固态摄像装置、固态摄像装置的制造方法以及电子设备的制作方法
【专利摘要】本发明提供了固态摄像装置、固态摄像装置的制造方法以及电子设备。固态摄像装置包括摄像像素和焦点检测像素，摄像像素，其包括微透镜以及用于接收从所述微透镜入射的光的光电转换单元；以及焦点检测像素，其包括所述微透镜、所述光电转换单元以及用于遮挡入射到所述光电转换单元上的部分光的遮光单元，其中，所述微透镜一致地形成在所述摄像像素和所述焦点检测像素中，并且所述焦点检测像素还包括形成在所述微透镜的下层的高折射率膜，或者所述焦点检测像素还包括形成在所述微透镜的下层的高折射率膜，亦或者所述摄像像素还包括形成在所述微透镜的下层的波导。能够简化微透镜的形成工艺，并且优化摄像像素的灵敏度以及焦点检测像素的分离特性。
【专利说明】固态摄像装置、固态摄像装置的制造方法以及电子设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及固态摄像装置、固态摄像装置的制造方法以及电子设备，并且特别地涉及能够优化摄像像素的灵敏度以及焦点检测(focus detect1n)像素的分离特性的固态摄像装置、固态摄像装置的制造方法以及电子设备。
【背景技术】
[0002]目前已知的固态摄像装置通过所谓的基于由成对的焦点检测像素输出的信号的偏移量来检测聚焦点的光瞳分割(pupil divis1n)相位差系统进行焦点检测。在固态摄像装置中，焦点检测像素被设置至具有摄像像素的像素阵列单元。
[0003]在这类固态摄像装置中，在位于低于遮光膜的层上的光电转换单元的受光表面侧上存在微透镜的集光点的情况下，摄像像素表现出最高的灵敏度。另一方面，在遮光膜上存在微透镜的集光点的情况下，焦点检测像素表现出最强的分离特性。然而，在相关技术中，摄像像素的灵敏度的优化是以牺牲焦点检测像素的分离性能为代价的。
[0004]鉴于此，在焦点检测像素中，为了使微透镜的集光点与摄像像素的集光点相重合，已提出了针对摄像像素和焦点检测像素单独地制造微透镜的方法(例如，见日本专利申请
【发明者】冈治 申请人:索尼公司