技术总结
本实用新型公开了一种敏感膜及MEMS麦克风，包括位于中部的感测部、位于边缘的连接部，以及位于感测部与连接部之间的动作部；所述感测部、动作部、连接部是一体成型的；其中，所述动作部呈波纹状或者矩形齿状；在所述连接部的位置还设置有第一补强部。本实用新型的敏感膜，整合了传统弹簧式膜片以及全膜式结构膜的优点，通过设置在中部区域可提供中央区域类全平面感测的形式，在相同的位移区间内相较于传统曲面形变，可提供更大的电容变化量，从而提高整体灵敏度；通过呈波纹状或者矩形齿状的动作部可为感测部提供更大的位移量，从而可以提高感测部的灵敏度；通过设置在连接部位置的第一补强部可以大大提高敏感膜的连接强度，从而可以提高敏感膜的抗冲击能力。
技术研发人员：詹竣凯;蔡孟锦
受保护的技术使用者：歌尔股份有限公司
文档号码：201621023686
技术研发日：2016.08.31
技术公布日：2017.05.10