实例中所运用的电 容器 Ia 到 15a 的电容分别为 88pF、68pF、37pF、27pF、20pF、10pF、lpF、lpF、lpF、lpF、lpF、lpF、 IpF及IpFdRF脉冲在板1处具有10,000化的频率及2000V的脉冲幅度。顶部线表示理想线性 分压,其类似于其中分压器中的每一电阻器都相等的理想DC分压。稍微从此理想线偏离的 第二线为在使用如图4中所展示的补偿电容器W帮助使每一板处的阻抗标准化时在RF脉冲 期间在板中的每一者处观测到的电压。从理想线偏离更多的下部曲线为在未使用电容器补 偿阻抗(例如图3中所展示)时在RF脉冲期间在每一板处所观测到的电压。如可见,利用补偿 电容器的RF脉冲RSA区段更接近地近似于理想分压,其将在使用RF脉冲对RSA进行通电时在 操作期间导致更均匀的电场。
[0101] 图6展示在使用补偿电容器时与仅使用电阻分压器时在上文结合图5论述的实例 中的RSA区段24的板1到15中的每一者处观测到的RF电压相对于理想电压的偏离。更特定来 说,顶部曲线展示当使用补偿电容器时所观测到的电压与理想电压之间的百分率误差,且 下部曲线展示当仅使用电阻分压器时的百分率误差。如可见,当使用补偿电容器时,大量板 经历小于30%的误差。同时,在仅使用电阻分压器时,几乎全部板经历大于30%的误差。与 补偿电容器的使用相关联的较低误差指示由RSA区段24的板1到15所产生的用于使离子加 速的更均质电场。更均匀电场又可在离子检测期间导致更大的保真度。图7展示在仅使用电 阻分压器的实例中(例如图3中)在TOF质谱仪的检测电路处所观测到的示范性信号。如可 见,峰值大体上为宽的,从而指示较低分辨率。举例来说,在离子初始加速进入到光谱仪中 期间施加到离子的异质电场可扩大与具有相同m/z比的离子相关联的能量散布,借此导致 增加相同质荷比的离子的飞行时间的变化,导致较低分辨能力及宽不对称峰值。
[0102] 相比之下,图8展示在RSA的RF脉冲区段中分别使用如图4中所展示的具有88pF、 68pF、37pF、27pF、20pF、lOpF、IpF、IpF、IpF、IpF、IpF、IpF、IpF 及 IpF 的电容的补偿电容器 Ia 到15a时所观测到的在603.25到604.07化的范围内的质量信号。在本文中,具有相同质荷比 但在加速器中具有不同起始位置的离子在加速点到检测之间的行进时间上具有较低变化。 分辨能力高的多,峰值变窄,且信噪比增加。此归因于在RF脉冲事件期间在RSA内所产生的 更均质电场。此可导致光谱仪内的更高质量检测。
[0103] 图9展示依据每一板被假设具有相对于邻近板的大约50pF的电容的模型的在RSA 的脉冲区段中预期的示范性等效电路。在此实例中,展示16环环堆叠加速器的电路。分压器 的每一电阻器具有大约300k Q的电阻。在此实例中,结合前五个板使用寄生屏蔽电容器。然 而,关于邻近板之间的电容的假设在较高频率下可能并非正确的,从而导致非均匀阻抗,且 因此导致非均匀电场。电容器C44至化57及C15为板到板电容。电阻器R17至化31为环之间的所 应用的电阻器。电容器Cl到巧为寄生电容的估计。高电压脉冲被施加到电阻器R17与电容器 Cl 5的接合处。RSA在电阻器R31与电容器C44的接合处接地。
[0104] 作为实例,图10中所展示的16环RSA的电路可解决此问题。在本文中,除邻近板之 间的电容的理想模型外,添加右侧上所展示的额外电容分压器。此导致图4中所展示的结构 及例如图5、6及8中的有关结果。可使用任何适合方法(例如模拟、经验性观测或其任何组 合,包含图11中所展示的及下文论述的方法)选择运些电容器的个别值。通过添加运些电容 器,可补偿在每一板处经历的寄生电容。电容器C44至化57及C15为板到板电容。电阻器R17到 R31为环之间的所应用的电阻器。电容器Cl到巧为寄生电容的估计。电容器C6到C21为所应 用的补偿电容器。高电压脉冲被施加于电阻器R17与电容器C6及C15的接合处。RSA在电阻器 R31与电容器C44及C21的接合处接地。
[0105] 图11展示用于选择用于RSA分压器(例如图4中所展示)的根据本教示的补偿电容 器的示范性方法100。在步骤101处,可在用于将DC电压施加到板的静态模型中估计环堆叠 中的每一板之间的板到板电容。通过实例,此可通过模拟、计算或通过使用低电容探针测量 每一对板之间的相对电容完成。在步骤102处,可通过将预定持续时间(例如化S)的高电压 脉冲施加到加速器W获得样本(例如,已知校准样本)的质谱来测试不具有补偿电容器的加 速器的性能。此步骤可为任选的,且如果所得光谱对即将进行的工作来说具有足够分辨率, 那么可有助于避免不必要的补偿。然而,在许多情况中,预期此测试的结果将表现得类似于 图7中所展示的光谱,例如,指示归因于由RSA产生的脉冲场的异质性的质量峰值的加宽。
[0106] 在步骤103处,可使用模拟工具估计与板相关联的寄生电容。适合模拟工具的实例 包含(例如)由加利福尼亚州、圣何塞的化dence设计系统公司(Cadence Design Systems, Inc.of San化se,California)销售的PSPICE。寄生电容可包含(例如)板到板电容、板的群 组与单个板之间的寄生电容W及板到壁电容。模拟可考虑给定板的整体环境。在步骤104 处,可使用与每一板相关联的寄生电容的估计来调整步骤101中所获得的板到板电容估计。
[0107] -旦在环堆叠的模型中考虑了寄生电容,那么在步骤105处,可产生包含经估计寄 生电容的RSA的有效电路模型。可利用此电路模型模拟RSA的性能。可使用常规计算机辅助 模拟工具执行模拟。应了解,通常使用处理器及有关计算机硬件(例如工作站、PC、膝上型计 算机、具有适合处理能力的手持式装置等等)执行方法100中的模拟步骤。在一些实施例中, 处理器可为基于网络的处理器。
[0108] 在步骤106处,可运用电路模型选择补偿电容器,W便考虑到寄生电容的效应。举 例来说,对于补偿电容器的电容值的初始集合,可模拟给定RF频率下的电容器中的每一对 之间的有效电容。可调整电容值,且重复模拟,直到每一对板之间的有效电容大约相同,例 如,不同的板对之间的有效电容的变化可小于约5%。在一些实施例中,此步骤可为手动或 自动的,例如通过推荐补偿电容器的软件。软件也可允许执行大量迭代步骤W达到补偿电 容器的电容的最优值。
[0109] 在步骤107处,可运用补偿电容器的电容的最优值产生(例如,通过利用常规软件 包)包含与电阻分压器并联的并入有补偿电容器的电容分压器的电路示意图。在一些实施 例中,一旦产生最后的电路示意图,可生产包含电阻分压器及选定电容器的印刷电路板 (PCB)。此PCB可被并入于RSA的加速器中W使质谱仪中的离子加速。
[0110] 在一些实施例中,在任选步骤108处,可在实验室中或现场条件下(例如)通过使用 具有预定持续时间(例如化S)的高电压RF脉冲测试并入有补偿电容器的加速器。在此步骤 期间,可运用低电容探针观测环堆叠中的每一板处的实际电容。可使用此调整电路的模型。 在一些实施例中,可在仪器未被通电时,在添加补偿电容器之前观测每一板处的电容。在一 些实施例中,可独立于光谱仪的剩余部分操作RSAW便更易于接近板。
[0111] 在任选步骤109处,在一些实施例中,可使用测试108的结果更新寄生电容的模型 或选择其它电容(例如,在步骤101到107的重复中)。可完成将驱动环堆叠的电阻及电容器 分压器的示意图。可进一步执行模拟W验证电路被优化。一旦完成电路,可产生具有那个电 路的PCB且可将其应用于仪器W驱动环堆叠中的板。在步骤110处,可使用测试样本利用经 补偿电路测试完整仪器W产生测试光谱。如果补偿电容器已被适当地选择,那么此光谱可 具有大体上类似于图8中所展示的光谱的特性。
[0112] 在各种实施例中,可提供=板布置,其中可如图12中所展示般使用单个平衡电容 器(也称为补偿电容器)。图12展示3板加速器堆叠的可能实施例的3D等距视图。注意,脉冲 区段之后是DC区段。展示了补偿电容器的位置及附接。未指示板到板电容及寄生电容。为简 化起见,也未指示电阻器。图13展示图12中所描绘的3环RSA的横截面。单个补偿电容器或平 衡电容器被标记为CIdCI的值经选定W校正寄生电容的效应。Cl的典型值为5微微法拉。未 指示板到板电容及寄生电容。指示电阻器Rl到R13dAC区段具有与加速器的DC区段(R3到 R13)不同值的电阻器(Rl及R2KR1及R2的值必须相等。R3至化13的值必须彼此相等,但不一 定等于Rl及R2。在各种实施例中,图14展示3环RSA的电路。电容器C3到C15为针对特定大小 及间隔(70mm X 76mm及4mm间隔)的板到板电容。补偿电容器或平衡电容器被标记为C1。还 使用电阻器,且将其标记为Rl到R13。电阻器Rl到R13为所应用电阻器,指示了典型值。高电 压脉冲被施加于电容器Cl及C15与电容器Rl的接合处。高电压DC被施加于电容器C3与电阻 器R13的接合处。组合件在电容器C13及C14与电阻器R2及R3的接合处接地。加速器的脉冲区 段具有比加速器的静态电压区段值更低的电阻器。脉冲区段中的电阻器的主要功能是保证 全部脉冲板的电压在脉冲返回到接地之后不久为零。注意,脉冲区段中的电压的划分为电 容性的、并非电阻性的。在静态电压区段或DC区段中,分压为完全欧姆性的。板产生电容器。 在各种实施例中,此电容值为大约50微微法拉(pF)。在此图(图14)中,未指示寄生电容的估 计值。
[0113] 图15展示包含寄生电容的3环环堆叠加速器的电路图。同样还展示加速器的DC区 段。在此情况中,寄生电容问题仅影响一个环:位于脉冲板与接地环/栅格之间的环。=环环 堆叠加速器仅需要一个补偿或平衡电容器。
[0114] 图16展示可在应用补偿或平衡电容器时获得的典型质谱。此为用40电子伏特的碰 撞能量碰撞诱发的谷氨酸纤维蛋白原肤的碎片光谱。氮气被用作碰撞气体。分辨率相当良 好,对于全部质量超出20,000。
[0115] 图17展示在图16中所展示的光谱中所观测到的质量的表。注意,跨越十分广泛的 质荷比范围(72amu到1285amu),所观测到的质量相当接近于理论质量。在此情况中,且使用 线性质量校准公式。
[0116] 图18W曲线图展示图17中所列出的质量。
[0117] 图19展示本发明的一个实施例的照片。所展示的是=个环的堆叠。所述环被标记 为"板"、"环"及"栅格"。标记为"板"的环被连接到高电压脉冲。标记为"栅格"的环被连接到 接地。标记为"环"的环由250k Q电阻器连接到"板"及"栅格"两者。"环"还由补偿电容器(在 此情况中,为5微微法拉(pF))连接到"板"。"板"与"环"之间的间隙精确地等于"环"与"栅 格"之间的间隙,且所述板精确地平行。在=环堆叠的情况中,受寄生电容影响的唯一电极 是中间者:"环"。为确定如何将补偿电容器应用到此堆叠,测量"板"与"环"之间的电容。还 测量"环"与"栅格"之间的电容。比较所述值且确定存在5pF的差值。因此,选择且应用5pF的 补偿电容器W使电容平衡。重要是的,在与最后安装尽可能类似的环境中进行测量,因为寄 生电容非常易由于周围环境而变化。在3环堆叠的情况中,做出对补偿电容器的选择显著地 比具有更多环的其它多环堆叠更容易。如果使用多于=个环,可能需要模拟W便估计寄生 效应。
[0118]所属领域的一般技术人员应了解,可在不背离本发明的范围的情况下对上文实施 例作出各种改变。
【主权项】
1. 一种用于质谱仪中的加速器,其包括: 第一多个导电板,其被布置于堆叠中,间隙分离任一对所述板; 第一电阻器分压器,其电耦合到所述板; 一或多个电容器,其耦合到所述板且经配置以允许响应于跨越所述堆叠的电压脉冲的 施加而在每一板处产生具有从所述堆叠中的第一板到所述堆叠中的最后一板大体上线性 地变化的幅度的电压脉冲;及 一或多个平衡电容器,其用于校正引起非线性的效应。2. 根据权利要求1所述的加速器,其中所述电容器经布置以提供与所述第一电阻器分 压器并联的电容器分压器。3. 根据权利要求2所述的加速器,其中所述电容器分压器中的所述电容器为具有大体 上补偿所述第一多个导电板中的寄生电容的值的离散电容器。4. 根据权利要求1所述的加速器,其中当用所述RF脉冲对所述第一多个导电板进行通 电时,由所述第一多个导电板所产生的电场至少沿着所述堆叠的纵轴大体上均质。5. 根据权利要求1所述的加速器,其中所述电容器经配置使得所述板在所述RF脉冲的 频率下展现大体上相等的电阻抗。6. 根据权利要求1所述的加速器,其中所述板中的每一者包括开口以允许多个离子穿 过其。7. 根据权利要求1所述的加速器,其中所述第一多个导电板中的第一板电耦合到经配 置以提供所述RF脉冲的源。8. 根据权利要求1所述的加速器,其进一步包括: 第二多个导电板,其被布置于堆叠中,间隙分离任一对所述板;及 第二电阻器分压器,其电耦合到所述第二多个导电板, 其中所述第二多个导电板经配置以经由将DC电压施加到其而通电。9. 一种质谱仪,其包括: 环堆叠加速器,其用于接收多个离子及使所述离子加速,所述环堆叠加速器包括: 第一多个导电板,其被布置于堆叠中,间隙分离任一对所述板, 第一电阻器分压器,其电耦合到所述板,及 电容器分压器,其与所述第一电阻器分压器并联电耦合到所述板,其中所述电容器分 压器经配置使得由所述第一多个导电板响应于将电压脉冲施加到所述堆叠所产生的电场 至少沿着所述堆叠的纵大体上均质; 一或多个平衡电容器,其用于校正引起非线性的效应;及 检测器,其被安置于所述加速器下游且经配置以检测所述所加速离子的至少一个性 质。10. 根据权利要求9所述的质谱仪,其中所述电容器分压器中的所述电容器为具有大体 上补偿所述第一多个导电板中的寄生电容的值的离散电容器。11. 根据权利要求9所述的质谱仪,其中所述第一多个导电板中的第一板电耦合到经配 置以提供所述RF脉冲的源。12. 根据权利要求9所述的质谱仪,其中所述环堆叠加速器进一步包括: 第二多个导电板,其被布置于堆叠中,间隙分离任一对所述板;及 第二电阻器分压器,其电耦合到所述第二多个导电板, 其中所述第二多个导电板经配置以用DC电压对其通电。13. 根据权利要求9所述的质谱仪,其中所述板中的每一者包括用于使所述离子穿过其 的中心开口。14. 根据权利要求13所述的质谱仪,其中所述纵轴延伸通过所述中心开口的中心。15. -种用于改进具有环堆叠加速器的质谱仪的RF性能的方法,其包括以下步骤: 估计所述环堆叠加速器中的板的板到板电容; 估计在一或多个RF频率下所述板的寄生电容; 确定用于补偿所述寄生电容的一或多个补偿电容器的电容; 利用所述电容器形成用于电耦合到所述堆叠加速器的所述板的电容器分压器,使得由 所述板响应于跨越所述堆叠加速器具有所述一或多个频率的RF电压脉冲的施加所产生的 电场比在不存在所述电容器分压器的情况下通过将所述脉冲施加到所述堆叠加速器所产 生的相应电场更均质;及 校正引起非线性的效应。16. 根据权利要求15所述的方法,其中校正引起非线性的效应的所述步骤包括:提供一 或多个平衡电容器。17. 根据权利要求15所述的方法,其进一步包括:测试所述质谱仪以确认当所述RF电压 脉冲被施加到所述环堆叠加速器时所述电容器分压器改进所述质谱仪的性能。18. 根据权利要求15所述的方法,其中确定所述一或多个补偿电容器的所述电容的所 述步骤进一步包括:计算所述电容器分压器中的每一电容器的值,使得每一板处的所述电 容在所述一或多个RF频率下大体上相同。19. 根据权利要求15所述的方法,其进一步包括以下步骤:在将所述电容器分压器电耦 合到所述板的步骤之前,模拟由具有所述电容器分压器的所述环堆叠加速器所产生的电 场。20. 根据权利要求15所述的方法,其中所述RF脉冲为大约lys持续时间的高电压脉冲, 且任选地,其中所述RF脉冲在所述脉冲持续时间内具有大体上均匀的幅度。
【文档编号】H05H5/06GK105981483SQ201480074794
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2014年12月20日
【发明人】罗伯特·E·霍伊夫勒, 威廉·M·劳埃德, 亚历山大·齐皮洛维奇
【申请人】Dh科技发展私人贸易有限公司
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