专利名称：硅基麦克风的制作方法
技术领域：
珪基麦克风
技术领域：
本实用新型涉及一种麦克风，尤其涉及一种MEMS硅基麦克风。背景技术：
随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话 的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目 前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦 克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。
目前应用较多且性能较好的麦克风是微电机系统麦克风
(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone, 简称MEMS),其封装体 积比传统的驻极体麦克风小。MEMS麦克风是基于硅基半导体材料制成， 故又称硅基麦克风。近几年，硅基MEMS麦克风已取得了很大的进步。
如图1所示，为现有常见的MEMS硅基麦克风1的剖视示意图。此类 麦克风包括内部设有空腔的基底10、实现电容效应的背极板11和振膜12。 振膜的周缘被固定，与背极板相对且与背极板间隔一定距离。当声音气流 传递到振膜上时，振膜上下振动以产生位移，改变电容器的电容量，电容 量的改变使电容器的输出端产生相应的交变电场，形成了与声波信号对应 的电信号，从而完成声电转换的功能。
实用新型内容
本实用新型需解决的技术问题是提供一种结构设计独特、灵敏度高的 硅基麦克风。
根据上述需解决的技术问题，设计了一种硅基麦克风，内部设有空腔 的基底、收容于基底空腔内的背极板、振膜，所述振膜包括振动主体和与 振动主体相连且位于振动主体中央区域的连接部，所述连接部与背极板相 连，所述振动主体与背极板相对。作为本实用新型进一步改进，所述振动主体为扁圓柱形，连接部为由 振动主体中央区域延伸的长圆柱形。
作为本实用新型进一步改进，所述振膜的横截面为T形。 与现有技术相比，本实用新型振膜振动主体周缘未被固定，而是通过 位于振动主体中央区域的连接部固定于背极板上，振动主体与背极板相对 且可相对背极板上下振动。此种结构设计独特，所得产品的灵敏度也很高。
图1是现有常见MEMS硅基麦克风的剖视示意图2是本实用新型硅基麦克风的立体示意图3是图2中B-B方向的剖视示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
如图2和图3所示，为本实用新型实施方式硅基麦克风2，包括基底 20、背极板21、振膜22。基底20内设有空腔200，背极板21收容于空腔 200内。在背极4反21上还设有通气孔210。
振膜22的横截面为T形，包括扁圓柱形的振动主体220和与振动主体 相连的连接部221。连接部221为由振动主体中央区域延伸的长圓柱形。 振动主体220通过连接部221与背板板21相连而与背极板21相对'。振动 主体可相对背极板上下振动并与背极板形成电容效应。当声音气流传递到 振膜上时，振动主体上下振动以产生位移，改变电容器的电容量，电容量 的改变使电容器的输出端产生相应的交变电场，形成与声波信号对应的电 信号，从而完成声电转换的功能。
本实用新型振膜的振动主体周缘未被固定，而是通过位于振动主体中 央区域的连接部固定于背极板上，与现有技术相比，此结构设计独特，所 得产品的灵敏度也很高。
以上所述的仅是本实用新型的实施方式，在此应当指出，对于本领域 的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做 出改进，但这些均属于本实用新型的保护范围。
权利要求1、一种硅基麦克风，包括内部设有空腔的基底、收容于基底空腔内的背极板、振膜，其特征在于所述振膜包括振动主体和与振动主体相连且位于振动主体中央区域的连接部，所述连接部与背极板相连，所述振动主体与背极板相对。
2、 根据权利要求1所述的硅基麦克风，其特征在于所述振动主体为 扁圓柱形，连接部为由振动主体中央区域延伸的长圆柱形。
3、 根据权利要求1或2所述的硅基麦克风，其特征在于所述振膜的 横截面为T形。
专利摘要本实用新型提供了一种硅基麦克风，包括内部设有空腔的基底、收容于基底空腔内的背极板、振膜，所述振膜包括振动主体和与振动主体相连且位于振动主体中央区域的连接部，所述连接部与背极板相连，所述振动主体与背极板相对。与现有技术相比，本实用新型振膜的振动主体周缘未被固定，而是通过位于振动主体中央区域的连接部固定于背极板上，振动主体可相对背极板上下振动，这种结构设计独特，所得产品的灵敏度也很高。
文档编号H04R19/04GK201345734SQ20082023572
公开日2009年11月11日 申请日期2008年12月26日 优先权日2008年12月26日
发明者睿 张 申请人:瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声声学科技(常州)有限公司