技术特征：
技术总结
一种微机电式麦克风，具有：扁平的第一电极，至少部分地由导电材料形成；扁平的第二电极，与第一电极间隔布置并且至少部分地由导电材料形成；布置在第一电极和第二电极之间的间隔件；以及布置在第一电极和第二电极之间所定义的空间中的膜，并且膜能够向着第一电极和/或第二电极的方向移动，膜具有膜通孔，间隔件延伸穿过膜通孔，其中，在第一电极和第二电极之间所定义的其中布置有膜的空间与麦克风的周边环境处于气体交换连接中。
技术研发人员：A·德厄
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司
技术研发日：2018.01.22
技术公布日：2018.07.31