专利名称：多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及多晶硅定向凝固炉生产技术领域，尤其是多晶硅定向凝固炉真空 系统进出气阀门。
背景技术：
现有的多晶硅锭定向凝固炉，涉及真空系统及进出气阀门，真空泵系统包括一个 罗茨泵和机械前级泵。能使腔室压力迅速下降到0.05mbar以下。大部分情况下，打开机械 泵使腔室保持部分真空状态(400-600mbar )。在某个阶段需要氩气，用一个质量流量控制器 控制氩气进气量，用一个与真空系统相连的比例控制阀调节氩气排气量。所以对阀门的控 制是一个很重要的环节，一旦损坏不能及时更换带来的损失就会很大。现有技术中炉子是 自动运行的，采用气动自动阀，炉子进气是由气体流量控制器来控制进多少量，进气阀只是 这个时候打开；出气也是一样的，排气阀常开通过比例阀来控制量。炉子在停止工作的时候 气动阀是关闭的(此时比例阀、气体流量控制器也关闭了)。自动阀的优点是方便控制，不需 要操作人员去调整。但是，如果阀门内部出现故障的话会打不开阀门，这存在着生产隐患。
发明内容本实用新型的目的是提供一种多晶硅锭定向凝固炉气动连手动阀，它可克服现有 技术的缺陷，确保生产安全。本实用新型的目的是通过以下方案实现的多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀，其 特征在于气动阀门设置在进气管道或出气管道上，在气动阀门上连接有手动阀门。本实用新型还可通过以下方案进一步实现所述的气动阀门通过螺丝与手动阀门固接。所述的手动阀门管道内径与所在管道内径相同。所述的手动阀门为柱塞阀、旋塞阀、球阀之一种。本实用新型的有益效果是在原有的气动进出气阀门连接出加上一个手动的阀 门，正常情况下常开不会影响炉子正常运行。排气阀加装一个手动阀，如果排气阀出现问 题，可以将连接在下端的手动阀关闭，更换一个新的排气阀上去，这样炉子能继续正常运行 下去。进气阀加装一个手动阀，氩气通过质量流量控制器后接一个手动阀在进气阀坏了后 便于更换。最终炉子可以安全运行完，从而降低了事故发生率和生产成本。
图1为本实用新型排气阀管道线路示意图，图2为本实用新型进气阀管道线路示意图。图中1为机械泵和罗茨泵，2为Vl阀大排气阀，3为比例阀，4为V3阀小排气阀， 5为手动阀，6为炉腔，7为气体流量控制器，8为手动阀，9为大进气阀，10为进炉腔接口。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，并使本实用新型的上述目 的、特征和优点能够更加明显易懂，
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的 说明。实施例如图1所示，机械泵和罗茨泵1通过管道连接炉腔6 (里面压力为600mbar)，在管 道上设有Vl阀大排气阀(铸锭炉运行时关闭)2，Vl阀大排气阀并联的旁路管道上，串联有 比例阀(用来调节出气量)3，V3阀小排气阀4 (铸锭炉正常运行打开)和手动阀5 (也就是 需要加装的)。如图2所示，与大进气阀9 (正常时不开)并联的旁路管道上，串联有气体流量控 制器7、进气处手动阀8 (也就是需要加装的)，两管道连接进炉腔接口 10。以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限 于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变 化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀，其特征在于气动阀门设置在进气管道或出气管 道上，在气动阀门上连接有手动阀门。
2.根据权利要求1所述的多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀，其特征在于气动阀门通 过螺丝与手动阀门固接。
3.根据权利要求1所述的多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀，其特征在于手动阀门管 道内径与所在管道内径相同。
4.根据权利要求1所述的多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀，其特征在于手动阀门为 柱塞阀、旋塞阀、球阀之一种。
专利摘要多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀，涉及多晶硅定向凝固炉生产技术领域，尤其是多晶硅定向凝固炉真空系统进出气阀门，气动阀门设置在进气管道或出气管道上，在气动阀门上连接有手动阀门。本实用新型的有益效果是在原有的气动进出气阀门连接出加上一个手动的阀门，正常情况下常开不会影响炉子正常运行。如果排气阀或进气阀出现问题，可以将连接在下端的手动阀关闭，更换一个新的排气阀上去，这样炉子能继续正常运行下去。最终炉子可以安全运行完，从而降低了事故发生率和生产成本。
文档编号C30B29/06GK201924103SQ201020627488
公开日2011年8月10日 申请日期2010年11月26日 优先权日2010年11月26日
发明者刘茂华, 印亚峰, 孙志刚, 熊涛涛 申请人:安阳市凤凰光伏科技有限公司