专利名称：电容麦克风的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种麦克风，尤其涉及一种微机电麦克风。
背景技术：
随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话的要求已不 仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移 动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好 坏直接影响通话质量。 而目前应用较多且性能较好的麦克风是微电机系统麦克风(Micro-Electro-Mech anical-System Microphone,简称MEMS)，相关技术中，背板与振膜之间的空气隙与外部气 压不够平衡，抗冲击性能较差。因此有必要提供一种新型的MEMS麦克风。
发明内容本实用新型需解决的技术问题是提供一种振膜与背板之间的空气隙与外部气压 平衡的电容麦克风。 根据上述需解决的技术问题，设计了一种电容麦克风，包括设有空腔的基底，与基 底相连的背板，与背板相对的振膜，支撑振膜并将振膜与背板间隔的支撑层，该振膜与背板 之间有空气间隙，背板上设有声孔，支撑层上设置有槽，所述振膜覆盖槽的一部分并与该槽 形成支撑缝隙，该支撑缝隙与所述空气间隙相通。 优选的，振膜包括振动部和与支撑层相连的支撑部，所述支撑部自振动部外围向 远离振膜中心方向延伸；支撑层上设置有槽，所述支撑部部分遮蔽该槽并与该槽形成支撑 缝隙，该支撑缝隙与所述空气间隙相通。 优选的，所述振膜为圆形。 优选的，所述支撑部是自振膜外围向远离振膜中心延伸的凸块。 本实用新型的有益效果在于由于支撑缝隙与空气间隙相通，保证了空气间隙与
外部气压的平衡。 由于振膜的支撑部基本不参与振动过程，有效缓解支撑部与振动部连接处的应力 集中，提高了麦克风的抗冲击性能。而且支撑缝隙对于尺寸的精度要求较低，有效降低了对 工艺的要求，简化工艺流程。
图l是本实用新型 图2是本实用新型 图3是本实用新型 图4是本实用新型
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一个实施例的立体分解图； 一个实施例立体一个实施例中振膜与支撑层相连的平面图； 一个实 例的剖面图。
具体实施方式
以下结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。 参见图1和2，本实用新型提供的电容麦克风1包括基底ll，与基底11相连的背 板13，与基底11和背板13相连的支撑层12。 参见图4，有一空腔111穿过基底ll，振膜14与背板13相对设置，且振膜14与背 板13之间形成有空气间隙15。背板13上设有声孔131。振膜14包括振动部141和支撑 部142，支撑部142自振动部141的外周向远离振膜14中心方向延伸。支撑部142和振动 部141 一体成型。 在一个实施例中，支撑部142是自振动部141的外周向远离振膜14中心方向延伸 出的凸块。但是支撑部142的形状不受此限制，可以是任一形状。支撑部142至少有一个。 参见图1、图4，支撑层12设有槽121，支撑部142部分遮蔽槽121并与槽121形成 支撑缝隙123(参见图3)，该支撑缝隙123与空气间隙15相通。支撑缝隙123也至少有一 个。由于支撑缝隙123与空气间隙15相通，保证了空气隙与外部气压的平衡。 由于采用了此种结构，本实用新型提供的电容麦克风1的振膜14的支撑部142基 本不参与振动过程，有效缓解了支撑部142与振动部141之间的应力集中，提高了电容麦克 风1的抗冲击性能。而且，该结构对支撑缝隙123尺寸的精度要求较低，有效降低了对工艺 的要求，简化了工艺流程。 振膜14可以是圆形，也可以是方形、椭圆形等。 本实用新型还提供了一种电容麦克风，与上述电容麦克风l不同之处在于，振膜 不包括支撑部，而是振膜部分覆盖设置在支撑层上的槽并与该槽形成支撑缝隙，该支撑缝 隙与所述空气间隙相通。 以上所述的仅是本实用新型的一种实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通 技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本 实用新型的保护范围。
权利要求一种电容麦克风，包括设有空腔的基底，与基底相连的背板，与背板相对的振膜，支撑振膜并将振膜与背板间隔的支撑层，该振膜与背板之间有空气间隙，背板上设有声孔，其特征在于支撑层上设置有槽，所述振膜覆盖槽的一部分并与该槽形成支撑缝隙，该支撑缝隙与所述空气间隙相通。
2. 根据权利要求1所述的电容麦克风，其特征在于振膜包括振动部和与支撑层相连 的支撑部，所述支撑部自振动部外围向远离振膜中心方向延伸；支撑层上设置有槽，所述支 撑部部分遮蔽该槽并与该槽形成支撑缝隙，该支撑缝隙与所述空气间隙相通。
3. 根据权利要求1所述的电容麦克风，其特征在于所述振膜为圆形。
4. 根据权利要求1所述的电容麦克风，其特征在于所述支撑部是自振膜外围向远离 振膜中心延伸的凸块。
专利摘要本实用新型提供了一种电容麦克风，包括设有空腔的基底，与基底相连的背板，与背板相对的振膜，支撑振膜并将振膜与背板间隔的支撑层，该振膜与背板之间有空气间隙，背板上设有声孔，支撑层上设置有槽，所述振膜覆盖槽的一部分并与该槽形成支撑缝隙，该支撑缝隙与所述空气间隙相通。由于支撑缝隙与空气间隙相通，保证了空气间隙与外部气压的平衡。
文档编号H04R19/04GK201467442SQ20092013147
公开日2010年5月12日 申请日期2009年5月15日 优先权日2009年5月15日
发明者张睿 申请人:瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司