一种线性等离子发生器的制造方法

文档序号:10039309阅读:261来源:国知局
一种线性等离子发生器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型是涉及等离子发生器,尤其是涉及一种线性等离子发生器。
【背景技术】
[0002]两条高频高压线之间,当距离足够靠近,最近的位置即会产生电弧放电,电弧放电时周围的气体发生电离,形成等离子体,一旦等离子体形成,则变成导体,致使此位置持续产生电弧放电(可以视为此位置短路放电),其他位置则无法形成电弧放电,进而其他位置无法产生等离子体。
[0003]现有的等离子发生器利用上述原理进行电弧放电,再用高压气体将等离子吹出,只能实现单点产生等离子体,辐射宽度不超过5厘米,无法满足更大辐射宽度的要求。
【实用新型内容】
[0004]鉴于上述内容,为了满足更大辐射宽度等离子体产生,有必要将“点变线”,使等离子辐射宽度加大至无限长。
[0005]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案为:一种线性等离子发生器,包括一套高频高压电源、一套线性等离子射出装置,所述线性等离子射出装置包括一组等离子外壳所形成的多组气体缓冲区、恒压限流电容组件区和接地电极,所述恒压限流电容组件区包括恒压限流电容和放电电极,所述恒压限流电容与放电电极串联,并通过电源高压线与高频高压电源连接,所述接地电极通过电源接地线与高频高压电源连接后接地,由恒压限流电容和放电电极组成的恒压限流电容组件区的数目不少于两组,且恒压限流电容组件区的各个部分并联。
[0006]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案进一步还包括:
[0007]所述高频高压电源为电压10-15KV,频率25KHz,电流0.1-0.5A的高频高压电源。
[0008]所述多组气体缓冲区为三组,分别是第一缓冲区、第二缓冲区和第三缓冲区,高压气体进入发生器后,经过缓冲区最终保证气体生成的等离子体均匀的从通孔射出。
[0009]所述第一缓冲区包含上板、两个侧板、前板、后板和缓冲板。
[0010]所述第二缓冲区包括缓冲板、电容板、两个侧板、前板和后板。
[0011]所述第三缓冲区包括电容板、底板、侧板以及不少于两组的放电电极和陶瓷,在底板上还设有的通孔以及在放电电极上还设有电极缺口。
[0012]所述放电电极为可导电的直径为4mm的不锈钢材质,底部并设有缺口,方便气体通过并产生等离子体,所述陶瓷为三氧化二铝材质,内径为5mm,所述通孔直径为l-2mm。
[0013]所述电容板上电容的一只接线柱与等离子射出装置内部高压电线连接,另一只接线柱通过电容螺丝固定在电容板上,在电容螺丝的底部镶嵌有导电弹簧,导电弹簧的另一端镶嵌在放电电极上,内部高压线与等离子射出装置高压电接入线连接,等离子射出装置高压电接入线与电源高压线连接,即高频高压电源通过电源高压线、等离子射出装置高压电接入线、内部高压电线将电量接通于电容板上电容的一只接线柱上,恒压限流电容通过另一只接线柱、电容螺丝、导电弹簧将电源的电量均匀分配给其对应的放电电极上。
[0014]所述电容螺丝和导电弹簧为可导电的不锈钢材质。
[0015]所述上板、侧板、前板、后板和缓冲板均为环氧树脂材质。
[0016]所述电容板和位于底板与电容板之间的限位板为环氧树脂材质。
[0017]本实用新型的有益技术效果是:本实用新型的发生器通过恒压限流电容组件,实现了在高频高压电上并联2组及以上数目的电极。可以使等离子体由“点变线”,使等离子区域辐射面积由5厘米提高至无限大。
【附图说明】
[0018]图1,本实用新型高频高压电源及恒压限流并联电容示意图;
[0019]图2,本实用新型线性等离子射出装置右上视角示意图;
[0020]图3,本实用新型线性等离子射出装置右下视角示意图;
[0021]图4,本实用新型线性等离子射出装置前板打开后内部结构示意图;
[0022]图5,本实用新型线性等离子射出装置上板隐藏后内部结构示意图;
[0023]图6,本实用新型线性等离子射出装置上板、前板、缓冲板隐藏后内部结构示意图;
[0024]图7,本实用新型第三缓冲区沿B-B线的剖视图;
[0025]图8,图7中部分放大示意图;
[0026]图9,本实用新型线性等离子射出装置电容、高压线、放电电极、陶瓷、底板结构图;
[0027]图10,本实用新型高频高压电源及恒压限流并联电容的其中一实施例示意图。
[0028]主要元件符号说明:
[0029]1.高频高压电源2.电源高压线 3.电容
[0030]4.放电电极5.接地电极 6.电源接地线
[0031]7.M4 18mm螺丝52条8.充气孔 9.等离子射出装置高压电
[0032]接入线
[0033]10.等离子射出装置地线11.通孔12.上板
[0034]13.前板14.侧板 15.缓冲板通孔
[0035]16.后板17.缓冲板 18.电容
[0036]19.等离子射出装置内部高压电线20.电容板21.电容螺丝
[0037]22.陶瓷23.放电电极 24.底板
[0038]25.限位板26.导电弹簧 27.电容板通孔
[0039]28.第一缓冲区29.第二缓冲区30.第三缓冲区
[0040]31.电极缺口
【具体实施方式】
[0041]下面将结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步说明。
[0042]具体实施例一
[0043]请参阅图1,本实用新型主要采用的是材质SL,电容量22PF,误差10%,耐压值50KV的高电压低容量电容(包括但不限于此型号电容)。电源的电量被电容均匀的分到5个电极上,可以使5个电容同时产生电弧,避免单个电极产生电弧,其他电极无法产生电弧的弊端。具体操作方式是将电容3与电极4串联,然后再将电容4和电极4并联,接通在电源输出高压电线2上,在电极4和接地电极5之间充入气体,使电极4和接地电极5之间产生等离子体。
[0044]本实用新型的气体充入和射出方式:
[0045]本实用新型的气体充入和等离子射出请参阅图2和图3,图2中充气孔8接通
0.6MPa左右的空气(可以是压缩空气,氮气,氩气等,但绝对不允许是纯度大于30%的氧气),经过内部电弧放电形成等离子体并由图3中的直径1-2毫米的通孔11射出,具体实现方法如下:
[0046]参考图4、图5、图6、图7、图8、图9,图4中0.6MPa的气体经过充气孔8进入等离子射出装置后,被图5中上板12 (隐藏,材质环氧树脂,高绝缘性)、两个侧板14 (材质环氧树脂,尚绝缘性)、如板13 (材质环氧树脂,尚绝缘性)、后板16 (材质环氧树脂,尚绝缘性)和缓冲板17 (材质环氧树脂,高绝缘性)形成的第一缓冲区28缓冲,缓冲后经缓冲板通孔15进入第二缓冲区29。
[0047]参考图6、图7,由缓冲板17 (隐藏)、电容板20 (材质环氧树脂,高绝缘性)、两个侧板14、前板13(隐藏)、后板形成的第二缓冲区对进入
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