一种光发射模块的制作方法

文档序号:11451269阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光发射模块,包括基体(1)、激光器芯片(3)及监控探测器(4),所述的激光器芯片(3)设于所述的基体(1)的上表面上;其特征在于:所述的监控探测器(4)集成在所述的基体(1)上且该监控探测器(4)的光接收区域(4.1)露置在所述的基体(1)的上表面上,所述的光接收区域(4.1)位于所述的激光器芯片(3)的前方的下侧。

2.根据权利要求1所述的光发射模块,其特征在于:所述的基体(1)为硅基底,所述的光接收区域(4.1)为锗材料,所述的光接收区域(4.1)由硅基底生长锗制作而成。

3.根据权利要求1所述的光发射模块,其特征在于:所述的光接收区域(4.1)的面积不大于150um。

4.根据权利要求3所述的光发射模块,其特征在于:所述的激光器芯片(3)射到所述的光接收区域(4.1)上的光的发射角度(a)为大于等于50°且小于等于70°。

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