固体摄像装置的制作方法

文档序号:13742451阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明所涉及的固体摄像装置(1)具备受光部(10)以及信号读出部(20)。另外,具备控制这些受光部(10)以及信号读出部(20)各自的动作的控制部(30)。受光部(10)在具有互相相对的第1主面以及第2主面的半导体基板的所述第1主面上具有M×N个像素(P1,1~PM,N)。各个像素(Pm,n)包含多个埋入式光电二极管(PD)、电容部(C1)、多个传送用开关(SW1)以及输出用开关(SW2)。由此,能够缩短从各个像素的光电二极管的结电容部读出的电荷读出的时间从而实现了光检测的S/N比或线性表现优异的固体摄像装置。

技术研发人员:山崎智浩;铃木高志
受保护的技术使用者:浜松光子学株式会社
技术研发日:2016.06.24
技术公布日:2018.02.16
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