1.一种敏感膜，其特征在于：包括位于中部的感测部(2c)、位于边缘的连接部(2a)，以及位于感测部(2c)与连接部(2a)之间的动作部(2b)；所述感测部(2c)、动作部(2b)、连接部(2a)是一体成型的；其中，所述动作部(2b)呈波纹状或者矩形齿状；在所述连接部(2a)的位置还设置有第一补强部(6)。
2.根据权利要求1所述的敏感膜，其特征在于：所述动作部(2b)的延伸方向与所述感测部(2c)的延伸方向一致；或者是，所述动作部(2b)与所述感测部(2c)垂直。
3.根据权利要求1所述的敏感膜，其特征在于：在所述感测部(2c)上设置有第二补强部(7)。
4.根据权利要求3所述的敏感膜，其特征在于：所述第一补强部(6)设置在连接部(2a)的下端，且所述第一补强部(6)与连接部(2a)采用相同或者不同的材料。
5.根据权利要求4所述的敏感膜，其特征在于：所述第二补强部(7)设置在感测部(2c)的下端，且所述第二补强部(7)与感测部(2c)采用相同或者不同的材料。
6.根据权利要求5所述的敏感膜，其特征在于：所述第一补强部(6)、第二补强部(7)分别与振膜的连接部(2a)、感测部(2c)通过逐层沉积并刻蚀的方式堆叠在一起。
7.根据权利要求1所述的敏感膜，其特征在于：所述感测部(2c)的端面高于所述动作部(2b)的端面。
8.根据权利要求1所述的敏感膜，其特征在于：在所述动作部(2b)上设有调节所述动作部(2b)振动频率的微孔结构(8)。
9.一种MEMS麦克风，其特征在于：包括具有背腔的衬底(1)，在所述衬底(1)上设置有背极(3)，以及如权利要求1至8任一项所述的敏感膜，所述敏感膜与背极(3)构成了平板电容器结构。
10.根据权利要求9所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述敏感膜位于背极(3)的上方，形成了敏感膜在上、背极(3)在下的电容式结构；或者是，
所述敏感膜位于背极(3)的下方，形成了敏感膜在下、背极(3)在上的电容式结构。