网版印刷装置制造方法

网版印刷装置制造方法
【专利摘要】一种网版印刷装置，包括：印刷执行部(20A、20B)；第一、第二基板搬入部(En1、En2)及基板搬出部(Ex)；第一、第二基板支撑台(10A、10B)，将基板(W)以能够在印刷执行部(20A、20B)被印刷的方式予以支撑。第一基板支撑台(10A)在接受从第一基板搬入部(En1)搬入的基板(W)的第一接受位置与从基板搬出部(Ex)搬出基板(W)的送出位置之间移动，第二基板支撑台(10B)在接受从第二基板搬入部(En2)搬入的基板(W)的第二接受位置与所述送出位置之间移动，印刷执行部(20A、20B)分别设置在能够对基板支撑台(10A、10B)上的基板(W)实施印刷的位置。
【专利说明】网版印刷装直
【技术领域】
[0001]本发明涉及网版印刷装置，该网版印刷装置将膏状焊料或导电性糊剂等印刷到印刷线路板(Printed wiring board,PffB)等基板上，以作为用于在该基板上安装元件的前处理。
【背景技术】
[0002]网版印刷装置被组装于印刷电路板(Printed Circuit Board，PCB)的生产线，对从上游侧搬送来的基板实施导电性糊剂等的印刷，将该基板送出到下游侧的元件安装装置。这种网版印刷装置大多如专利文献I所公开的那样，一般是让装置内的一个印刷部逐块地接纳基板，并且一边实施印刷处理一边将基板送出到元件安装装置。
[0003]但是，近年来已开发了例如专利文献2所公开的装置，该装置具备并列的两个印刷部和在该两个印刷部的下方并列的两个基板移动台，并且一边让各印刷部从上游侧个别地接纳基板，一边对基板实施印刷并个别地送出到下游侧。该结构是基于在一台装置内具备两条基板搬送线并且利用所谓的双搬送型的元件安装装置以在各搬送线上同时进行(并行)元件安装而得以实现的，其目的在于通过连结这些网版印刷装置与元件安装装置来实现印刷及元件安装的效率化。另外，基于同样的理由，还开发了如专利文献3所公开的装置，该装置具备两条搬送线和一个网版模板，该网版模板中形成有与这些搬送线对应的两个印刷图案，该装置一边沿着各搬送线个别地接纳基板，一边利用基于搬送线的不同而不同的印刷图案来实施印刷，之后将基板个别地送出到元件安装装置。
[0004]此外，为了提高生产效率，印刷电路板的生产线以各种形态而被构成。例如，有时要求在具备一条基板搬送线的单搬送型的装置(称作单系统的装置)与并列具备两条基板搬送线的双搬送型的元件安装装置或单搬送型的两台元件安装装置(总称作双系统的装置)之间设置网版印刷装置，或者相反地，在双系统的上游侧装置与单系统的元件安装装置之间设置网版印刷装置。另外，即使在双系统的上游侧装置与双系统的元件安装装置之间设置网版印刷装置从而在从上游侧装置至元件安装装置的范围构成两条基板搬送线的情况下，有时也要求在对沿着一侧的基板搬送线而从上游侧装置搬送来的基板实施印刷处理之后，将印刷完毕的基板搬送至属于另一侧的基板搬送线的元件安装装置。
[0005]但是，专利文献I中公开的以往装置是以设置在单搬送型的上游侧装置与单搬送型的下游侧装置(元件安装装置)之间为前提的装置，因此该装置无法直接以其结构单独地被应用。另一方面，对于专利文献2、3中公开的以往装置，由于这些装置是设置在双搬送型的上游侧装置与双搬送型的下游侧装置(元件安装装置)之间并且基板搬送线分别独立地形成在从上游侧装置至下游侧装置的范围的装置，因此也同样无法直接以其结构单独地被应用。
[0006]因此，在实际的运用中，在上游侧为单搬送型的装置而下游侧为双搬送型的装置(假设为元件安装装置)的情况下，例如作为网版印刷装置而应用专利文献I的装置时，会在网版印刷装置与元件安装装置之间设置用于分配基板的搬送目的地的分配装置。此外，在同样的情况下应用专利文献2、3的装置时，会在上游侧装置与网版印刷装置之间设置同样的分配装置。另外，相反地，在上游侧为双搬送型的装置而下游侧为单搬送型的装置(假设为元件安装装置)的情况下，作为网版印刷装置而应用专利文献I的网版印刷装置时，会在上游侧装置与网版印刷装置之间设置用于切换基板的接纳源的切换装置，此外，在同样的情况下应用专利文献2、3的装置时，会在网版印刷装置与元件安装装置之间设置同样的切换装置。
[0007]另外，在双系统的上游侧装置与双系统的元件安装装置之间设置网版印刷装置的情况下，且在沿着两个基板搬送线中的一侧的基板搬送线搬送来的基板在印刷处理后被搬送至属于另一侧的基板搬送线的元件安装装置的情况下，会在作为网版印刷装置而应用专利文献2、3的网版印刷装置的基础上，在网版印刷装置与元件安装装置之间设置上述同样的切换装置。
[0008]此外，即使在专利文献2、3中公开的网版印刷装置被设置于双系统的上游侧装置与双系统的下游侧装置(元件安装装置)之间的情况下，由于基板搬入侧的基板的搬送线的间距与基板搬出侧的基板的搬送线的间距相同，因此若上游侧装置的各基板搬送线的线间间距与元件安装装置的各基板搬送线的线间间距不同，则该网版印刷装置将无法单独设置在上游侧装置与元件安装装置之间。因此，在这样的情况下，会在上游侧装置与网版印刷装置之间或者网版印刷装置与元件安装装置之间附设用于中继基板搬送的中继装置。
[0009]但是，若如上述那样采用除了网版印刷装置还设置分配装置或切换装置或者中继装置之类的附属设备的生产线结构，在实现印刷电路板制造设备的省空间化及低成本化方面并不理想，此点尚存改良的余地。
[0010]现有技术文献
[0011]专利文献
[0012]专利文献1:日本专利公开公报特开平7-205399号
[0013]专利文献2:日本专利公开公报特开2009-70867号
[0014]专利文献3:日本专利公开公报特开2008-272964号

【发明内容】

[0015]本发明鉴于上述情况而作，其目的在于提供一种网版印刷装置，不需要分配装置等附属设备而能够单独地设置在单系统的装置与双系统的装置之间、或者基板搬送线的间距互不相同的双系统的上游侧装置与双系统的下游侧装置之间。
[0016]为了达成该目的，本发明的网版印刷装置包括:印刷执行部，位于沿特定方向排列的能够供基板搬入的基板搬入位置与能够供印刷后的基板搬出的基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷；基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且将印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出；控制装置，控制所述基板支撑机构；其中，以所述特定方向作为X轴方向时，所述基板支撑机构包括分别沿与X轴方向正交的Y轴方向能够移动地并列设置且具有彼此的可移动区域的一部分重叠的共用区域的第一基板支撑机构及第二基板支撑机构，所述控制装置控制所述第一基板支撑机构及所述第二基板支撑机构，执行第一动作控制、第二动作控制及第三动作控制中的任一控制，其中，所述第一动作控制是从分别作为所述基板搬入位置被预先设定在Y轴方向的互不相同的位置且比所述共用区域更外侧的位置的第一基板搬入位置及第二基板搬入位置接受基板，并且将印刷处理后的基板从位于所述共用区域内的所述基板搬出位置搬出的控制，所述第二动作控制是从位于所述共用区域内的基板搬入位置接受基板，并且将印刷处理后的基板从分别作为所述基板搬出位置被预先设定在Y轴方向的互不相同的位置且比所述共用区域更外侧的位置的第一基板搬出位置及第二基板搬出位置搬出的控制，所述第三动作控制是从分别作为所述基板搬入位置被预先设定在Y轴方向的互不相同的位置且位于所述共用区域内的第一基板搬入位置及第二基板搬入位置接受基板，并且将印刷处理后的基板从分别作为所述基板搬出位置被预先设定在所述Y轴方向的互不相同的位置且位于所述共用区域内的第一基板搬出位置及第二基板搬出位置搬出的控制，所述印刷执行部设置在能够对由所述各基板支撑机构所支撑的基板实施网版印刷的位置。
[0017]根据该网版印刷装置，不需要分配装置等附属设备便能够单独地设置在单系统的装置与双系统的装置之间、或者双系统的上游侧装置与双系统的下游侧装置之间，对从上游侧搬送来的基板实施印刷处理并使该基板搬出至下游侧。
【专利附图】

【附图说明】
[0018]图1是表示本发明所涉及的网版印刷装置的第一实施方式的俯视图。
[0019]图2是表示网版印刷装置的正视图。
[0020]图3是表示被组装于网版印刷装置的基板支撑台及其驱动机构等的俯视图(从网版印刷装置除去印刷执行部等的状态的俯视图)。
[0021]图4是表示基板支撑台的结构的网版印刷装置的剖视图(图3的IV-1V线剖视图)。
[0022]图5是图4中的夹持单元的主要部分放大图(其中，(a)为基板非夹持状态，(b)为基板夹持状态)。
[0023]图6是表示被组装于网版印刷装置的印刷执行部等的立体图。
[0024]图7是表示印刷执行部的俯视图。
[0025]图8是表示保持网版模板的模板保持机构的立体图。
[0026]图9是用于说明被组装于模板保持机构的旋转驱动机构及Y轴驱动机构的该模板保持机构的俯视示意图(其中，(a)表示模板旋转前的状态，(b)表示模板旋转后的状态)。
[0027]图10是表示网版印刷装置的电气结构的方块图。
[0028]图11是说明基于控制装置的控制的网版印刷装置的印刷动作的俯视示意图(其中，(a)、(b)以时间序列表示印刷动作)。
[0029]图12是说明基于控制装置的控制的网版印刷装置的印刷动作的俯视示意图(其中，(a)、(b)以时间序列表示印刷动作)。
[0030]图13是用于说明输送带宽度可变机构的优点的印刷装置的示意图(其中，(a)表示各基板支撑台的输送带宽度可变机构以内侧为基准且元件安装装置的输送带宽度可变机构以装置后侧为基准的情形，(b)表示各基板支撑台的输送带宽度可变机构以内侧为基准且元件安装装置的输送带宽度可变机构以装置前侧为基准的情形)。
[0031]图14是用于说明输送带宽度可变机构的优点的印刷装置的示意图(其中，(a)表示各基板支撑台的输送带宽度可变机构以外侧为基准且元件安装装置的输送带宽度可变机构以装置后侧为基准的情形，(b)表示各基板支撑台的输送带宽度可变机构以外侧为基准且元件安装装置的输送带宽度可变机构以装置前侧为基准的情形)。
[0032]图15是表示本发明所涉及的网版印刷装置的第二实施方式的俯视示意图(其中，(a)、(b)、(c)以时间序列表示印刷动作)。
[0033]图16是表示本发明所涉及的网版印刷装置的第三实施方式的俯视示意图(其中，(a)、(b)以时间序列表示印刷动作)。
[0034]图17是表示本发明所涉及的网版印刷装置的第四实施方式的俯视示意图。
[0035]图18是表示本发明所涉及的网版印刷装置的第五实施方式的俯视示意图。
[0036]图19是表示本发明所涉及的网版印刷装置的第六实施方式的俯视示意图。
[0037]图20是表示本发明所涉及的网版印刷装置的第七实施方式的俯视示意图(其中，(a)、(b)、(C)以时间序列表示印刷动作)。
[0038]图21是用于说明输送带宽度可变机构的优点的印刷装置(顺序搬送动作时)的示意图(其中，(a)表示各基板支撑台的输送带宽度可变机构以内侧为基准且各元件安装装置的输送带宽度可变机构以内侧为基准的情形，(b)表示各基板支撑台的输送带宽度可变机构以内侧为基准且各元件安装装置的输送带宽度可变机构以外侧为基准的情形)。
[0039]图22是用于说明输送带宽度可变机构的优点的印刷装置(交叉搬送动作时)的示意图(其中，(a)表示各基板支撑台的输送带宽度可变机构以外侧为基准且各元件安装装置的输送带宽度可变机构以外侧为基准的情形，(b)表示各基板支撑台的输送带宽度可变机构以外侧为基准且各元件安装装置的输送带宽度可变机构以外侧为基准的情形)。
[0040]图23是用于说明输送带宽度可变机构的优点的印刷装置(交叉搬送时)的示意图(其中，(a)表示各基板支撑台的输送带宽度可变机构以内侧为基准且各元件安装装置的输送带宽度可变机构以内侧为基准的情形，(b)表示各基板支撑台的输送带宽度可变机构以内侧为基准且各元件安装装置的输送带宽度可变机构以外侧为基准的情形)。
[0041]图24是用于说明输送带宽度可变机构的优点的印刷装置(交叉搬送时)的示意图(其中，(a)表示各基板支撑台的输送带宽度可变机构以外侧为基准且各元件安装装置的输送带宽度可变机构以外侧为基准的情形，(b)表示各基板支撑台的输送带宽度可变机构以外侧为基准且各元件安装装置的输送带宽度可变机构以外侧为基准的情形)。
[0042]图25是表示本发明所涉及的网版印刷装置的第八实施方式的示意图。
[0043]图26是表示网版印刷装置的剖视图(图25的XXV1-XXVI线剖视图)。
[0044]图27是表示网版印刷装置的剖视图(图26的XXVI1-XXVII线剖视图)。
[0045]图28是说明基于控制装置的控制的网版印刷装置的印刷动作的俯视示意图(其中，(a)、(b)、(c)以时间序列表示印刷动作)。
[0046]图29是表示本发明所涉及的网版印刷装置的第九实施方式的俯视示意图。
[0047]图30是表示本发明所涉及的网版印刷装置的第十实施方式的俯视示意图。
[0048]图31是表示本发明所涉及的网版印刷装置的第十一实施方式的俯视示意图。
[0049]图32是说明基于控制装置的控制的网版印刷装置的印刷动作的俯视示意图(其中，(a)、(b)以时间序列表示印刷动作)。
[0050]图33是表示本发明所涉及的网版印刷装置的第十二实施方式的俯视示意图。[0051]图34是说明基于控制装置的控制的网版印刷装置的印刷动作的俯视示意图(其中，(a)、(b)以时间序列表示印刷动作)。
[0052]图35是表示本发明所涉及的网版印刷装置的第十三实施方式的俯视示意图。
[0053]图36是说明基于控制装置的控制的网版印刷装置的印刷动作的俯视示意图(其中，(a)、(b)以时间序列表示印刷动作)。
【具体实施方式】
[0054]以下，参照附图详述本发明的较理想实施方式。
[0055]图1及图2表示本发明所涉及的网版印刷装置的第一实施方式，图1为俯视图，图2为正视图且分别概略地表示网版印刷装置。
[0056]网版印刷装置I以位于双系统的上游侧装置与单系统的下游侧装置之间的状态被安装于印刷电路板(PCB)的生产线。在图示的例子中，网版印刷装置I (以下简称作印刷装置I)被设置于并列设置的两台装载器L1、L2(称作第一装载器L1、第二装载器L2)与一台元件安装装置M之间，对从上游侧的各装载器L1、L2送来的基板W实施印刷，并将基板W送出到下游侧的元件安装装置M。
[0057]另外，在以下的说明中，以生产线上的基板W的搬送方向为X轴方向，以在水平面上与X轴方向正交的方向为Y轴方向，以与上述X轴、Y轴这两个方向正交的方向(铅垂方向)为Z轴方向，来说明印刷装置I。
[0058]印刷装置I在其基台2上具备:用于支撑基板W的两个基板支撑台10A、10B ;以及在使这些基板支撑台10A、IOB在Y轴方向上各自停止于指定位置的状态下，对由基板支撑台10AU0B所支撑的基板W个别地实施印刷的两个印刷执行部20A、20B。
[0059]印刷装置I在基台2上且X轴方向上的一侧的端部(基板搬送方向上的上游侧的端部)，对应于装载器L1、L2的位置而设定有两个基板搬入部Enl、En2(称作第一基板搬入部Enl、第二基板搬入部En2)，另一方面，在另一侧的端部(基板搬送方向上的下游侧的端部)，对应于元件安装装置M的位置而设定有一个基板搬出部Ex，印刷装置I将从第一装载器LI送来的基板W从第一基板搬入部Enl搬入装置内，将从第二装载器L2送来的基板W从第二基板搬入部En2搬入装置内，并将印刷后的基板W从共用的基板搬出部Ex搬出至元件安装装置M。各基板搬入部Enl、En2沿Y轴方向设置在隔开指定间隔的位置，基板搬出部Ex在Y轴方向上设置在各基板搬入部Enl、En2之间的位置。另外，该图中，标号CL1、CL2、CM分别是装设在装载器L1、L2及元件安装装置M中的带式输送带对，基板W沿着这些带式输送带对CL1、CL2、CM(以下简称作输送带对CL1、CL2、CM)被搬送。
[0060]另外，所述基板搬入部Enl、En2及基板搬出部Exl、Ex2分别是指基台2上的特定位置，这些基板搬入部Enl、En2及基板搬出部Exl、Ex2的位置是由后述的控制装置8根据设置在上游侧的各装载器L1、L2及设置在下游侧的元件安装装置M来设定。S卩，本实施方式中，基板搬入部Enl、En2的位置为本发明的基板搬入位置，基板搬出部Exl、Ex2的位置为基板搬出位置(后述的各实施方式也同样如此)。
[0061]基板支撑台10A、IOB (称作第一基板支撑台10A、第二基板支撑台10B)相当于本发明的基板支撑机构，在所述基板搬入部Enl、En2处接受从装载器L1、L2搬入的基板W并进行支撑以便能够实施印刷，并且在基板搬出部Ex处将印刷后的该基板W送出至元件安装装置Μ。这些基板支撑台IOAUOB中，第一基板支撑台IOA在第一基板搬入部Enl处接受从装载器LI搬入的基板W并支撑基板W，以便能够通过第一印刷执行部20Α实施印刷，另一方面，第二基板支撑台IOB在第二基板搬入部Εη2处接受从装载器L2搬入的基板W并支撑基板W，以便能够通过第二印刷执行部20Β实施印刷。
[0062]各基板支撑台10Α、10Β如图3所示，具有沿X轴方向细长的俯视大致长方形的形状，且通过台驱动机构而个别地沿Y轴方向移动。台驱动机构包含螺丝进给机构。即，各基板支撑台10AU0B移动自如地支撑在设于基台2上的沿Y轴方向延伸的共用的固定导轨3上，分别经由丝杠5Α、5Β而由马达4Α、4Β予以驱动。并且，基于后述控制装置8的马达控制，第一基板支撑台IOA在能够在第一基板搬入部Enl处接受从装载器LI搬入的基板W的接受位置(图1、图3所示的位置；称作第一接受位置)与能够在基板搬出部Ex处将基板W搬出至元件安装装置M的位置(称作送出位置)之间移动，另一方面，第二基板支撑台IOB在能够在第二基板搬入部Εη2处接受从装载器L2搬入的基板W的接受位置(图1、图3所示的位置；称作第二接受位置)与所述送出位置之间移动。即，第一基板支撑台IOA能够在处于其可移动区域内的第一接受位置与送出位置之间移动，第二基板支撑台IOB能够在处于其可移动区域内的第二接受位置与送出位置之间。送出位置位于第一基板支撑台IOA与第二基板支撑台IOB各自的可移动区域相互部分重叠的共用区域内。当第一基板支撑台IOA位于所述送出位置时，第二基板支撑台IOB在该可移动区域内设置于避开第一基板支撑台IOA的第一接受位置，当第二基板支撑台IOB位于所述送出位置时，第一基板支撑台IOA在可移动区域内设置于避开第二基板支撑台IOB的第二接受位置。
[0063]各基板支撑台10Α、10Β分别具备:用于接受搬入的基板W并且将印刷后的基板W从基板搬出部Ex送出的输送带对12 ;输送带宽度可变机构；用于将所述输送带对12上的基板W以能够被印刷的方式予以支撑固定的夹持单元14 ;用于使该夹持单元14沿着输送带对12在X轴方向上移动的夹持单元驱动机构；以及用于清扫后述网版模板21的清洁单兀18等。
[0064]输送带对12包含带式输送带，通过马达120 (图10所示的)的驱动，借助回转移动的带121，在支撑基板W的Y轴方向的两端部分的状态下，伴随该带的移动，沿X轴方向搬送基板W(参照图5的(a))。输送带宽度可变机构根据基板W的尺寸来变更构成输送带对12的两个输送带的间隔(即输送带宽度)。该输送带宽度可变机构例如包含螺丝进给机构。即，上述两个输送带中的一侧的输送带被设为经由支柱固定于基板支撑台10AU0B上的固定输送带，另一侧的输送带设为以相对于上述一侧的输送带可接近/远离(可沿Y轴方向移动)的方式，能够移动地被支撑在基板支撑台10AU0B上的固定导轨上的可动输送带。并且，经由通过马达123 (图10所示)驱动的丝杠，另一侧的输送带沿着所述固定导轨受到驱动，从而变更所述两个输送带的间隔。即，该输送带对12是能够根据基板W的尺寸来变更间隔的可变行程型输送带。
[0065]另外，本实施方式中，对于位于装置前侧(图1、图3的下侧)的第一基板支撑台10A，将输送带对12中的后侧设为固定输送带，前侧设为可动输送带，输送带宽度可变机构被构成为以后侧的输送带作为基准来变更输送带间隔。另一方面，对于位于装置后侧的第二基板支撑台10B，将输送带对12中的前侧设为固定输送带，后侧设为可动输送带，输送带宽度可变机构被构成为以前侧的输送带作为基准来变更输送带间隔。即，将印刷装置I作为整体来看时，两基板支撑台IOAUOB中，以相互接近的一侧的输送带作为基准，另一侧的输送带进行移动，换言之，在Y轴方向上，以装置内侧为基准来变更各输送带对12的输送带的间隔，该印刷装置I中，该结构有助于装置的紧凑化及吞吐量的提高。后文详述此点。
[0066]上述夹持单元14具有沿着设置于基板支撑台10A、10B上的固定导轨141而可沿X轴方向移动地受到支撑的底座部件140，在该底座部件140上具备从输送带对12将基板W提升并支撑的支撑机构、及固定由该支撑机构提升的基板W的夹持机构。
[0067]如图4及图5的(a)所示，支撑机构包含具备按指定方式排列的多根支撑销151 (以下简称作销151)且经由链接机构等可升降地被支撑在上述底座部件140上的支撑台150 (称作BU台150)与驱动用的马达152等，通过该马达152的驱动，BU台150向指定的退避位置与从该位置上升的工作位置位移。此处，退避位置是销151的远端位置比由输送带对12 (带121)支撑的基板W的下表面低的位置(图5的(a)所示的位置)，工作位置是销151的远端位置比该基板W的下表面高的位置。因此，该支撑机构如图5的(b)所示，当BU台150设置于工作位置时，将基板W从输送带对12提升。
[0068]夹持机构包含设置于输送带对12的上方位置且沿X轴方向相互平行地延伸的一对夹持部件160、组装这些夹持部件160的臂部件161、及夹持部件驱动用的致动器例如双向型的气缸162。两夹持部件160中的一侧(图4、图5的(a)中为左侧)的夹持部件160以相对于臂部件161可沿Y轴方向位移的方式被组装，通过所述气缸162的驱动，向该图所示的退避位置与图5的(b)所示的前进位置位移。即，夹持机构如该图5的(b)所示，通过一侧的夹持部件160从退避位置位移至前进位置，从而与另一侧的夹持部件160 —同在Y轴方向上相夹并夹持由所述支撑机构提升的基板W。
[0069]夹持机构的各臂部件161以从外侧(Y轴方向上的外侧)抱住输送带对12的方式而形成，并且，分别可滑动地连结于组装在各输送带对12上的X轴方向的固定导轨122。这样，各臂部件161连结于输送带对12 (固定导轨122)而受到引导，从而如后说明般，在使夹持单元14沿X轴方向移动的情况下，将输送带对12与各夹持部件160的Y轴方向的相对
位置保持一定。
[0070]而且，各臂部件161中的一侧，具体而言为连结于输送带对12中的固定输送带的一侧的臂部件161(图4中为右侧的臂部件)被固定于底座部件140，另一方面，连结于可动输送带的一侧的臂部件161 (图4中为左侧的臂部件)沿着设置于底座部件140上的固定导轨164可沿Y轴方向位移地受到支撑。因此，当变更输送带对12的间隔时，一侧的臂部件161会与可动输送带一体地沿Y轴方向移动，由此，两夹持部件160的间隔得到自动调整。即，两夹持部件160的间隔被自动变更为能够夹持输送带对12的间隔变更后被搬送来的基板W的间隔。另外，上述各夹持部件160中的组装于可动输送带侧的夹持部件160被驱动，基于该结构，基板W以固定输送带侧为基准而被夹持。因此，在第一基板支撑台IOA的夹持单元14中，以装置后侧为基准来夹持基板W，在第二基板支撑台IOB的夹持单元14中，以装置前侧为基准来夹持基板W。
[0071]夹持单元驱动机构包含螺丝进给机构。即，夹持单元14的所述底座部件140移动自如地支撑在设于基台2上的沿X轴方向延伸的固定导轨141上，并经由丝杠142而由马达144予以驱动。并且，在各基板支撑台10AU0B中，将基板搬入部Enl、En2附近的位置设为基板待机位置，该位置下游侧的指定位置设为印刷执行位置，夹持单元14基于后述控制装置的马达控制而在所述基板待机位置(图2的两点划线所示的位置)与印刷执行位置(图2的实线所示的位置)之间移动。
[0072]另外，图2、图4及图5中，仅示出了第一基板支撑台IOA的夹持单元14，除了以装置前侧为基准来夹持基板W以外，第二基板支撑台IOB的结构基本上也与第一基板支撑台IOA通用。
[0073]清洁单元18被省略详细图示，但其具备清洁头，该清洁头包含可滑接于后述的网版模板21的下表面的垫及经由该垫而负压抽吸网版模板21的吸嘴等，当基板支撑台10A、IOB沿Y轴方向移动时，通过使该清洁头滑接于网版模板21的下表面，去除该模板下表面或图案孔内所积存的糊剂。清洁头相对于基板支撑台10AU0B可升降地构成，仅在清扫时设置于可滑接于网版模板21的工作位置，除此以外设置于从该工作位置下降了的退避位置。
[0074]另外，图1?图3中的标号15是所述输送带对12所具有的挡块机构，用于使被接纳到输送带对12上的基板W在上述基板待机位置处待机。该挡块机构15例如具有通过气缸等致动器来进退驱动的挡块轴，可切换为，使所述挡块轴进入到输送带对12搬送基板W的搬送路径中以限制基板W移动的工作状态、与使挡块轴退避到搬送路径外以允许基板W移动的停止状态。
[0075]而且，该图中的标号16是搭载于夹持单元14中的模板识别相机。该模板识别相机16是具备CXD区域传感器等的相机，从下侧拍摄标附于网版模板下表面的标记或记号等标识，以便识别后述网版模板21与基板W的相对位置。
[0076]另外，第一印刷执行部20A设置于为了接受基板而设置于第一接受位置时的第一基板支撑台的上方，第二印刷执行部20B设置于为了接受基板而设置于第二接受位置时的第二基板支撑台的上方。
[0077]图6是从印刷装置I仅示出印刷执行部20A、20B而表示的立体图。各印刷执行部20A.20B沿Y轴方向并列设置，且分别包含用于保持模板21的模板保持机构、沿X轴方向设置的刮板单元40、及沿Y轴方向设置且使该刮板单元40沿Y轴方向移动的刮板驱动机构等。构成印刷执行部20A、20B的各机构等被组装于一对装置框架6中，这一对装置框架6分别形成为门型且在X轴方向隔开指定间隔而设置于基台2上。所述一对装置框架6以跨及在第一基板支撑台IOA上从基板待机位置向印刷执行位置移动的基板W、在第二基板支撑台IOB上从基板待机位置向印刷执行位置移动的基板W、及在位于送出位置的基板支撑台10AU0B上从印刷执行位置P2向基板搬出部Ex移动的基板W的方式而形成。
[0078]各模板保持机构如图6?图8所示，包含可装卸地安装有网版模板21 (以下简称作模板21)的矩形的模板固定部件22、用于使该模板固定部件22升降的升降驱动机构、使该固定部件22绕每个升降驱动机构的Z轴旋转的旋转驱动机构、及用于使该固定部件22沿每个升降驱动机构的Y轴方向移动的Y轴驱动机构。
[0079]模板固定部件22如图7及图8所示，具有中央形成有印刷用的开口部22a的矩形形状，预先组装于框体的模板21以与该框体一同堵塞所述开口部22a的方式而固定于该模板固定部件22。
[0080]模板固定部件22的上述各驱动机构以如下方式构成。
[0081]在各装置框架6中，设有沿Y轴方向延伸的固定导轨25，在这些固定导轨25上移动自如地支撑有用于将模板固定部件22可升降地支撑的模板支撑部件24。具体而言，模板支撑部件24具有包含沿着固定导轨25延伸的一对Y轴板部24a和连接这些板部的一端部彼此的X轴板部24b的俯视U字型的形状，通过对安装于所述各固定导轨25的滑块26a?26c连结各Y轴板部24a，从而可沿Y轴方向移动。
[0082]如图8所示，沿Z轴方向延伸的一对引导轴251贯穿模板支撑部件24的各Y轴板部24a，在这些引导轴251的下端部，固定有所述模板固定部件22，并且在上端部固定有连结部件252。在模板支撑部件24的各Y轴板部24a上，在两引导轴251之间的位置，旋转自如地且在Z轴方向上固定地组装有一对滑轮一体型螺母256，丝杠254分别沿Z轴方向螺合插入这些滑轮一体型螺母256，并且该丝杠254的两端被固定支撑于所述模板固定部件22及连结部件252。而且，马达260被固定于所述模板支撑部件24，在该马达260的输出轴上安装有图外的驱动滑轮，在该驱动滑轮、组装于模板支撑部件24的多个空转滑轮257及上述滑轮一体型螺母256上安装有驱动带258。
[0083]借助该结构，当马达260驱动时，其的旋转经由驱动带258传动至所述滑轮一体型螺母256，从而该滑轮一体型螺母256旋转，伴随该旋转，丝杠254沿其轴方向移动，结果，如图8中的箭头所示，固定于该丝杠254的所述模板固定部件22 —边沿着引导轴251受到引导一边沿上下方向(Z轴方向)移动。并且，在印刷时，通过后述控制装置对马达260的控制，模板21向重装(重叠安装)高度位置(图8中的两点划线所示的位置)和比该高度位置更上方的退避位置(该图中的实线所示的位置)位移，重装高度位置是重叠于由基板支撑台10A、IOB所支撑的基板W的位置，详细而言为与在从输送带对12被提升的状态下由上述夹持单元14所夹持的状态的基板W重叠的位置。
[0084]如上所述，模板支撑部件24连结于被安装于各固定导轨25的滑块26a?26c，详细而言，以将特定位置作为支点而允许模板支撑部件24绕Z轴的位移的方式，各Y轴板部24a经由链接部件28a?28c连结于滑块26a?26c。图9的(a)是为了便于理解该结构而示意性地表示模板支撑部件24等的图。如该图所示，模板支撑部件24中，一侧(该图中为左侧)的Y轴板部24a中的中间位置经由销29连结于滑块26b,并且这一侧的Y轴板部24a中的Y轴方向两端的位置与滑块26a、26c分别经由两端销连结的链接部件28a、28c而连结。而且，模板支撑部件24的另一侧的Y轴板部24a中的Y轴方向两端及中间这三处部位与滑块26a?26c同样分别经由两端销连结的链接部件28a?28c而连结。
[0085]并且，在分别连结于模板支撑部件24的各Y轴板部24a的三个滑块26a?26c中正中间的滑块26b上分别固定有螺母部件33，沿Y轴方向延伸的丝杠32被螺合插入这些螺母部件33，并且该丝杠32与固定于装置框架6的马达30的输出轴一体化。
[0086]借助该结构，当各马达30同方向且等速度地驱动时，模板支撑部件24—边仍保持其状态一边沿Y轴方向移动，另一方面，例如当如图9的(b)所示般仅驱动任一马达30时，模板支撑部件24以上述销29为支点而绕Z轴转动。
[0087]在上述印刷执行部20A、20B中，上述刮板单元40分别设置于上述模板保持机构的上方。该刮板单元40将膏状焊料、导电糊剂等糊剂在模板21上一边碾压(IOlling) —边扩张，其包含单个的刮板42、用于变更刮板42相对于模板21的倾斜方向及倾斜角度的图外的刮板角度可变机构、及使所述刮板42在其滑接于模板21的印刷作业高度位置与该位置上方的退避位置(图2、图6所示的位置)之间升降的图外的刮板升降机构等。
[0088]沿Y轴方向驱动刮板单元40的刮板驱动机构包含螺丝进给机构。即，如图6及图7所示，各印刷执行部20A、20B的各刮板单元40移动自如地支撑于设于装置框架6的沿Y轴方向延伸的共用的固定导轨44上，且分别经由丝杠47A、47B而由马达46A、46B相互独立地予以驱动。
[0089]另外，在图6中，标号50为基板识别相机，从上侧拍摄基板W的标记或记号等标识，以便识别支撑于上述各基板支撑台10AU0B上的基板W与印刷执行部20A、20B的相对位置。该基板识别相机50与上述模板识别相机16同样为具备CCD区域传感器等的相机，被固定于装置框架6中位于基板搬入部Enl、En2侧但与各印刷执行部20A、20B对应的位置。
[0090]该印刷装置I具备将CPU等作为构成要素的控制装置8 (相当于本发明的控制装置)。该控制装置8如图10所示，具备:统一控制印刷装置I整体的动作的主控制部81 ;存储各种处理程序或各种数据的存储部82 ;控制基板支撑台10AU0B及印刷执行部20A、20B的驱动的驱动控制部83 ;以及对来自所述各识别相机16、50A、50B的图像数据实施指定的图像处理的图像处理部84，这些主控制部81等经由总线以可相互交换信号的方式而连接。并且，主控制部81基于从外部的主计算机提供的印刷执行程序等，统一控制所述基板支撑台10AU0B及印刷执行部20A、20B的一连串的印刷动作，即，调整与作为印刷对象的基板W对应的输送带对12的间隔、接受从基板搬入部Enl、En2处的装载器L1、L2搬入的基板W、借助印刷执行部20A、20B的印刷处理、及将基板W搬出至基板搬出部Exl、Ex2处的元件安装装置M这一连串的印刷动作。
[0091]在从主计算机提供给印刷装置I的印刷执行程序等中，组合有与连结至印刷装置I时的各装载器L1、L2的输送带对CL1、CL2的位置及元件安装装置M的输送带对CMl、CM2的位置相关的数据以及与作为印刷对象的基板W的尺寸(size)相关的数据，主控制部81基于该印刷执行程序等，进行包含所述基板搬入部Enl、En2及基板搬出部Enl、En2的位置设定的初始设定，并基于在该初始设定中规定的基板搬入部Enl、En2及基板搬出部Enl、En2的位置来控制上述一连串的印刷动作。
[0092]另外，主计算机统一控制组装有印刷装置I的印刷电路板的生产线，包括该印刷装置I在内，被组装于该生产线的装置(装载器L1、L2及元件安装装置M等)全部以可与该主计算机相互通信的方式在线连接，所述印刷执行程序及各种数据从该主计算机被提供给该印刷装置I等各装置。
[0093]接下来，参照图11及图12说明基于该控制装置8的控制的印刷装置I的印刷动作。
[0094]图11的(a)示意性地表示在印刷装置I中连续进行的印刷动作的特定时间点的状态，具体而言，表示由第二基板支撑台IOB所支撑的基板W的印刷刚刚结束后的状态。此时间点的基板支撑台10AU0B及印刷执行部20A、20B的状态如下。
[0095]第二基板支撑台IOB设置于输送带对12与第二基板搬入部En2对应的第二接受位置。在该第二基板支撑台IOB中，夹持单元14在夹持有基板W的状态下设置于印刷执行位置，后续的基板W基板待机位置处待机。第二印刷执行部20B成为指定的待机状态、亦即通过将模板支撑部件24设置于退避位置从而使模板21脱离基板W且将刮板42设置于模板一端上方的待机位置的状态。
[0096]另一方面，第一基板支撑台IOA设置于输送带对12与基板搬出部Ex对应的所述送出位置。该第一基板支撑台IOA是将先前进行了印刷的基板W刚刚从基板搬出部Ex搬出至元件安装装置M之后，夹持单元14处于设置于基板待机位置并夹持有后续的基板W的状态。此处，基板W的夹持是通过如下操作来进行，即:在夹持单元14移动到基板待机位置之后，如图5所示，由BU台150将基板W从输送带对12提升，再由一对所述夹持部件160从Y轴方向两侧夹持基板W。
[0097]从图11的(a)所示那样的状态开始，首先，第一基板支撑台IOA朝向第二接受位置移动，即输送带对12朝向与第一基板搬入部Enl对应的位置移动。此时，通过夹持单元14的移动，将基板W从基板待机位置搬送到印刷执行位置，并且，在该搬送中途，由与第一印刷执行部20A对应的位置的所述基板识别相机50拍摄基板W上的多个标识，从而对夹持单元14上的基板W的位置进行图像识别。而且，由搭载于夹持单元14的所述模板识别相机16来拍摄第一印刷执行部20A的模板21的多个标识，从而对模板21与夹持单元14的相对位置进行图像识别，基于这些识别结果，求出印刷执行位置处的模板21与基板W的位置偏移，并且求出与该位置偏移相应的模板21的X轴、Y轴及R轴(绕Z轴)方向的修正值(AX、AY、AR)。这样的识别处理及修正值的运算是由上述控制装置基于基板识别相机50及模板识别相机16的拍摄图像来进行。
[0098]而且，第二基板支撑台IOB以追随于该第一基板支撑台IOA的移动的方式而从第一接受位置移动到送出位置。
[0099]由此，如图11的(b)所示，第一基板支撑台IOA被设置于第一接受位置，第二基板支撑台IOB被设置于送出位置。
[0100]当第一基板支撑台IOA设置于第一接受位置时，由第一印刷执行部20A执行对基板W的印刷，并且，在此期间，在第一基板搬入部Enl处，从装载器LI将后续的基板W接纳至第一基板支撑台IOA并设置于基板待机位置。此时，印刷执行位置的基板W在从输送带对12被提升的状态下由夹持单元14予以夹持，因此不会因输送带对12的驱动而伴随该后续基板W的接纳而引起位置偏移。
[0101]在第一印刷执行部20A对基板W的印刷时，首先，模板支撑部件24从退避位置下降至重装高度位置，模板21被重装于基板W。此时，通过基于上述修正值(ΛΧ、Λ Y、AR)来控制所述马达30、144，从而修正模板21与基板W的相对位置。具体而言，通过马达144的驱动来实施基板W的X轴方向的位置修正(修正值Λ X)，通过两个马达30来实施模板21的Y轴方向的位置修正(修正值Λ Y)及R轴方向的位置修正(修正值AR)，从而将模板21恰当地重装于基板W。
[0102]当模板21对基板W的重装完成时，刮板42从退避位置下降到印刷作业高度位置之后，包括刮板42在内的刮板单元40整体沿Y轴方向移动,从而对基板W实施印刷。
[0103]这样，在对第一基板支撑台IOA的基板W进行印刷的期间，在第二基板支撑台IOB中，解除夹持单元14对基板W的夹持状态，如图12的(a)所示，在基板搬出部Ex处将印刷后的基板W搬出至元件安装装置M，并且夹持单元14移动至基板待机位置来夹持待机中的后续基板W。此时，为了搬出印刷后的基板W而驱动输送带对12，但在基板待机位置处，待机中的后续基板W通过挡块机构15的工作而成为搬送停止状态，由此，夹持单元14对该基板W的夹持成为可能。
[0104]当第一基板支撑台IOA上的基板W的印刷结束时，第一印刷执行部20A被重置为待机状态。即，通过将模板支撑部件24设置于退避位置，从而模板21脱离基板W，且刮板42在Y轴方向移动目标的模板一端朝上方的待机位置上升移动之后，成为被停止保持的状态，随后，第一基板支撑台IOA移动至送出位置。
[0105]另一方面，第二基板支撑台IOB移动至第二接受位置。此时，伴随夹持单元14的移动，基板W从基板待机位置被搬送到印刷执行位置，并且，在该搬送中途，由与第二印刷执行部20B对应的位置的基板识别相机50拍摄基板W上的多个标识，而且，由模板识别相机16拍摄第二印刷执行部20B的模板21的标识，由此，对模板21与基板W的相对位置进行图像识别，并基于这些识别结果求出上述修正值(ΛΧ、ΛΥ、AR)。
[0106]这样，当如图12的(b)所示，第一基板支撑台IOA被设置于送出位置，第二基板支撑台IOB被设置于第二接受位置时，实施基于上述修正值(ΛΧ、ΛΥ、AR)的位置修正，将模板21恰当地重装于基板W，通过第二印刷执行部20B对设置于第二基板支撑台IOB的印刷执行位置的基板W实施印刷，并且如该图所示，将后续的基板W接纳到该第二基板支撑台IOB上。另一方面，对于第一基板支撑台10A，解除夹持单元14对基板W的夹持，将印刷后的该基板W从印刷执行位置搬出至搬出侧端部的基板搬出部Ex，再于基板搬出部Ex处搬出至元件安装装置M。
[0107]这样，以后，从装载器LI搬入第一基板搬入部Enl的基板W被接纳到第一基板支撑台10A，从装载器L2搬入第二基板搬入部En2的基板W被接纳到第二基板支撑台10B，在各印刷执行部20A、20B中在交替进行基板W的印刷的情况下，将该印刷后的基板W从共用的基板搬出部Ex搬出至元件安装装置M。
[0108]如上所述，根据该印刷装置1，利用第一基板支撑台IOA的印刷工序(主要是基板W的往待机位置的搬入、夹持基板、基板W的从待机位置往印刷执行位置的移动、印刷、解除基板夹持、搬出基板)、与利用第二基板支撑台IOB的印刷工序(主要是基板W的往待机位置的搬入，夹持基板、基板W的从待机位置往印刷执行位置的移动、印刷、解除基板夹持、搬出基板)在错开时期的情况下并行地被实施，因此可效率良好地进行基板W的印刷。
[0109]而且，不需要如以往般的搬送路径的切换装置等附属设备，印刷装置能够单独地从双系统的上游侧装置亦即两台装载器L1、L2接纳基板W并实施印刷，且将基板搬出至单系统的下游侧装置亦即一台的元件安装装置M。因此，即使在双系统的上游侧装置与单系统的下游侧装置之间设置印刷装置1，也能够紧凑地构成生产线。
[0110]而且，该印刷装置I中，作为印刷执行部，具备对在第一基板搬入部Enl处从装载器LI搬入的基板W进行印刷的第一印刷执行部20A、与对在第二基板搬入部En2处从装载器L2搬入的基板W执行印刷的第二印刷执行部20B，因此，具有能够一边对从两台装载器L1、L2分别送来的基板W进行互不相同的图案的印刷一边将基板送出至元件安装装置M的优点。
[0111]而且，该印刷装置I中，在各基板支撑台10AU0B中，夹持单元14以可移动到印刷执行位置与基板待机位置的方式设置，如上所述，在印刷结束后，解除先行基板w(已实施了印刷的基板W)的夹持，在该基板W的正在搬出中，夹持单元14移动到基板待机位置并夹持待机中的后续基板W，在基板支撑台10AU0B从送出位置向接受位置(第一接受位置、第二接受位置)移动的期间，该基板W被设置于印刷执行位置。即，搬出先行基板W后，与基板支撑台10AU0B重置于接受位置(第一接受位置、第二接受位置)的时期大致同时地能够执行印刷执行部20A、20B对后续基板W的印刷。因此，搬出先行基板W后，能够尽快地实施后续基板W的印刷，由此，对于从两台装载器L1、L2分别送来的基板W，无论是在进行同一图案的印刷的情况下，还是在进行互不相同的图案的印刷的情况下，均具有能够效率良好地进行基板W的印刷的优点。
[0112]而且，该印刷装置I中，基板支撑台10AU0B的输送带宽度可变机构如上所述般采用了以装置内侧为基准来变更输送带对12的间隔的结构，因此，尤其是在与设置于下游侧的元件安装装置M的关系上，具有有助于吞吐量的提高及印刷装置I的紧凑化的优点。以下，对此点进行说明。
[0113]通常，在元件安装装置M侧也具备用于变更输送带对CM的间隔的输送带宽度可变机构，根据作为生产对象的基板W的尺寸来变更输送带对CM的间隔。因此，因为是元件安装装置M侧的输送带可变机构以装置前侧或装置后侧中的哪一侧为基准来变更输送带对CM的间隔的装置，或者是印刷装置I侧(基板支撑台10AU0B)的输送带宽度可变机构以装置内侧或装置外侧中的哪一侧为基准来进行输送带对12的间隔变更的装置，而有可能对印刷装置I的吞吐量或装置结构产生影响。
[0114]图13及图14将元件安装装置M侧及印刷装置I侧(基板支撑台10A、10B)的各输送带宽度可变机构的基准分情形来表示接受位置与第一送出位置之间的第一基板支撑台IOA的所需移动距离等。
[0115]此处，图13是印刷装置I (基板支撑台10AU0B)的输送带宽度可变机构以装置内侧为基准时(图1?图4所示的实施方式)的示意图，该图13的(a)表示元件安装装置M侧的输送带宽度可变机构以装置后侧为基准的情形，即，位于装置后侧的输送带为固定输送带的情形，该图13的(b)表示元件安装装置M侧的输送带宽度可变机构以装置前侧为基准的情形。而且，图14是印刷装置I (基板支撑台10AU0B)的输送带宽度可变机构以装置外侧为基准时，即，对于第一基板支撑台IOA而言，位于装置前侧的输送带为固定输送带，对于第二基板支撑台IOB而言，位于装置后侧的输送带为固定输送带时(与图1?图4所示的实施方式的例子相反的结构)的示意图。并且，该图14的(a)表示元件安装装置M侧的输送带宽度可变机构以装置后侧为基准的情形，该图14的(b)表示元件安装装置M侧的输送带宽度可变机构以装置前侧为基准的情形。另外，图13及图14中，将固定输送带标注阴影来绘出。而且，输送带对12的间隔达到最小时的状态以实线来绘出。
[0116]在这些图13及图14的各例中，首先，图13的(a)所示的例子中，无论输送带对12的间隔(即基板W的尺寸)如何，第一基板支撑台IOA的送出位置，S卩，能够向元件安装装置M搬出基板W的位置均为一定。因此，无论基板W的尺寸如何，第一接受位置与送出位置之间的第一基板支撑台IOA的移动距离D始终为一定。
[0117]图13的(b)所示的例子中，当输送带对12的间隔为最大时，第一基板支撑台IOA的送出位置等同于图13的(a)的例子，但随着输送带对12的间隔变小，第一基板支撑台IOA的送出位置变得接近第一接受位置侧。因此，第一基板支撑台IOA的上述移动距离D在基板W为最大尺寸时等同于图13的(a)的例子，且随着基板W的尺寸变小而变小。
[0118]图14的(a)所示的例子中，当输送带对12的间隔为最大时，第一基板支撑台IOA的送出位置等同于图13的(a)、(b)的例子的情形，但随着基板W的尺寸变小，第一基板支撑台IOA的送出位置变得远离第一接受位置。因此，第一基板支撑台IOA的上述移动距离D在基板W为最大尺寸时等同于图13的(a)、(b)的例子，且随着基板W的尺寸变小而变大。[0119]另外，图14的(a)所示的例子中，如该图所示，当基板W为最小尺寸时,相对于元件安装装置M的输送带对CM，第一基板支撑台IOA大幅向装置后侧偏置。因此，必须相应地比图13的例子加大印刷装置I的前后方向的尺寸L。
[0120]图14的(b)所示的例子中，无论输送带对12的间隔如何，第一基板支撑台IOA的送出位置均为一定。因此，无论基板W的尺寸如何，第一接受位置与送出位置之间的第一基板支撑台IOA的移动距离D始终为一定。但是，在本例的情况下，第二基板支撑台IOB与元件安装装置M的关系等同于图14的(a)的第一基板支撑台IOA与元件安装装置M的关系。即，在基板W为最小尺寸时，当将第二基板支撑台IOB设置于送出位置时，相对于元件安装装置M的输送带对CM，第二基板支撑台IOB会大幅向装置前侧偏置。因此，在该图14的(b)的例子的情况下，与图14的(a)的例子同样地，必须比图13的例子加大印刷装置I的前后方向的尺寸L。并且，相应地，对于第一基板支撑台IOA而言，其送出位置变得远离第一接受位置，结果，第一基板支撑台IOA的上述移动距离D变得大于图13所示的例子。
[0121]如上所述，根据使印刷装置I (基板支撑台10AU0B)侧的输送带宽度可变机构以装置内侧为基准的结构(图13的例子)，无论元件安装装置M的输送带宽度可变机构以前后哪个为基准，均能够使基板支撑台10AU0B的移动距离D相对地(比起以装置外侧为基准的情形)减小，而且，还能够抑制印刷装置I在Y轴方向上的大型化。因此，根据使印刷装置I (基板支撑台10AU0B)侧的输送带宽度可变机构以装置内侧为基准的上述印刷装置1，能够有助于吞吐量的提高及印刷装置I的紧凑化。
[0122]接下来，参照图15来说明本发明所涉及的网版印刷装置的第二实施方式。
[0123]图15的(a)以俯视图示意性地表示第二实施方式所涉及的网版印刷装置1A(以下简称作印刷装置1A)。该第二实施方式所涉及的印刷装置IA在下述的点不同于第一实施方式的印刷装置I的结构。
[0124]该印刷装置IA中，在基台2上，设置有用于从第一装载器LI接纳基板W的输送带对Cn1、及用于从第二装载器L2接纳基板W的输送带对Cn2，这些输送带对Cnl、Cn2分别设置的位置相当于所述基板搬入部Enl、En2。而且，设置有用于将基板W搬出至元件安装装置Ml的输送带对Cx，该输送带对Cx所设置的位置相当于所述基板搬入部En。因此，该印刷装置IA中，基台2上的基板搬入部Enl、En2及基板搬出部Ex的位置为固定，对应于这些位置设置装载器L1、L2及元件安装装置M而形成安装线。即，并非如第一实施方式般，按照从主计算机提供的印刷执行程序等，对应于装载器L1、L2的位置及元件安装装置M的位置，分别设定基板搬入部Enl、En2的位置及基板搬出部Ex的位置。另外，所述输送带对Cnl、Cn2、Cx与基板支撑台10AU0B的输送带对12同样地，根据基板W的尺寸，通过输送带宽度可变机构来分别变更输送带的间隔。
[0125]而且，各基板支撑台10AU0B不具有用于使后续的基板W待机的空间(基板待机位置)，从装载器L1、L2经过基板搬入部Enl、En2接纳到基板支撑台10A、IOB的基板W被直接搬送到印刷执行部20A、20B的下方位置(印刷执行位置)，在该位置由夹持单元14予以夹持。另外，夹持单元14与第一实施方式同样地可沿X轴方向移动，其可动范围被限定于在模板重装时能够修正模板21与基板W的相对位置的范围。
[0126]而且，虽省略图示，但模板识别相机16及基板识别相机50连结于以马达等作为驱动源的移动机构，可在介隔在模板21与基板W之间的位置(拍摄位置)、与从模板21与基板W之间退避到外侧的位置(退避位置)之间的范围移动。即，该印刷装置IA中，在夹持基板W之后且重装模板21之前，模板识别相机16及基板识别相机50介隔在模板21与该基板W之间并分别拍摄标识，从而识别模板21与基板W的相对位置，并基于其识别结果求出模板重装时的上述修正值(ΛΧ、ΛΥ、AR)。
[0127]此外，该印刷装置IA中，模板21被固定地设于基台2侧，夹持单元14以相对于基板支撑台10AU0B的移动基台能够分别沿X轴方向、Z轴方向及绕Z轴的R轴方向移动的方式设置。
[0128]另外，该印刷装置IA的电气结构除了印刷执行部为一个这一点、以及使模板识别相机16等移动的移动机构及使夹持单元14沿X轴方向、Z轴方向及R轴方向移动的移动机构由主控制部81经由驱动控制部83予以控制这一点等以外，大致等同于第一实施方式(参照图10)。
[0129]该印刷装置IA中，从第一基板搬入部Enl将基板W接纳到第一基板支撑台IOA (图15的(a)),由夹持单元14夹持该基板W之后,该夹持单元14沿Z轴方向上升，由此相对于模板21而从其下方重装该基板W以进行印刷(图15的(b)，此时，基于上述修正值(ΛΧ、Λ Y、AR)，在X轴方向及R轴方向上修正夹持单元14的位置，在Y轴方向上修正第一基板支撑台IOA的位置，从而相对于模板21正确地重装基板W)。印刷结束后，夹持单元14沿Z轴方向下降，从而进行网版分离，并且沿X轴方向且移动-ΛΧ、R轴方向移动-AR。随后，第一基板支撑台IOA的移动基台沿Y轴方向移动，从而第一基板支撑台IOA被设置于送出位置，由此，印刷后的基板W从第一基板支撑台IOA上经过基板搬出部Ex被搬出至元件安装装置M(图15的(C))。
[0130]并且，这样的第一基板支撑台IOA上的基板W的接纳、基板W的印刷及基板W的搬出动作、与第二基板支撑台IOB上的基板W的接纳(图15的(a))、基板W的印刷(图15的
(a))及基板W的搬出(图15的(b))错开一定的时间差来执行，从而一边将从第一基板搬入部Enl搬入的基板W接纳到第一基板支撑台IOA上，将从第二基板搬入部En2搬入的基板W接纳到第二基板支撑台IOB上，一边在各印刷执行部20A、20B中交替进行基板W的印刷，并从共用的基板搬出部Ex搬出至元件安装装置M。
[0131]S卩，该印刷装置IA中，第一基板支撑台IOA能够在第一接受位置与送出位置之间移动，第二基板支撑台IOB能够在第二接受位置与送出位置之间移动。而且，送出位置位于第一基板支撑台IOA与第二基板支撑台IOB各自的可移动区域相互重叠的共用区域内。并且，当第一基板支撑台IOA位于送出位置时，第二基板支撑台IOB在可移动区域内设置于避开第一基板支撑台IOA的第一接受位置，当第二基板支撑台IOB位于送出位置时，第一基板支撑台IOA在可移动区域内设置于避开第二基板支撑台IOB的第二接受位置。
[0132]在这样的第二实施方式的印刷装置IA中，利用第一基板支撑台IOA的印刷工序(主要是搬入基板、夹持基板、印刷、解除基板夹持、搬出基板)、与利用第二基板支撑台IOB的印刷工序(主要是搬入基板、夹持基板、印刷、解除基板夹持、搬出基板)也是在错开时期的情况下并行地被实施，因此可效率良好地进行基板W的印刷。
[0133]而且，印刷装置IA能够单独地一边从两台装载器L1、L2接纳基板W，一边实施印刷并且将基板搬出至一台元件安装装置M。因此，与第一实施方式的印刷装置I同样地，在紧凑地构成生产线这一方面具有实用性。尤其，在该第二实施方式的印刷装置IA中，各基板支撑台IOAUOB不具有用于使基板W待机的空间(基板待机位置)，从而相应地使基板支撑台10AU0B在X轴方向上变得紧凑。因此，具有能够在基板搬送方向(X轴方向)上使生产线紧凑化的优点。
[0134]接下来，参照图16来说明本发明所涉及的网版印刷装置的第三实施方式。
[0135]图16的(a)以俯视图示意性地表示第三实施方式所涉及的网版印刷装置1B(以下简称作印刷装置1B)。该第三实施方式所涉及的印刷装置IB是上述第二实施方式的印刷装置1A(参照图15)的变形，在以下的点不同于第二实施方式的印刷装置IA的结构。
[0136]首先，作为印刷执行部，设有对各基板支撑台10AU0B上的基板W实施印刷的共用的印刷执行部20，该印刷执行部20设置在用于搬出基板W的上述送出位置的上方位置。而且，基板识别相机50分别固定地设置在用于将基板W接纳到基板支撑台10AU0B上的上述第一、第二接受位置的上方位置，以在第一、第二接受位置处拍摄由夹持单元14所夹持的基板支撑台10A、10B上的基板W各自的多处标识。此外，模板识别相机16与第一实施方式同样固定地设于夹持单元14，在为了对基板W实施印刷而基板支撑台10AU0B从第一、第二接受位置向送出位置移动的中途，拍摄模板21的多处标识。
[0137]该印刷装置IB中，从对应于设在基台2上的输送带对Cnl而设置的装载器LI经由第一基板搬入部Enl将基板W接纳到第一基板支撑台IOA上(图16的(a))，由夹持单元14夹持该基板W后，第一基板支撑台IOA从第一接受位置移动到送出位置，由此将该基板W设置于印刷执行部20的下方。然后，在此状态下，在基板W侧进行位置修正之后，将基板W重装于模板21以进行印刷，在印刷结束后，解除基板W的夹持之后，使基板W脱离模板21而网版分离，并通过输送带对12的驱动，将基板W直接从第一基板支撑台IOA经由基板搬出部Ex而搬出到对应于设在基台2上的输送带对Cx而设置的元件安装装置M。
[0138]并且，这样的第一基板支撑台IOA上的基板W的接纳、基板W的印刷及基板W的搬出动作、与从对应于设在基台2上的输送带对Cn2而设置的装载器L2经由第一基板搬入部En2往第二基板支撑台IOB上的基板W的接纳(图16的(b))、基板W的印刷(图16的
(a))及基板W的搬出错开一定的时间差来执行，从而一边将从第一基板搬入部Enl搬入的基板W接纳到第一基板支撑台IOA上，将从第二基板搬入部En2搬入的基板W接纳到第二基板支撑台IOB上，一边在印刷执行部20中交替进行基板W的印刷并从共用的基板搬出部Ex搬出至元件安装装置M。
[0139]S卩，该印刷装置IB中，第一基板支撑台IOA能够在第一接受位置与送出位置之间移动，第二基板支撑台IOB能够在第二接受位置与送出位置之间移动。送出位置位于与印刷执行部相同的位置，该位置位于第一基板支撑台IOA与第二基板支撑台IOB的可移动区域相互重叠的共用区域内。并且，当第一基板支撑台IOA位于送出位置时，第二基板支撑台IOB在可移动区域内设置于避开第一基板支撑台IOA的第一接受位置，当第二基板支撑台IOB位于送出位置时，第一基板支撑台IOA在可移动区域内设置于避开第二基板支撑台IOB的第二接受位置。
[0140]根据这样的第三实施方式的印刷装置1B，利用第一基板支撑台IOA的印刷工序(主要是搬入基板、夹持基板、印刷、解除基板夹持、搬出基板)、与利用第二基板支撑台IOB的印刷工序(主要是搬入基板、夹持基板、印刷、解除基板夹持、搬出基板)在错开时期的情况下并行地被实施，因此可效率良好地进行基板W的印刷。因此，在对从各装载器L1、L2分别送出的基板W实施共用图案的印刷的情况下具有实用性，能够以具备一个印刷执行部20这样简单结构来效率良好地实施印刷。
[0141]接下来，参照图17来说明本发明所涉及的网版印刷装置的第四实施方式。
[0142]图17的(a)以俯视图示意性地表示第四实施方式所涉及的网版印刷装置1C(以下简称作印刷装置1C)。该第四实施方式所涉及的印刷装置IC是设置于单系统的上游侧装置与双系统的下游侧装置之间的装置，在以下的点不同于第一实施方式的印刷装置I的结构，除此以外的结构基本上与第一实施方式的印刷装置I通用。
[0143]该印刷装置IC中，一个基板搬入部En与两个基板搬出部Exl、Ex2(第一基板搬出部Exl、第二基板搬出部Ex2)分别与装载器L及元件安装装置M1、M2的设置位置建立关联而被设定。图示的例子中，印刷装置IC被设置于一台装载器L与两台元件安装装置Ml、M2 (第一元件安装装置Ml、第二元件安装装置M2)之间，将从装载器L送出的基板W从基板搬入部En搬入装置内，并将印刷后的基板W从第一基板搬出部Exl搬出至第一元件安装装置Ml，或者从第二基板搬出部Ex2搬出至第二元件安装装置M2。各基板搬出部Exl、Ex2在Y轴方向上设定于隔开指定间隔的位置，基板搬入部En在Y轴方向上设定于各基板搬出部ExU Ex2之间的位置。另外，该图中，标号CL、CMl、CM2分别为装设在装载器L及元件安装装置Ml、M2中的带式输送带对。
[0144]而且，该印刷装置IC具备对各基板支撑台10AU0B上的基板W执行印刷的共用的印刷执行部20以及拍摄该基板W的标识的共用的基板识别相机50。此处，第四实施方式的印刷装置IC中，第一基板支撑台IOA在能够接受在基板搬入部En处从装载器L搬入的基板W的接受位置与能够在第一基板搬出部Ex处将印刷后的基板W搬出至元件安装装置Ml的位置(称作第一送出位置)之间移动，另一方面，第二基板支撑台IOB在上述接受位置与能够在第二基板搬出部Ex处将印刷后的基板W搬出至元件安装装置M2的位置(称作第二送出位置)之间移动，上述印刷执行部20及基板识别相机50是设在设置于上述接受位置的状态下的该基板支撑台10AU0B的上方位置。
[0145]S卩，该印刷装置IC中，第一基板支撑台IOA能够在接受位置与第一送出位置之间移动，第二基板支撑台IOB能够在接受位置与第二送出位置之间移动。接受位置是与印刷执行部相同的位置，该位置位于第一基板支撑台IOA与第二基板支撑台IOB的可移动区域相互重合的共用区域内。并且，当第一基板支撑台IOA位于接受位置时，第二基板支撑台IOB在可移动区域内设置于避开第一基板支撑台IOA的第一送出位置，当第二基板支撑台IOB位于接受位置时，第一基板支撑台IOA在可移动区域内设置于避开第二基板支撑台IOB的第二送出位置。
[0146]该印刷装置IC中，如图17的(a)所示，通过将第一基板支撑台IOA设置于接受位置，将夹持有基板W的夹持单元14设置于印刷执行位置，从而通过印刷执行部20来对该基板W实施印刷，并且在该印刷的期间，从装载器L送出的后续的基板W在基板搬入部En处从装载器L被接纳到第一基板支撑台IOA上，并于基板待机位置处待机。
[0147]当第一基板支撑台IOA上的基板W的印刷结束时，如图14的(b)所示，第一基板支撑台IOA从接受位置移动到第一送出位置。然后，如图17的(c)所示，解除基板W的夹持，通过输送带对12的驱动将印刷后的基板W从第一基板搬出部Exl搬出到第一元件安装装置M1，并且，夹持单元14移动到基板待机位置以夹持后续的基板W。随后，第一基板支撑台IOA从第一送出位置移动到接受位置，并且，在此期间，该夹持单元14从基板待机位置移动到印刷执行位置，从而进行该基板W的印刷准备。
[0148]并且，对于第二基板支撑台IOB而言，与这样的第一基板支撑台IOA上的基板W的印刷及后续基板W的接纳并行地，执行印刷处理后的基板W往第二元件安装装置M2上的搬出、夹持单元14往基板待机位置的移动及后续基板W的夹持。而且，与第一基板支撑台IOA从接受位置向第一送出位置的移动并行地，实施夹持单元14从该第一基板支撑台IOA上的基板待机位置往印刷执行位置的移动及往第二基板支撑台IOB的接受位置的移动。并且，与印刷处理后的基板W从第一基板支撑台IOA往第一元件安装装置Ml的搬出、及夹持单元14往基板待机位置的移动及后续基板W的夹持并行地，实施第二基板支撑台IOB上的基板W的印刷及后续基板W的接纳。
[0149]这样，使第一基板支撑台IOA上的基板W的印刷、后续基板W的接纳及基板W从第一基板搬出部Exl的搬出动作、与由第二基板支撑台IOB所支撑的基板W的印刷、后续基板W的接纳及基板W从第二基板搬出部Ex2的搬出动作错开一定的时间差来执行，从而一边将从共用的基板搬入部En搬入的基板W接纳到基板支撑台10A、10B，一边在印刷执行部20中交替进行印刷并从基板搬出部Exl、Ex2分别搬出至元件安装装置Ml、M2。
[0150]根据这样的第四实施方式的印刷装置1C，利用第一基板支撑台IOA的印刷工序(主要是往待机位置搬入基板W、夹持基板、基板W从待机位置向印刷位置移动、印刷、解除基板夹持、搬出基板)、与利用第二基板支撑台IOB的印刷工序(主要是往待机位置搬入基板W、夹持基板、基板W从待机位置向印刷位置移动、印刷、解除基板夹持、搬出基板)是一边错开时期一边并行地实施，因此可效率良好地进行基板W的印刷。
[0151]而且，不需要如以往般的基板W的分配装置等附属设备，印刷装置能够单独地一边从单系统的上游侧装置亦即一台装载器L接纳基板W，一边实施印刷，并将基板搬出至双系统的下游侧装置亦即两台元件安装装置Ml、M2。因此，即使在单系统的上游侧装置与双系统的下游侧装置之间设置印刷装置1C，也能够紧凑地构成生产线。尤其，该第四实施方式的印刷装置IC在对从一台装载器LI分别送出的基板W实施共用图案的印刷并送出至各元件安装装置M1、M2的情况下具有实用性，能够以一个印刷执行部20效率良好地实施印刷。
[0152]而且，该印刷装置IC也与第一实施方式的印刷装置I同样地，在各基板支撑台10AU0B上，夹持单元14可向印刷执行位置与基板待机位置移动地设置，如上所述，印刷结束后，在先行基板w(已实施了印刷的基板W)的搬出过程中，夹持单元14移动到基板待机位置并夹持待机中的后续基板W，直至基板支撑台10A、IOB重置于接受位置为止的期间，该基板W被设置于印刷执行位置。即，在基板支撑台10AU0B重置于接受位置的大致同时，能够执行印刷执行部20的印刷。因此，搬出先行基板W后，能够尽快地实施后续基板W的印刷，由此，还具有能够效率良好地进行基板W的印刷的优点。
[0153]接下来，参照图18来说明本发明所涉及的网版印刷装置的第五实施方式。
[0154]图18的(a)以俯视图示意性地表示第五实施方式所涉及的网版印刷装置1D(以下简称作印刷装置1D)。该第五实施方式所涉及的印刷装置ID是第四实施方式的印刷装置1C(参照图17)的变形，在以下的点不同于第四实施方式的印刷装置IC的结构。
[0155]该印刷装置IA中，在基台2上，设置有用于从装载器L接纳基板W的输送带对Cn，该输送带对Cn所设置的位置相当于基板搬入部En。而且，设置有用于将基板W搬出至第一元件安装装置Ml的输送带对Cx1、用于将基板W搬出至第二元件安装装置M2的输送带对Cx2，这些输送带对Cx1、Cx2分别设置的位置相当于所述基板搬入部Enl、En2。因此，该印刷装置ID中，基台2上的基板搬入部En及基板搬出部Exl、Ex2的位置为固定，对应于这些位置设置装载器L及元件安装装置Ml、M2。即，并非按照从主计算机提供的印刷执行程序等，对应于装载器L的位置及元件安装装置Ml、M2的位置，分别设定基板搬入部En的位置及基板搬出部Exl、Ex2的位置。另外，所述输送带对Cn、Cxl、Cx2与基板支撑台IOAUOB的输送带对12同样地，根据基板W的尺寸，通过输送带宽度可变机构分别变更输送带的间隔。
[0156]各基板支撑台10A、IOB不具有使后续的基板W待机的空间(基板待机位置)，从基板搬入部En接纳到基板支撑台10AU0B的基板W被直接搬送到接受位置亦即印刷执行部20的下方位置(印刷执行位置)，在该位置由夹持单元14予以夹持。另外，夹持单元14可沿X轴方向移动，但其可动范围被限定于在模板重装时能够修正模板21与基板W的相对位置的范围。
[0157]而且，虽省略图示，但模板识别相机16及基板识别相机50连结于以马达等作为驱动源的移动机构，可在介隔在模板21与基板W之间的位置(拍摄位置)、与从模板21与基板W之间退避到外侧的位置(退避位置)之间的范围移动。即，该印刷装置IA中，在夹持基板W之后且重装模板21之前，模板识别相机16及基板识别相机50介隔在模板21与该基板W之间并分别拍摄标识，从而识别模板21与基板W的相对位置，并基于其识别结果求出模板重装时的上述修正值(ΛΧ、ΛΥ、AR)。
[0158]此外，该印刷装置IA中，模板21被固定地设于基台2侧，相对于基板支撑台10A、IOB的移动基台，夹持单元14分别沿X轴方向、Z轴方向及绕Z轴的R轴方向能够移动地设置。
[0159]另外，该印刷装置ID的电气结构除了印刷执行部为一个、以及使模板识别相机16等移动的移动机构及使夹持单元14沿X轴方向、Z轴方向及R轴方向移动的移动机构是经由驱动控制部83而由主控制部81予以控制等以外，大致等同于第一实施方式(参照图10)。
[0160]该印刷装置ID中，从基板搬入部En将基板W接纳到第一基板支撑台10A、第二基板支撑台10B，由夹持单元14夹持该基板W之后，该夹持单元14沿Z轴方向上升，由此相对于模板21而从其下方重装该基板W以进行印刷(图18的(a)、(b))。此时，基于上述修正值(ΛΧ、Λ Y、AR)，向X轴方向及R轴方向修正夹持单元14的位置，沿Y轴方向修正第一基板支撑台IOA的位置，从而相对于模板21正确地重装基板W。印刷结束后，第一基板支撑台IOA移动到第一送出位置，第二基板支撑台IOB移动到第二搬出位置，由此，印刷后的基板W从第一基板搬出部Exl被搬出到第一元件安装装置Ml，从第二基板搬出部Εχ2被搬出到第一元件安装装置Ml (图18的(b)、图18的(a))。
[0161]并且，使这样的第一基板支撑台IOA上的基板W的接纳、基板W的印刷及基板W的搬出动作、与第二基板支撑台IOB上的基板W的接纳、基板W的印刷(图18的(b))及基板W的搬出动作(图18的(a))错开一定的时间差来执行，从而一边将从共用的基板搬入部En搬入的基板W接纳到基板支撑台10A、10B，一边在印刷执行部20中交替进行印刷，并从基板搬出部Exl、Ex2分别搬出至元件安装装置Ml、M2。[0162]在这样的第五实施方式的印刷装置ID中，利用第一基板支撑台IOA的印刷工序(主要是搬入基板W、夹持基板、印刷、解除基板夹持、搬出基板)、与利用第二基板支撑台IOB的印刷工序(主要是搬入基板W、夹持基板、印刷、解除基板夹持、搬出基板)也是一边错开时期一边并行地实施，因此也可效率良好地进行基板W的印刷。
[0163]而且，印刷装置ID能够单独地一边从一台装载器L接纳基板W，一边实施印刷并搬出至两台元件安装装置Ml、M2。因此，与第四实施方式的印刷装置IC同样地，有助于紧凑地构成生产线。尤其，在该第五实施方式的印刷装置ID中，各基板支撑台10AU0B不具有用于使基板W待机的空间(基板待机位置)，相应地，基板支撑台10A、IOB在X轴方向上变得紧凑。因此，具有能够在基板搬送方向(X轴方向)上使生产线紧凑化的优点。
[0164]接下来，参照图19来说明本发明所涉及的网版印刷装置的第六实施方式。
[0165]图19的(a)以俯视图示意性地表示第六实施方式所涉及的网版印刷装置1E(以下简称作印刷装置1E)。该第六实施方式所涉及的印刷装置IE是上述第五实施方式的印刷装置1D(参照图15)的变形，在以下的点不同于第五实施方式的印刷装置ID的结构。
[0166]首先，在该印刷装置IE中，设有两个印刷执行部20A、20B，这些印刷执行部20A、20B设置在用于搬出各基板支撑台10AU0B上的基板W的第一、第二送出位置的上方位置。
[0167]而且，基板识别相机50被固定地设置在用于将基板W接纳到基板支撑台10A、IOB上的接受位置的上方位置，在接受位置处拍摄由夹持单元14所夹持的基板支撑台10AU0B上的基板W的标识。此外，模板识别相机16被固定地设于夹持单元14，在为了对基板W实施印刷而基板支撑台10AU0B从接受位置向第一或第二送出位置移动的中途，拍摄模板21的标识。
[0168]该印刷装置IE中，例如在第一基板支撑台IOA被设置于接纳位置的状态下，从基板搬入部En将基板W接纳到该第一基板支撑台IOA上，该基板W由夹持单元14予以夹持并且进行基板识别(图19的(a))。随后，由各马达分别进行驱动，第一基板支撑台IOA —边向第一接受位置移动一边进行模板识别，基于这些识别结果，夹持单元14沿X轴方向、R轴方向移动修正值的量，第一基板支撑台IOA的移动基台沿Y轴方向移动修正值的量之后，沿Z轴方向上升，将基板W重装于模板21以实施印刷。在其印刷之后，从第一基板搬出部Ex搬出至第一元件安装装置Ml (图19的(b))。
[0169]并且，使这样的第一基板支撑台IOA上的基板W的接纳、基板W的印刷及基板W的搬出动作、与第二基板支撑台IOB上的基板W的接纳(图19的(b))、基板W的印刷(图19的(a))及基板W的搬出动作错开一定的时间差来执行，从而一边将从共用的基板搬入部En搬入的基板W接纳到基板支撑台10A、10B，一边在印刷执行部20A、20B中交替地实施印刷并从基板搬出部Exl、Ex2分别搬出至元件安装装置Ml、M2。
[0170]根据这样的第六实施方式的印刷装置1E，利用第一基板支撑台IOA的印刷工序(主要是搬入基板W、夹持基板、印刷、解除基板夹持、搬出基板)、与利用第二基板支撑台IOB的印刷工序(主要是搬入基板W、夹持基板、印刷、解除基板夹持、搬出基板)一边错开时期一边并行地实施，因此可效率良好地进行基板W的印刷。
[0171]而且，在一边对从一台装载器LI分别送出的基板W实施不同图案的印刷，一边送出至元件安装装置Ml、M2的情况下有用。
[0172]接下来，参照图20来说明本发明所涉及的网版印刷装置的第七实施方式。[0173]图20的(a)以俯视图示意性地表示第七实施方式所涉及的网版印刷装置1F(以下简称作印刷装置1F)。该印刷装置IF是被设置于双系统的上游侧装置与双系统的下游侧装置之间的装置，在以下的点不同于第二实施方式的印刷装置IB的结构，除此以外的结构基本上与第二实施方式的印刷装置IB通用。
[0174]该印刷装置IF在基台2上具有:沿Y轴方向设于隔开指定间隔的位置的两个相当于基板搬入部Enl、En2(第一基板搬入部Enl、第二基板搬入部En2)的输送带对Cnl、Cn2 ；以及同样沿Y轴方向设于隔开指定间隔的位置的两个相当于基板搬出部Exl、Ex2 (第一基板搬出部Exl、第二基板搬出部Ex2)的输送带对Cxl、Cx2，第一基板搬出部Exl与第二基板搬出部Ex2的间隔设置得较窄。
[0175]第一基板支撑台IOA移动自如地支撑于导轨3上，且在能够从第二基板搬出部Ex2搬出印刷后的基板W的第二送出位置、与从能够接受从第一基板搬入部Enl搬入的基板W的第一接受位置偏向Y方向前侧的第一退避位置Tesl之间移动。第二基板支撑台IOB移动自如地支撑于导轨3上，且在能够从第一基板搬出部Exl搬出印刷后的基板W的第一送出位置、与从能够接受从第二基板搬入部En2搬入的基板W的第二接受位置偏向Y方向后侧的第二退避位置Tes2之间移动。由此，第一送出位置与第二送出位置之间的区域成为第一基板支撑台IOA的可移动区域与第二基板支撑台IOB的可移动区域相互重叠的共用区域。
[0176]该印刷装置IF中，从第一基板搬入部Enl接纳到第一接受位置的第一基板支撑台IOA的基板W由夹持单元14予以夹持，并基于模板识别、基板识别，在第一印刷执行部20A下方的印刷位置(与第一接受位置相同的位置)进行对模板21的位置修正后，实施印刷。而且，在大致相同的时期从第一基板搬入部En2接纳到第二接受位置的第二基板支撑台IOA的基板W由夹持单元14予以夹持，并基于模板识别、基板识别，在第二印刷执行部20B下方的印刷位置(与第二接受位置相同的位置)进行对模板21的位置修正后，实施印刷(图20的(a))。
[0177]随后，第一基板支撑台IOA移动到第二送出位置，并且第二基板支撑台IOB从第二接受位置移动到后侧的第二退避位置Tes2。移动后，在第一基板支撑台IOA中解除夹持单元14的夹持，并将基板W从第二基板搬出部Ex2搬出到第二元件安装装置M2 (图20的(b))。
[0178]随后，第一基板支撑台IOA从第二送出位置通过第一送出位置移动到前侧的第一退避位置Tesl，并且第二基板支撑台IOB从第二退避位置Tes2移动到第一送出位置。移动后，在弟二基板支撑台IOB中解除夹持单兀14的夹持，并将印刷后的基板W从弟一基板搬出部Exl搬出到第一元件安装装置Ml (图20的(C))。
[0179]即，当第一基板支撑台IOA设置于第二送出位置时，第二基板支撑台IOB在其可移动区域内设置于避开第一基板支撑台IOA的第二退避位置Tes2，当第二基板支撑台IOB设置于第一送出位置时，第一基板支撑台IOA在其可移动区域内设置于避开第二基板支撑台IOB的第一退避位置Tesl。
[0180]根据这样的第七实施方式的印刷装置1F，利用第一基板支撑台IOA的印刷工序(搬入基板、夹持基板、 印刷、解除基板夹持、搬出基板)、与利用第二基板支撑台IOB的印刷工序(搬入基板、夹持基板、印刷、解除基板夹持、搬出基板)是一边错开相互的基板搬出时期一边并行地实施，因此可效率良好地进行基板W的印刷。[0181]而且，对于从各装载器L1、L2分别送出的基板W，能够以具备两个印刷执行部20A、20B这样简单结构来效率良好地实施共用或不同图案的印刷。并且，如上所述，能够使第一基板支撑台IOA从第一接受位置移动至第二送出位置，并且能够使第二基板支撑台IOB从第二接受位置移动至第一送出位置，因此能够将印刷处理后的基板W的搬出目的地分别简单地切换为元件安装装置M2、Ml。
[0182]另外，该第七实施方式的印刷装置IF中，其结构上，除了能够实施如上所述的交叉搬送动作，亦即一边从第一装载器LI将基板W接纳到第一基板支撑台IOA上，一边对该基板W实施印刷处理并搬出至第二元件安装装置M2，另一方面，一边从第二装载器L2将基板W接纳到第二基板支撑台IOB上，一边对该基板W实施印刷处理并搬出至第二元件安装装置M2的印刷动作以外，还能够实施顺序搬送动作，亦即一边从第一装载器LI将基板W接纳到第一基板支撑台IOA上，一边对该基板W实施印刷处理并搬出至第一元件安装装置M1，另一方面，一边从第二装载器L2将基板W接纳到第二基板支撑台IOB上，一边对该基板W实施印刷处理并搬出至第二元件安装装置M2的动作。此时，在该印刷装置IF中，各基板支撑台10AU0B的输送带宽度可变机构也采用了以装置内侧为基准来变更输送带对12的间隔的结构，因此与第一实施方式的印刷装置I等同样地，在与设置于下游侧的元件安装装置M1、M2的关系上，具有有助于吞吐量的提高及印刷装置I的紧凑化的优点。以下，对此点进行说明。
[0183]图21?图24中，对于印刷装置1F，对元件安装装置Ml、M2侧及印刷装置I侧(基板支撑台10AU0B)的各输送带宽度可变机构的基准分情形来表示接受位置与送出位置之间的第一基板支撑台IOA的所需移动距离等，图21及图22针对顺序搬送动作的情形，图23及图24针对交叉搬送动作的情形，分别表示第一基板支撑台IOA的所需移动距离等。
[0184]此处，图21及图23是印刷装置I (基板支撑台10A、10B)的输送带宽度可变机构以装置内侧为基准时的示意图，该图21的(a)及图23的(a)表示元件安装装置Ml、M2侧的输送带宽度可变机构以内侧为基准的情形，即，对于第一元件安装装置Ml而言，装置后侧的输送带为固定输送带，另一方面，对于第二元件安装装置M2而言，装置前侧的输送带为固定输送带的情形，该图21的(b)及图23的(b)表示元件安装装置Ml、M2的输送带宽度可变机构以外侧为基准的情形，即，对于第一元件安装装置Ml而言，装置前侧的输送带为固定输送带，另一方面，对于第二元件安装装置M2而言，装置后侧的输送带为固定输送带的情形。
[0185]另一方面，图22及图24是印刷装置I (基板支撑台10A、10B)的输送带宽度可变机构以装置外侧为基准的情形，即，对于第一基板支撑台IOA而言，位于装置前侧的输送带为固定输送带，对于第二基板支撑台IOB而言，位于装置后侧的输送带为固定输送带时的示意图。并且，该图22的(a)及图24的(a)表示元件安装装置Ml、M2侧的输送带宽度可变机构以内侧为基准的情形，该图22的(b)及图24的(b)表示元件安装装置Ml、M2侧的输送带宽度可变机构以外侧为基准的情形。
[0186]另外，图21?图24中，将固定输送带标注阴影来绘出。而且，输送带对12的间隔达到最小时的状态以实线来绘出。
[0187]首先，基于图21及图22，对顺序搬送动作时的第一基板支撑台IOA的所需移动距离进行考察。[0188]图21的(a)所示的例子中，无论输送带对12的间隔(即基板W的尺寸)如何，第一基板支撑台IOA的第一送出位置，S卩，能够向元件安装装置M搬出基板W的位置均为一定。因此，无论基板W的尺寸如何，第一接受位置与第一送出位置之间的第一基板支撑台IOA的移动距离D始终为一定。
[0189]图21的(b)所示的例子中，当输送带对12的间隔为最大时，第一基板支撑台IOA的第一送出位置等同于图21的(a)的例子，但随着输送带对12的间隔变小，第一基板支撑台IOA的第一送出位置变得接近第一接受位置侧。因此，第一基板支撑台IOA的上述移动距离D在基板W为最大尺寸时等同于图21的(a)的例子，且随着基板W的尺寸变小而变小。
[0190]图22的(a)所示的例子中，当输送带对12的间隔为最大时，第一基板支撑台IOA的第一送出位置等同于图21的(a)、(b)的例子的情形，但随着输送带对12的间隔变小，第一基板支撑台IOA的第一送出位置变得远离第一接受位置。因此，第一基板支撑台IOA的上述移动距离D在基板W为最大尺寸时等同于图21的(a)、(b)的例子，且随着基板W的尺寸变小而变大。
[0191]图22的(b)所示的例子中，无论输送带对12的间隔如何，第一基板支撑台IOA的第一送出位置均为一定，其位置等同于图21的(a)的例子的情形。因此，无论基板W的尺寸如何，第一基板支撑台IOA的上述移动距离D均为一定，其移动距离D等同于图21的(a)的例子。
[0192]即，根据如图21的(a)、(b)的例子般使印刷装置IF(基板支撑台10AU0B)的输送带宽度可变机构以装置内侧为基准的结构，无论元件安装装置Ml、M2侧的输送带宽度可变机构无论是以装置的内外哪一侧作为基准，均能够使与上述顺序搬送动作相关的基板支撑台10AU0B的移动距离D相对(比起使印刷装置IF的输送带宽度可变机构以装置外侧为基准的情形)减小。
[0193]接下来，基于图23及图24，对交叉搬送动作时的第一基板支撑台IOA的所需移动距离进行考察。
[0194]图23的(a)所示的例子中，当输送带对12的间隔为最大时，第一基板支撑台IOA的第二送出位置，即，能够从第一基板支撑台IOA向第二元件安装装置M2搬出基板W的位置最为远离第一接受位置，且随着输送带对12的间隔变小，第一基板支撑台IOA的第二送出位置变得接近第一接受位置侧。因此，第一基板支撑台IOA的上述移动距离D在基板W为最大尺寸时达到最大,且随着基板W的尺寸变小而变小。
[0195]图23的(b)及图24的(a)所示的例子中，无论输送带对12的间隔如何，第一基板支撑台IOA的第二送出位置均为一定，其位置在图23的(a)的例子中等同于输送带对12的间隔为最大时的第一基板支撑台IOA的第二送出位置。因此，无论基板W的尺寸如何，第一基板支撑台IOA的上述移动距离D均为一定，在图23的(a)的例子中，等同于基板W为最大尺寸时。
[0196]图24的(b)所示的例子中，当输送带对12的间隔为最大时，第一基板支撑台IOA的第二送出位置等同于图23的(b)、24的(a)的例子的情形，但随着输送带对12的间隔变小，第一基板支撑台IOA的第二送出位置变得远离第一接受位置。因此，第一基板支撑台IOA的上述移动距离D在基板W为最大尺寸时等同于图23的(b)、图24的(a)的例子，且随着基板W的尺寸变小而变大。而且，该图24的(b)所示的例子中，如该图所示，在基板W为最小尺寸的情况下，相对于第二元件安装装置M2的输送带对CM2，第一基板支撑台IOA大幅向装置后侧偏置。因此，必须相应地比图23的(a)、(b)及图24的(a)的例子加大印刷装置IF的前后方向的尺寸L。
[0197]即，根据如图23的(a)、(b)的例子般使印刷装置IF (基板支撑台10AU0B)的输送带宽度可变机构以装置内侧为基准的结构，无论元件安装装置Ml、M2侧的输送带宽度可变机构是以装置的内外的哪一侧为基准，均能够使与上述交叉搬送动作相关的基板支撑台10AU0B的移动距离D相对(比起印刷装置IF的输送带宽度可变机构以装置外侧为基准的情形)减小，而且，也能够抑制印刷装置IF在Y轴方向上的大型化。
[0198]因此，根据使基板支撑台10AU0B的输送带宽度可变机构以装置内侧为基准的结构，在顺序搬送动作及交叉搬送动作的任一情况下，均能够将基板支撑台10AU0B的移动距离D抑制得相对较小，而且，能够抑制印刷装置I在Y轴方向上的大型化。因此，根据使印刷装置IF(基板支撑台10AU0B)的输送带宽度可变机构以装置内侧为基准的上述印刷装置1，能够有助于吞吐量的提高及印刷装置I的紧凑化。
[0199]接下来，参照图25?图28来说明本发明所涉及的网版印刷装置的第八实施方式。
[0200]图25?图27以俯视图示意性地表示第八实施方式所涉及的网版印刷装置IG(以下简称作印刷装置1G)，图25以俯视示意图，图26及图27以剖视图分别表示印刷装置1G。
[0201]第八实施方式所涉及的网版印刷装置IG被设置于两台装载器L1、L2与元件安装装置M之间，对从上游侧的各装载器L1、L2送出的基板W实施印刷并送出至下游侧的元件安装装置M，类似于第二实施方式的印刷装置1A。该印刷装置IG如后所述，利用具备两个印刷图案的单个模板来对基板W实施印刷处理。另外，以下的说明中，对于印刷装置IG的构成要素中的等同于第二实施方式的印刷装置IA的部件标注共用的标号并省略说明，主要对不同点进行详细说明。
[0202]在该印刷装置IG中，各基板搬入部Enl、En2在Y轴方向上近接地设置，基板搬出部Ex在Y轴方向上设置于两基板搬入部Enl、En2的大致中间的位置。
[0203]印刷装置IG在其基台2上具备:用于支撑基板W的一个基板支撑装置10 ;以及对由基板支撑装置10所支撑的基板W实施印刷的一个印刷执行部20。
[0204]基板支撑装置10相当于本发明所涉及的基板支撑机构，接受从基板搬入部Enl、En2搬入的基板W并对其进行支撑，以便能够执行印刷执行部20的印刷，并且将印刷后的该基板W从基板搬出部Ex送出。
[0205]该基板支撑装置10沿着设置于基台2上的固定导轨3可沿Y轴方向移动地设置，通过以马达作为驱动源的螺丝进给机构等来驱动。并且，基于后述控制装置的马达控制，在能够接受从第一基板搬入部Enl搬入的基板W的第一接受位置、能够从基板搬出部Ex搬出基板W的送出位置、能够接受从第二基板搬入部En2搬入的基板W的第二接受位置之间的范围移动。
[0206]基板支撑装置10包含输送带对12、使该输送带对12沿X轴方向、Y轴方向、Z轴方向及R轴方向(绕Z轴)移动的移动机构、以及夹持单元14等。另外，该印刷装置IG中，夹持单元14被支撑固定于后述升降台108上。
[0207]输送带对12的所述移动机构包含:设于基板支撑装置10的底座105上且可沿X轴方向移动地受到支撑的X轴台106;设于该X轴台106上且可沿R轴方向移动(绕Z轴旋转)地受到支撑的旋转台107 ;设于该旋转台107上且可沿Z轴方向移动(升降)地受到支撑的升降台108 ;以及个别地驱动这些各台106?108的以马达作为驱动源的驱动机构等，基于控制装置的马达控制，使输送带对12向上述各方向移动。
[0208]在以此方式构成的基板支撑装置10的上方，设有所述印刷执行部20。
[0209]该印刷执行部20由设置于基台2上的图外的装置框架予以支撑，作为主要的构成要素，包含模板固定部件22、两个刮板单元40A、40B (称作第一刮板单元40A、第二刮板单元40B)及拍摄单元60等。
[0210]该印刷装置IG的模板固定部件22将模板21以水平地张设于指定高度位置的状态固定地保持。另外，该印刷装置IG中所用的模板21在一片模板上形成有互不相同的两种印刷图案211、212(称作第一图案211、第二图案212)，模板21以这些印刷图案211、212沿Y轴方向排列的方式保持于所述模板固定部件22。具体而言，模板21以形成如下设置的方式受到保持，即，两个印刷图案211、212相对于基板搬出部Ex而沿Y轴方向相等地分配。并且，以第一基板搬入部Enl相对于第一图案211而沿大致X轴方向排列，且第二基板搬入部En2相对于第二图案212而沿大致X轴方向排列的方式，设有该基板搬入部Enl、En2。
[0211]刮板单元40A、40B中的第一刮板单元40A被设置于由模板固定部件22所保持的所述模板21中的第一印刷图案211的上方，第二刮板单元40B被设置于由模板固定部件22所保持的第二印刷图案211的上方。即，当利用模板21中的第一印刷图案211进行印刷时，利用第一刮板单元40A，当利用第二图案212进行印刷时，利用第二刮板单元40B。
[0212]这些刮板单元40A、40B分别如图27的实线及虚线所示，以可沿X轴方向移动的方式支撑于上述图外的装置框架上，并通过以马达为驱动源的螺丝进给机构等驱动机构而个别地驱动。
[0213]而且，各刮板单元40A、40B分别包含沿Y轴方向细长的单个刮板42、用于变更刮板42相对于模板21的倾斜方向及倾斜角度(参照图27)的图外的刮板角度可变机构、及使刮板42在其滑接于模板21的印刷作业高度位置与该位置上方的退避位置之间升降的图外的刮板升降机构等。
[0214]S卩，当利用所述模板21中的第一印刷图案211进行印刷时，第一刮板单元40A的刮板42相对于基板W的表面(水平面)设定为指定角度地设置于印刷作业位置，在此状态下，第一刮板单元40A沿X轴方向受到驱动。另一方面，当利用所述模板21中的第二印刷图案212进行印刷时，第二刮板单元40B的刮板42相对于基板W的表面设定为指定角度地设置于印刷作业位置，在此状态下，第二刮板单元40B沿X轴方向受到驱动。
[0215]拍摄单元60用于对模板21与基板W的相对位置关系进行图像识别，具备从下侧拍摄附于模板21下表面的标记或记号等多个标识的模板识别相机60a、及从上侧拍摄由基板支撑装置10所支撑的基板W的标记或记号等多个标识的基板识别相机60b。该拍摄单元60通过连结于图外的X-Y机器人而可沿水平方向二维移动地设置，基于后述控制装置对X-Y机器人的控制，介隔于印刷前(模板重装前)的模板21与基板W之间以拍摄上述各标识。
[0216]另外，该印刷装置IG具备等同于所述控制装置8的控制装置，通过该控制装置统一控制借助所述基板支撑装置10、刮板单元40A、40B及拍摄单元60等的一连串的印刷处理动作，即，接受从基板搬入部Enl、En2搬入的基板W、对基板W的印刷及基板W从基板搬出部Ex的搬出这一连串的动作。
[0217]接下来，参照图25及图28来说明基于该控制装置的控制的印刷装置IG的印刷动作。
[0218]图25示意性地表示在印刷装置IG中连续进行的印刷动作的特定时间点的状态，具体而言，表示利用模板21的两个印刷图案211、212中的第二图案212的基板W刚刚实施印刷之后的状态。
[0219]从图25所示那样的的状态开始，首先，基板支撑装置10朝向送出位置移动，即输送带对12朝向与基板搬出部Ex对应的位置。并且，解除基板W的夹持状态之后，通过输送带对12、基台2上的输送带对及输送带CM的驱动，一边从基板支撑装置10送出印刷后的基板W，一边从基板搬出部Ex搬出至元件安装装置M(图28的(a))。
[0220]当基板W的搬出完成时，为了接受后续的基板W，基板支撑装置10移动到第一或第二接受位置，即输送带对12移动到与第一基板搬入部Enl或第二基板搬入部En2对应的位置。由此，将从第一基板搬入部Enl或第二基板搬入部En2搬入的基板W接纳到基板支撑装置10的输送带对12上。例如图28的(b)所示，将从第一基板搬入部Enl搬入的基板W接纳到输送带对12上，并在指定位置设为夹持状态。
[0221]当基板W的夹持完成时，基板W如图28的(C)所示，设置于上述模板21的两个印刷图案211、212中的应印刷的印刷图案下方的位置。基板W能够通过基板支撑装置10的Y轴方向的移动而设置于模板21的任一印刷图案211、212的下方位置，图示的例子中，设置于第一图案211的下方位置。
[0222]并且，在印刷之前，拍摄单元60先从指定的退避位置(图27所示的位置)前进到基板W与模板21之间，拍摄基板W及模板21的各标识之后，移动到上述退避位置。由此，对基板W及模板21的各位置进行图像识别，并基于这些识别结果求出模板21与基板W的位置偏移，并且求出与该位置偏移相应的X轴、Y轴及R轴方向的修正值(ΛΧ、ΛΥ、AR)。这样的识别处理及修正值的运算是由上述控制装置基于由各相机60a、60b拍摄的图像来进行。
[0223]当基板W等的识别结束时，将基板W重装于模板21。此时，基于上述修正值(Λ X、Λ Y、AR)，沿Y轴方向驱动控制基板支撑装置10，通过输送带对12的所述移动机构，沿X轴及R轴方向驱动控制该输送带对12，由此，模板21相对于基板W而恰当地重装。
[0224]并且，当基板W向模板21的重装完成时，两个刮板单元40Α、40Β中的与应印刷的印刷图案211、212对应的刮板单元工作，从而对基板W实施印刷。在图28的(c)的例子的情况下，第一刮板单元40A的刮板42从退避高度位置下降移动到印刷作业高度位置之后，包括刮板42在内的刮板单元40整体沿X轴方向移动，从而对基板W实施印刷。
[0225]当印刷结束时，输送带对12被重置于指定的原位置。S卩，通过输送带对12的上述移动机构的驱动，输送带对12沿X轴、Y轴及R轴的各方向移动，由此，由夹持单元14所夹持的基板W脱离模板21，夹持单元14的夹持被解除，通过支撑机构的下降，将基板W载置于输送带对12上，并且，该输送带对12在上述各输送带对CL1、CL2及CM之间设置于能够交接基板W的位置。
[0226]这样，当基板W的印刷完成时，基板支撑装置10移动到送出位置，通过输送带对12的驱动，一边从基板支撑装置10送出印刷后的基板W，一边从基板搬出部Ex搬出至元件安装装置M。并且，然后，一边将从第一基板搬入部Enl或第二基板搬入部En2搬入的基板W接纳到基板支撑装置10，一边利用模板21的两个印刷图案211、212中的任一者进行印刷，并从基板搬出部Ex搬出至元件安装装置M。
[0227]根据以上说明的印刷装置1G，能够利用包含两个印刷图案211、212的一片模板21来实施印刷，除此以外，印刷装置IG能够单独地一边从双系统的装载器L1、L2接纳板W，一边实施印刷，并搬出至单系统的元件安装装置M。因此，即使在双系统的上游侧装置(装载器L1、L2)与单系统的下游侧装置(元件安装装置M)之间设置印刷装置1G，也不需要以往装置般的附属设备(切换装置)，由此，能够紧凑地构成生产线。
[0228]另外，该印刷装置IA中，对应用形成有互不相同的两种印刷图案211、212的模板作为模板21的例子进行了说明，但印刷图案211、212也可为同种类的图案(以下的第九?第十三实施方式也同样如此)。
[0229]接下来，参照图29来说明本发明所涉及的网版印刷装置的第九实施方式。
[0230]图29以俯视图示意性地表示第九实施方式所涉及的网版印刷装置1H(以下简称作印刷装置1H)。该第九实施方式所涉及的印刷装置IH是第八实施方式的印刷装置IG的变形且还类似于第五实施方式的印刷装置1D。该印刷装置IH在下述的点不同于第八实施方式的印刷装置IG的结构。
[0231]S卩，该印刷装置IH能够将从一台装载器L送出的基板W从基板搬入部En搬入装置内，并将印刷后的基板W从第一基板搬出部Exl选择性地搬出至第一元件安装装置M1，或者从第二基板搬出部Ex2选择性地搬出至第二元件安装装置M2。并且，基板支撑装置10在能够接受从基板搬入部En搬入的基板W的接受位置、能够从第一基板搬出部Exl搬出印刷后的基板W的第一送出位置、能够从第二基板搬出部Ex2搬出印刷后的基板W的第二送出位置之间的范围沿Y轴方向能够移动地设置，在这些点上，印刷装置IH不同于第八实施方式的印刷装置IG的结构。
[0232]虽省略时间序列图，但该印刷装置IH中，首先将基板支撑装置10设置于接受位置，从而将从基板搬入部En搬入的基板W接纳到基板支撑装置10 (输送带对12)。然后，夹持基板W后，以与模板21的第一或第二印刷图案211、212中的应印刷至该基板W的图案对应的方式设置基板支撑装置10，在此状态下，将模板21重装于该基板W以实施印刷。印刷后，将基板支撑装置10设置于第一送出位置或第二送出位置，从而将基板W从第一基板搬出部Exl搬出至第一元件安装装置M1，或者从第二基板搬出部Ex2搬出至元件安装装置M2。
[0233]根据这样的第九实施方式的印刷装置1H，能够利用包含两个印刷图案211、212的模板21来实施印刷，除此以外，印刷装置IH能够单独地一边从单系统的装载器L接纳基板W，一边实施印刷，并搬出至双系统的元件安装装置Ml、M2。因此，根据该印刷装置1H，即使设置于单系统的上游侧装置(装载器LI)与双系统的下游侧装置(元件安装装置Ml、M2)之间，也不需要以往装置般的附属设备(分配装置)，由此，能够紧凑地构成生产线。
[0234]接下来，参照图30来说明本发明所涉及的网版印刷装置的第十实施方式。
[0235]图30以俯视图示意性地表示第十实施方式所涉及的网版印刷装置II (以下简称作印刷装置II)。该第十实施方式所涉及的印刷装置II是第八实施方式的印刷装置IG的变形且还类似于第七实施方式的印刷装置1F。该印刷装置II在下述的点不同于第八实施方式的印刷装置IG的结构。[0236]S卩，该印刷装置II能够将从第一装载器LI送出的基板W从第一基板搬入部Enl搬入装置内，将从第二装载器L2送出的基板W从第二基板搬入部En2搬入装置内，并将印刷后的基板W从第一基板搬出部Exl选择性地搬出至第一元件安装装置M1，或者从第二基板搬出部Ex2选择性地搬出至第二元件安装装置M2。并且，基板支撑装置10可进一步向能够从第一基板搬出部Exl搬出印刷后的基板W的第一送出位置及能够从第二基板搬出部Ex2搬出印刷后的基板W的第二送出位置移动地设置，在这些点上，印刷装置IC不同于第一实施方式的印刷装置IA的结构。另外，所述基板搬出部Exl、Ex2在Y轴方向上设置于两基板搬入部Enl、En2之间的位置。换言之，所述基板搬出部Exl、Ex2以与两基板搬入部Enl、En2的排列间距Ptl不同的排列间距Pt2(Pt2 < Ptl)而设置。
[0237]虽省略时间序列图，但该印刷装置II中，首先将基板支撑装置10设置于第一接受位置或第二接受位置，从而将从基板搬入部Enl、En2搬入的基板W接纳到基板支撑装置10 (输送带对12)。然后，夹持基板W后，以与模板21的第一印刷图案211或第二印刷图案212中的应印刷至该基板W的图案对应的方式设置基板支撑装置10，在此状态下，将模板21重装于该基板W以实施印刷。印刷后，将基板支撑装置10设置于第一送出位置或第二送出位置，从而将基板W从第一基板搬出部Exl搬出至第一元件安装装置M1，或者从第二基板搬出部Ex2搬出至元件安装装置M2。
[0238]根据这样的第十实施方式的印刷装置II，能够利用包含两个印刷图案211、212的模板21来实施印刷，除此以外，该印刷装置II能够单独地一边从双系统的装载器L1、L2接纳基板W，一边实施印刷，并将基板W搬出至以与这些装载器L1、L2的输送带对CL1、CL2的间距(Ptl)不同的间距(Pt2)设置的元件安装装置Ml、M2的输送带对CM1、CM2。因此，根据该印刷装置1C，即使在设置于双系统的上游侧装置(装载器L1、L2)与双系统的下游侧装置(元件安装装置Ml、M2)之间且上游侧装置的各基板搬送线的线间间距与下游侧装置的各基板搬送线的线间间距不同的情况下，也不需要如以往般的附属设备(中继装置)，由此，能够紧凑地构成生产线。
[0239]接下来，参照图31、图32来说明本发明所涉及的网版印刷装置的第十一实施方式。
[0240]图31以俯视图示意性地表示第十一实施方式所涉及的网版印刷装置IJ(以下简称作印刷装置1J)。该第十一实施方式所涉及的印刷装置IJ是第八实施方式的印刷装置IG的变形，在下述的点不同于第八实施方式的印刷装置IG的结构。
[0241]S卩，该印刷装置IJ具有两个基板支撑装置10AU0B(称作第一基板支撑装置10A、第二基板支撑装置10B)作为基板支撑装置。这些基板支撑装置10AU0B为同一结构，且被支撑于设置在基台2上的共用的固定导轨3上，并通过以马达为驱动源的螺丝进给机构等来个别地沿Y轴方向进行驱动。并且，第一基板支撑装置IOA在能够接受从第一基板搬入部Enl搬入的基板W的接受位置(第一接受位置)与所述送出位置之间的范围移动，另一方面，第二基板支撑装置IOB在能够接受从第二基板搬入部En2搬入的基板W的接受位置(第二接受位置)与所述送出位置之间的范围移动。因此，该印刷装置IJ中，对于由第一基板支撑装置IOA支撑的基板W而言，能够仅利用模板21的两个印刷图案211、212中的第一图案211来进行印刷，另一方面，对于由第二基板支撑装置IOB支撑的基板W而言，能够仅利用第二图案212来进行印刷。[0242]另外，该印刷装置IJ中，例如该图所示，两基板搬入部Enl、En2在Y轴方向上设置于模板21外侧的位置，以便在将基板接纳到一侧的基板支撑装置IOA(或10B)的过程中，能够从另一侧的基板支撑装置IOB (或10A)向基板搬出部Ex送出基板W，换言之，能够在第一或第二接纳位置与送出位置同时设置基板支撑装置10A、10B。
[0243]该印刷装置IJ中，如该图所示，第一基板支撑装置IOA设置于模板21的下方位置，由该第一基板支撑装置IOA所支撑的基板W在相对于第一图案211而定位的状态下重装于该模板21，以实施印刷。在该印刷过程中，将输送带对CL2上的基板W从第二基板搬入部En2接纳到第一接纳位置的第二基板支撑装置IOB并予以夹持。
[0244]当该印刷结束时，如图32的(a)所示，将第一基板支撑装置IOA设置于送出位置，一边将印刷后的基板W从基板支撑装置10送出，一边从基板搬出部Ex搬出至元件安装装置M。
[0245]当基板W的搬出完成时，如图32的(b)所示，将第一基板支撑装置IOA设置于第一接受位置，将从第一基板搬入部Enl搬入的基板W接纳到基板支撑装置10的输送带对12上并予以夹持。另一方面，将第二基板支撑装置IOB设置于模板21的下方位置，由该第一基板支撑装置IOB所支撑的基板W在相对于第二图案212而定位的状态下重装于该模板21，以实施印刷。
[0246]这样，第一基板支撑装置IOA—边向第一接受位置、模板21 (第一图案211)的下方位置及送出位置依次移动，一边依次进行由该第一基板支撑装置IOA所支撑的基板W的印刷、该基板W的搬出及后续基板W的接纳的各动作，另一方面，与该动作错开一定的时间差，第二基板支撑装置IOB — 边向第二接受位置、模板21 (第二图案212)的下方位置及送出位置依次移动，一边依次进行由第二基板支撑装置IOB所支撑的基板W的印刷(图32的(b))、基板W的搬出及后续基板W的接纳动作(图31、图32的(a))。
[0247]对于这样的第十一实施方式的印刷装置IJ而言，也能够与第八实施方式的印刷装置IG同样地，印刷装置IJ能够单独地一边从双系统的上游侧装置(装载器L1、L2)接纳基板W，一边实施印刷，并搬出至单系统的下游侧装置(元件安装装置M)。
[0248]并且，根据该印刷装置IJ，一边将基板W交替地接纳至两个基板支撑装置10AU0B一边实施印刷并搬出，因此与第八实施方式的印刷装置IG相比，在先行的印刷完毕基板W搬出后，能够在更短时间开始后续基板W的印刷。因此，根据该第十一实施方式的印刷装置1J，即使在双系统的上游侧装置与单系统的下游侧装置之间设置印刷装置1，也能够紧凑地构成生产线，除了这一与第八实施方式的印刷装置IG同样的作用效果以外，还能够享有能提高吞吐量这一作用效果。
[0249]上述说明中虽未特别言及，但拍摄单元60对于两基板支撑装置10A、10B为共用，在各基板支撑装置10AU0B设置于模板21的下方位置的状态下，介隔在基板W与模板21(第一图案211或第二图案212)之间以拍摄各标识。另外，该印刷装置IJ中，在一侧的基板支撑装置IOA(或10B)设置于模板21的下方位置的时间点，通常如图30及图32的
(b)所示，另一侧的基板支撑装置IOB(或10A)被设置于接受位置，因而该另一侧的基板支撑装置IOB (或10A)不会对拍摄单元60的标识拍摄动作造成妨碍。
[0250]接下来，参照图33、图34来说明本发明所涉及的网版印刷装置的第十二实施方式。[0251]图33以俯视图示意性地表示第十二实施方式所涉及的网版印刷装置1K(以下简称作印刷装置1Κ)。该第十二实施方式所涉及的印刷装置IK是第十一实施方式的印刷装置IJ的变形，在下述的点不同于第十一实施方式的印刷装置IJ的结构。
[0252]S卩，该印刷装置IK具有一个基板搬入部En及两个基板搬出部Exl、Ex2(第一基板搬出部Exl、第二基板搬出部Εχ2)，图示的例子中，印刷装置IK将从一台装载器L送出的基板W从基板搬入部En搬入装置内，并将印刷后的基板W从第一基板搬出部Exl搬出至第一元件安装装置Μ1，从第二基板搬出部Εχ2搬出至第二元件安装装置M2。
[0253]基板搬入部En以与第一基板搬出部Exl在X轴方向排列成一列的方式而设置，换言之，其设置在Y轴方向上的与第一基板搬出部Exl相同的位置。
[0254]并且，第一基板支撑装置IOA可向能够接受从基板搬入部En搬入的基板W且能够从第一基板搬出部Exl搬出印刷后的基板W的作业位置(该图所示的位置，相当于本发明的接受位置及第一送出位置)、与位于该位置的装置前侧(该图中为下方)的待机位置移动地设置，另一方面，第二基板支撑装置IOB可向能够接受从基板搬入部En搬入的基板W的接受位置(相当于本发明的接受位置)、与能够将印刷后的基板W送出至第二基板搬出部Εχ2的送出位置(相当于本发明的第二送出位置)移动地设置。另外，第一基板支撑装置IOA上的所述作业位置与第二基板支撑装置IOB上的接受位置是相同位置，但在本实施方式的说明中在语言上区别开来。
[0255]而且，模板21以两个印刷图案211、212中的第一图案211位于作业位置(接受位置)的方式受到保持。而且，以在相对于各印刷图案211、212同时定位基板W的状态下能够进行印刷的方式，根据与各基板支撑装置10AU0B的结构关系设定各印刷图案211、212的Y轴方向的间隔等。
[0256]该印刷装置IK中，对于各基板支撑装置10Α、10Β而言，大致并行地实施基板W的印刷及印刷后的基板W的搬出。S卩，该印刷装置IA中，如该图所示，在第一基板支撑装置IOA被设置于作业位置(接纳位置且第一送出位置)的状态下，将从基板搬入部En搬入的基板W接纳到第一基板支撑装置IOA上。此时，一边将先行的印刷完毕的基板W从第一基板支撑装置IOA送出，一边从第一基板搬出部Exl搬出至第一元件安装装置Ml。而且，与此大致同时，一边将先行的印刷完毕的基板W从第二基板支撑装置IOB送出，一边从第二基板搬出部Εχ2搬出至第二元件安装装置M2。
[0257]当基板W往第一基板支撑装置IOA上的接纳完成且先行的基板W的送出完成时，如图34的(a)所示，第一基板支撑装置IOA被设置于待机位置，另一方面，第二基板支撑装置IOB被设置于接受位置，在此状态下，将基板W接纳到该第二基板支撑装置IOB上。
[0258]当基板W往第二基板支撑装置IOB上的接纳完成时，该第二基板支撑装置IOB被设置于模板21 (第二图案212)的下方位置，并且第一基板支撑装置IOA被设置于模板21(第一图案211)的下方位置，由此，如图34的(b)所示，第一基板支撑装置IOA的基板W被定位于第一图案211，第二基板支撑装置IOB的基板W被定位于第二图案212，进行拍摄单元60对各标识的拍摄，并基于算出的修正量进行各基板的位置修正之后，将各基板W重装于模板21以大致同时实施这两基板W的印刷。另外，拍摄单元60对各标识的拍摄是对各基板W同时进行。即，拍摄单元60在第一基板支撑装置IOA的基板W与模板21 (第一图案211)之间及第二基板支撑装置IOB的基板W与模板21 (第二图案212)之间连续移动，从而连续拍摄各基板W的标识及模板21 (印刷图案211、212)的标识。
[0259]当印刷结束时，第一基板支撑装置IOA被设置于作业位置，一边将印刷后的基板W送出至第一基板搬出部Exl，一边将后续的基板W从基板搬出部Ex接纳到该第一基板支撑装置10A，另一方面，第二基板支撑装置IOB被设置于送出位置，将印刷后的基板W送出至第二基板搬出部Ex2(参照图33)。
[0260]这样，以后将对于各基板支撑装置10A、10B大致并行地实施基板W的印刷及印刷后的基板W的搬出。
[0261]根据这样的第十二实施方式的印刷装置1K，印刷装置IK能够单独地一边从单系统的上游侧装置(装载器L)接纳基板W，一边实施印刷，并搬出至双系统的下游侧装置(元件安装装置M1、M2)，因此能够起到与上述第九实施方式的印刷装置1H(参照图29)同样的作用效果，即:即使在双系统的上游侧装置与单系统的下游侧装置之间设置印刷装置1，也能够紧凑地构成生产线。并且，该印刷装置IK中，如上所述，一边将基板W接纳到两个基板支撑装置10AU0B上，一边实施印刷并搬出，并且，进一步对于各基板支撑装置10AU0B大致并行地实施这样的基板W的印刷及印刷后的基板W的搬出，因此与将基板W逐片地接纳到装置内来实施印刷并搬出的第九实施方式的印刷装置IH相比，具有能够提高基板W的吞吐量的优点。
[0262]接下来，参照图35、36来说明本发明所涉及的网版印刷装置的第十三实施方式。
[0263]图35以俯视图示意性地表示第十三实施方式所涉及的网版印刷装置IL(以下简称作印刷装置1L)。该第十三实施方式所涉及的印刷装置IL是第十一实施方式的印刷装置IJ的变形，在下述的点不同于第十一实施方式的印刷装置IJ的结构。
[0264]S卩，该印刷装置IL具有两个基板搬出部Exl、Ex2(第一基板搬出部Ex1、第二基板搬出部Ex2)作为基板搬出部。图示的例子中，印刷装置IL能够将从第一装载器LI送出的基板W从第一基板搬入部Enl搬入装置内，将从第二装载器L2送出的基板W从第二基板搬入部En2搬入装置内，并将印刷后的基板W从第一基板搬出部Exl搬出至第一元件安装装置Ml，从第二基板搬出部Ex2搬出至第二元件安装装置M2。
[0265]各基板搬出部Exl、Ex2在Y轴方向上设置于两基板搬入部Enl、En2之间的位置。换言之，所述基板搬出部Exl、Ex2以与两基板搬入部Enl、En2的排列间距Ptl不同的排列间距Pt2(Pt2 < Ptl)而设置。
[0266]并且，第一基板支撑装置IOA在所述第一接受位置、与能够从第一基板搬出部Exl搬出印刷后的基板W的第一送出位置之间的范围移动，另一方面，第二基板支撑装置IOB以能够移动到所述第二接受位置、及能够移动到能够从第二基板搬出部Ex2搬出印刷后的基板W的第二送出位置的方式设置，在这些点上，印刷装置IL不同于第十一实施方式的印刷装置IJ的结构。
[0267]该印刷装置IL中，如该图所示，第一基板支撑装置IOA被设置于模板21的下方位置，由该第一基板支撑装置IOA所支撑的基板W在相对于第一图案211而定位的状态下，被重装于该模板21以实施印刷。
[0268]当该印刷结束时，如图36的(a)所示，第一基板支撑装置IOA被设置于第一送出位置，一边将印刷后的基板W从第一基板支撑装置IOA送出，一边从第一基板搬出部Exl搬出至第一元件安装装置Ml。[0269]当基板W的搬出完成时，如图36的(b)所示，第一基板支撑装置IOA被设置于第一接纳位置，将从第一基板搬入部Enl搬入的基板W接纳到第一基板支撑装置IOA的输送带对12上并予以夹持。
[0270]并且，第一基板支撑装置IOA —边向第一接受位置、模板21 (第一图案211)的下方位置及第一送出位置依次移动，一边依次进行由该第一基板支撑装置IOA所支撑的基板W的印刷、该基板W的搬出及后续基板W的接纳动作，另一方面，与该动作错开一定的时间差，第二基板支撑装置IOB —边向第二接受位置、模板21 (第二图案212)的下方位置及送出位置依次移动，一边依次进行由第二基板支撑装置IOB所支撑的基板W的印刷(图36的
(b))、基板W的搬出及后续基板W的接纳动作(图35)。
[0271]根据这样的第六实施方式的印刷装置1L，印刷装置IL能够单独地一边从双系统的装载器L1、L2接纳基板W，一边实施印刷，并将基板W搬出至以与这些装载器L1、L2的输送带对CL1、CL2的间距(Ptl)不同的间距(Pt2)设置的元件安装装置Ml、M2的输送带对CMU CM2。因此，根据该印刷装置1L，能够起到与第十实施方式的印刷装置11(参照图30)同样的作用效果，即:即使设置于双系统的上游侧装置(装载器L1、L2)与双系统的下游侧装置(元件安装装置Ml、M2)之间且上游侧装置的各基板搬送线的线间间距与下游侧装置的各基板搬送线的线间间距不同的装置之间，也能够紧凑地构成生产线。并且，根据该印刷装置1L，如上所述，一边将基板W交替地接纳至两个基板支撑装置10A、IOB —边实施印刷并搬出，因此与第十实施方式的印刷装置II相比，具有能够提高基板W的吞吐量的优点。
[0272]此外，上述网版印刷装置1、1A?IL是本发明所涉及的网版印刷装置的较理想实施方式的例示，其具体结构能够在不脱离本发明的主旨的范围内适当变更。
[0273]例如，第一实施方式的基板支撑台10A、10B等上的基板W的具体支撑结构/印刷执行部20A、20B等上的具体的模板21的保持结构、或者刮板单元40的具体结构等未必限定于实施方式的网版印刷装置I等，能够进行适当变更。
[0274]而且，第一、第二、第六及第七实施方式中，使第一印刷执行部20A的位置与第一接受位置相一致，并且使第二印刷执行部20B的位置与第二接受位置相一致，但这些印刷执行部20A、20B也可在不与基板送出过程中的基板支撑台干涉的范围内，设置在偏靠送出位置或远离送出位置的一侧的位置。
[0275]而且，在第三实施方式中，也可将印刷执行部20设置于较送出位置偏靠第一接受位置的位置或偏靠第二接受位置的位置，而且，在第四、第五实施方式中，也可将印刷执行部20设置于较接受位置偏靠第一送出位置的位置或偏靠第一送出位置的位置。
[0276]而且，在第一至第六实施方式中，将第一基板支撑台10A、第二基板支撑台IOB分别能够移动地支撑于共用的导轨3上，但也可分别能够移动地支撑于不同的导轨上。
[0277]而且，第二、第三、第五至第十三实施方式中，在基台2上设有输送带对Cn(或者CnU Cn2)及Cx (或者Cx1、Cx2)，基板搬入部En及基板搬出部Ex的位置为固定，但也可不设置这些输送带对，而利用基板支撑台10AU0B或者基板支撑台10来直接搬入及搬出基板W。此时，能够提高装载器L (或者L1、L2)及元件安装装置M (或者Ml、M2)的设置自由度。并且，基板搬入部En (或者Enl、En2)的位置(基板搬入位置)及基板搬出部Ex (或者Exl、Ex2)的位置(基板搬出位置)是对应于先前决定的装载器L(或者L1、L2)及元件安装装置M(或者Ml、M2)的设置位置，按照从主计算机提供的印刷执行程序等而分别设定。[0278]而且，第一、第二及第七实施方式中，印刷执行部20A、20B分别在Y方向上与基板搬入部Enl、En2的位置相一致，但在基板搬入部Enl与基板搬入部En2的间隔较窄的情况下，通过将印刷执行部20A设置于基板搬入部Enl的成为装置前侧的外侧的位置，将印刷执行部20B设置于基板搬入部En2的成为装置后侧的外侧的位置，从而能够避免基板支撑台10AU0B的干涉。
[0279]同样地，第六各实施方式中，印刷执行部20A、20B分别在Y方向上与基板搬出部Εχ1>Εχ2的位置相一致，但在基板搬出部Exl与基板搬出部Ex2的间隔较窄的情况下，通过将印刷执行部20A设置于基板搬出部Exl的成为装置前侧的外侧的位置，将印刷执行部20B设置于基板搬出部Ex2的成为装置后侧的外侧的位置，从而能够避免基板支撑台10AU0B的干涉。
[0280]而且，第一、第二及第七实施方式中，也可在第一基板支撑台IOA的输送带对12与输送带对CLl之间，或者在第二基板支撑台IOB的输送带对12与输送带对CL2之间，相互地将固定输送带与可动输送带分别设置于Y方向的相同侧。此时，即使基板W的Y方向尺寸发生变化，也能够维持印刷执行部20A与基板搬出部Exl的位置、或者印刷执行部20B与基板搬出部Ex2的位置为一致。
[0281]而且，第十一至第十三实施方式的印刷装置IJ?IL中，采用如下结构，即对于由第一基板支撑装置IOA所支撑的基板W，利用模板21的两个印刷图案211、212中的第一图案211来进行印刷，另一方面，对于由第二基板支撑装置IOB所支撑的基板W，利用第二图案212来进行印刷，但对于由任一基板支撑装置10AU0B所支撑的基板W，也能够任意地利用两个印刷图案211、212来进行印刷。此时，例如若为第十一实施方式的印刷装置1J，则在将第一基板支撑装置IOA定位于第二图案212时，只要使第二基板支撑装置IOB退避到印刷执行部20的外侧(图31中为上侧)的位置即可，相反地，在将第二基板支撑装置IOB定位于第一图案211时，只要使第一基板支撑装置IOA退避到印刷执行部20的外侧(图31中为下侧)的位置即可。对于其他印刷装置1K、1L也同样如此。
[0282]而且，对于第十一实施方式的印刷装置IJ及第十三实施方式的印刷装置1L，也与第十二实施方式的印刷装置IK同样地，也可使由两基板支撑装置10AU0B所支撑的各基板W在相对于各印刷图案211、212而同时定位的状态下能够进行印刷。即，即使两基板支撑装置10AU0B分别位于印刷图案211、212的下方，也可将两印刷图案211、212的设置间距加大至不会相互干涉的程度。
[0283]此外，第十三实施方式的印刷装置IL中，也能够尽可能地减小元件安装装置Ml、M2的设置间距(Pt2)(例如，与两印刷图案211、212的设置间距为同程度或者更小)。此时，图36的(a)所示的、印刷与基板搬出的同时实施变得不可能，但例如能够在对重装于印刷图案211的基板支撑装置IOA上的基板W的印刷过程中、及从第一基板搬出部Exl搬出印刷后的基板支撑装置IOA上的基板W的期间内，实施基板W从第二基板搬入部En2往基板支撑装置IOB上的接纳，且在对重装于印刷图案212的基板支撑装置IOB上的基板W的印刷过程中、及从第二基板搬出部Ex2搬出印刷后的基板支撑装置IOB上的基板W的期间内，实施基板W从第一基板搬入部Enl往基板支撑装置IOA上的接纳。即，具有如下优点:能够在基板搬入过程中进行印刷或者印刷后基板W的搬出，能够提高基板W的吞吐量。
[0284]以上的本发明总结如下。[0285]本发明一方面所涉及的网版印刷装置包括:印刷执行部，位于沿特定方向排列的能够供基板搬入的基板搬入位置与能够供印刷后的基板搬出的基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷；基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且将印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出；控制装置，控制所述基板支撑机构；其中，以所述特定方向作为X轴方向时，所述基板支撑机构包括分别沿与X轴方向正交的Y轴方向能够移动地并列设置且具有彼此的可移动区域的一部分重叠的共用区域的第一基板支撑机构及第二基板支撑机构，所述控制装置控制所述第一基板支撑机构及所述第二基板支撑机构，执行第一动作控制、第二动作控制及第三动作控制中的任一控制，其中，所述第一动作控制是从分别作为所述基板搬入位置被预先设定在Y轴方向的互不相同的位置且比所述共用区域更外侧的位置的第一基板搬入位置及第二基板搬入位置接受基板，并且将印刷处理后的基板从位于所述共用区域内的所述基板搬出位置搬出的控制，所述第二动作控制是从位于所述共用区域内的基板搬入位置接受基板，并且将印刷处理后的基板从分别作为所述基板搬出位置被预先设定在Y轴方向的互不相同的位置且比所述共用区域更外侧的位置的第一基板搬出位置及第二基板搬出位置搬出的控制，所述第三动作控制是从分别作为所述基板搬入位置被预先设定在Y轴方向的互不相同的位置且位于所述共用区域内的第一基板搬入位置及第二基板搬入位置接受基板，并且将印刷处理后的基板从分别作为所述基板搬出位置被预先设定在所述Y轴方向的互不相同的位置且位于所述共用区域内的第一基板搬出位置及第二基板搬出位置搬出的控制，所述印刷执行部设置在能够对由所述各基板支撑机构所支撑的基板实施网版印刷的位置。
[0286]根据该网版印刷装置，不需要分配装置等附属设备便能够单独地设置在单系统的装置与双系统的装置之间、或者双系统的上游侧装置与双系统的下游侧装置之间，对从上游侧搬送来的基板实施印刷处理并使该基板搬出至下游侧。
[0287]另外，在该网版印刷装置中，所述第一基板支撑机构及第二基板支撑机构分别包括沿所述X轴方向相互平行地延伸且接受从所述基板搬入位置搬入的基板并且从所述基板搬出位置搬出印刷后的基板的一对输送带、及能够变更这些输送带的间隔的输送带宽度可变机构，所述输送带宽度可变机构通过以各基板支撑台的一对输送带中与另一对输送带相互靠近的一侧的输送带作为基准而使另一侧的输送带沿所述Y轴方向位移来改变输送带的间隔。
[0288]根据该结构，基于与设置于该网版印刷装置的下游侧的装置的关系，而构成为有助于吞吐量的提高及网版印刷装置的紧凑化的结构。
[0289]此外，本发明另一方面所涉及的网版印刷装置包括:印刷执行部，位于沿特定方向排列的能够供基板搬入的基板搬入位置与能够供印刷后的基板搬出的基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷；基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且将印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出；其中，以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬入位置与第二基板搬入位置以作为所述基板搬入位置，或者在Y轴方向上且在这些第一、第二基板搬入位置之间的位置设定所述基板搬出位置，所述基板支撑机构包括分别沿Y轴方向能够移动地并列设置且具有彼此的可移动区域的一部分重叠的共用区域的第一基板支撑机构及第二基板支撑机构，这些第一基板支撑机构及第二基板支撑机构，以该两个基板支撑机构中一侧的基板支撑机构在被设置在能够接受从所述基板搬入位置搬入的基板的位置的状态下、或者被设置在能够从所述基板搬出位置搬出印刷后的基板的位置的状态下，该一侧的基板位于所述共用区域内，另一方面另一侧的基板支撑机构位于所述可移动区域中避开所述一侧的基板支撑机构的位置的方式设置，所述印刷执行部设置在能够对由所述各基板支撑机构所支撑的基板实施网版印刷的位置。
[0290]根据该网版印刷装置，能够使利用两个基板支撑台的两个印刷工序并行地同时进行，因此能够效率良好地进行印刷，并且即使没有如以往般的附属设备(切换装置)，也能够由上游侧装置或者下游装置中的至少一者为双系统的网版印刷装置单独地从上游装置接纳基板并实施印刷且搬出至下游侧装置。
[0291]另外，本发明另一方面所涉及的网版印刷装置包括:印刷执行部，位于沿特定方向排列的基板搬入位置与基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷；基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且使印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出；其中，以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬入位置与第二基板搬入位置以作为所述基板搬入位置，并且在Y轴方向上且在这些第一、第二基板搬入位置之间的位置设定所述基板搬出位置，所述基板支撑机构包括分别沿Y轴方向能够移动地设置的第一基板支撑机构以及第二基板支撑机构，所述第一基板支撑机构在其可移动区域内在能够接受从所述第一基板搬入位置搬入的基板的第一接受位置与能够供基板从所述基板搬出位置搬出的送出位置之间移动，所述第二基板支撑机构在其可移动区域内在能够接受从所述第二基板搬入位置搬入的基板的第二接受位置与所述送出位置之间移动，这些第一基板支撑机构及第二基板支撑机构，以该第一基板支撑机构及所述第二基板支撑机构的任一侧的基板支撑机构位于彼此的所述可移动区域的一部分重叠的共用区域的区域内时，另一侧的基板支撑机构位于所述可移动区域内且避开所述一侧的基板支撑机构的位置的方式设置，所述印刷执行部设置在能够对由所述各基板支撑机构所支撑的基板实施网版印刷的位置。
[0292]该网版印刷装置中，从第一基板搬入位置搬入的基板被接受(接纳)于设置在第一接受位置的第一基板支撑机构，并且在由该第二基板支撑机构予以支撑的状态下被实施印刷。并且，在该第一基板支撑机构设置在位于共用区域内的送出位置的状态下从该台将基板送出，从而将印刷后的基板从基板搬出位置搬出。另一方面，从第二基板搬入位置搬入的基板被接纳于设置在第二接受位置的第二基板支撑机构，并且在由该第二基板支撑机构予以支撑的状态下被实施印刷，所述第二接受位置成为避开位于可移动区域内的共用区域内的送出位置的第一基板支撑机构的位置。并且，在该第二基板支撑机构在可移动区域内移动且被设置在位于共用区域内的送出位置的状态下从该台将基板送出，从而将印刷后的基板从基板搬出位置搬出。此时，第一基板支撑机构被设置在其可移动区域内成为避开位于共用区域内的送出位置的第二基板支撑机构的位置的第二接受位置。即，根据该网版印刷装置，能够使利用两个基板支撑机构的两个印刷工序并行地同时进行，因此可效率良好地进行印刷，并且不需要如以往般的附属设备(切换装置)，网版印刷装置能够单独地从双系统的上游侧装置接纳基板并且实施印刷且将基板搬出至单系统的下游侧装置。
[0293]在该网版印刷装置中，以对由设置在所述送出位置的所述各基板支撑机构所支撑的基板实施印刷的方式设置。
[0294]该网版印刷装置中，在利用共用的印刷执行部对从第一、第二基板搬入位置(双系统的上游侧装置)搬入的基板进行印刷的情况下将基板搬出。
[0295]另外，所述印刷执行部所述印刷执行部也可包括对由设置在所述第一接受位置的所述第一基板支撑机构所支撑的基板实施印刷的第一印刷执行部、及对由设置在所述第二接受位置的所述第二基板支撑机构所支撑的基板实施印刷的第二印刷执行部。
[0296]该网版印刷装置中，在搬入基板的每个基板搬入位置，利用不同的印刷执行部对基板进行印刷并将基板搬出。因此，能够在对从双系统的上游侧装置搬入的基板分别进行不同图案的印刷的情况下将基板搬出。
[0297]另外，本发明另一方面所涉及的网版印刷装置包括:印刷执行部，位于沿特定方向排列的基板搬入位置与基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷；基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且使印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出；其中，以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬出位置与第二基板搬出位置以作为所述基板搬出位置，并且在Y轴方向上且在这些第一、第二基板搬出位置之间的位置设定所述基板搬入位置，所述基板支撑机构包括分别沿Y轴方向能够移动地设置的第一基板支撑机构以及第二基板支撑机构，所述第一基板支撑机构在其可移动区域内在能够接受从所述基板搬入位置搬入的基板的接受位置与能够供基板从所述第一基板搬出位置搬出的第一送出位置之间移动，所述第二基板支撑机构在其可移动区域内在所述接受位置与能够供基板从所述第二基板搬出位置搬出的第二送出位置之间移动，这些第一基板支撑机构及第二基板支撑机构，以所述第一基板支撑机构及所述第二基板支撑机构的任一侧的基板支撑机构位于彼此的所述可移动区域的一部分重叠的共用区域的区域内时，另一侧的基板支撑机构位于所述可移动区域内且避开所述一侧的基板支撑机构的位置的方式设置，所述印刷执行部设置在能够对由所述各基板支撑机构所支撑的基板实施网版印刷的位置。
[0298]该网版印刷装置中，从基板搬入位置搬入的基板被接纳于设置在成为第一基板支撑机构的可移动区域与第二基板支撑机构的可移动区域彼此的一部分重叠的共用区域内的接受位置的第一基板支撑机构或第二基板支撑机构，且在被支撑于该支撑机构的台上的状态下被实施印刷。并且，在基板被接纳于第一基板支撑机构而被实施印刷时，在该第一基板支撑机构被设置于第一送出位置的状态下，从该第一基板支撑机构将基板送出，从而将印刷后的基板从第一基板搬出位置搬出，另一方面，在基板被接纳于第二基板支撑机构而被实施印刷时，在该第二基板支撑机构被设置于第二送出位置的状态下，从该第二基板支撑机构将基板送出，从而将印刷后的基板从第二基板搬出位置搬出。即，该网版印刷装置中，当基板被接纳于被设置在位于共用区域内的接受位置的第一基板支撑机构时，支撑印刷后的基板的第二基板支撑机构位于其所述可移动区域内避开第一基板支撑机构的第二送出位置，当基板被接纳于被设置在位于共用区域内的接受位置的第二基板支撑机构时，支撑印刷后的基板的第一基板支撑机构位于其可移动区域内避开第二基板支撑机构的第一送出位置。根据该网版印刷装置，能够使利用两个基板支撑机构的两个印刷工序并行地同时进行，因此能够效率良好地进行印刷，并且不需要如以往般的附属设备(分配装置)，网版印刷装置能够单独地从单系统的上游侧装置接纳基板并且对该基板实施印刷且将基板搬出至双系统的下游侧装置。
[0299]在该网版印刷装置中，所述印刷执行部以对由设置在所述接受位置的所述各基板支撑机构所支撑的基板实施印刷的方式设置。
[0300]该网版印刷装置中，在由共用的印刷执行部对从基板搬入位置搬入的基板进行印刷的情况下将基板从第一或第二基板搬出位置搬出。
[0301]另外，所述印刷执行部也可包括对由设置在所述第一送出位置的所述第一基板支撑机构所支撑的基板实施印刷的第一印刷执行部、及对由设置在所述第二送出位置的所述第二基板支撑机构所支撑的基板实施印刷的第二印刷执行部。
[0302]该网版印刷装置中，对应于基板被搬出的基板搬出位置，利用不同的印刷执行部来进行印刷。因此，能够在对从单系统的上游侧装置搬入的基板进行不同图案的印刷的情况下将基板搬出至双系统的下游侧装置。
[0303]另外，在如上所述的网版印刷装置中，较为理想的是，所述基板支撑机构包括接纳从所述基板搬入位置搬入的基板并且从所述基板搬出位置搬出印刷后的基板的输送带、及沿该输送带搬送基板W的基板搬送方向能够移动地设置且将基板在从所述输送带被提升的状态下夹持以便能够在所述印刷执行部被印刷的夹持机构，而且所述输送带中的基板搬入位置侧的位置为基板待机位置，另一方面，所述基板搬出位置侧的位置为印刷执行位置，所述夹持机构在所述基板待机位置夹持所述输送带上的基板并使该基板移动到所述印刷执行位置，在该基板的印刷后，在所述印刷执行位置解除夹持状态，以便在基板返回所述输送带上之后，为了夹持后续的基板而移动到所述基板待机位置。
[0304]根据该结构，在通过输送带的驱动从基板搬出位置搬出印刷后的先行基板的期间，能够夹持后续的基板并设置于印刷执行位置，因此能够在先行基板的印刷后，尽快地开始后续基板的印刷。
[0305]另外，本发明另一方面所涉及的网版印刷装置包括:印刷执行部，位于沿特定方向排列的基板搬入位置与基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷；基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且使印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出；控制装置，驱动控制所述基板支撑机构；其中，以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬入位置与第二基板搬入位置以作为所述基板搬入位置，所述印刷执行部包括在一片网版模板上沿Y轴方向并列地形成有两个印刷图案的模板以作为所述网版模板，所述基板支撑机构以在能够接受从所述第一基板搬入位置搬入的基板的第一接受位置、能够接受从所述第二基板搬入位置搬入的基板的第二接受位置、及能够向所述基板搬出送出基板的送出位置的范围能够沿Y轴方向移动的方式设置，所述控制装置使所述基板支撑机构设置于所述第一接受位置或第二接受位置，以便接受从所述第一、第二基板搬入位置搬入的基板，且使所述基板支撑机构相对于所述印刷执行部设置，以便利用所述网版模板的两个印刷图案中的任一印刷图案来对所接受的基板进行印刷，并且使所述基板支撑机构设置于所述送出位置，以便将印刷后的基板送出至所述基板搬出位置。
[0306]该网版印刷装置中，通过将基板支撑机构设置于第一或第二接受位置，从而从第一或第二基板搬出位置择一性地将基板接纳于基板支撑机构，在由该基板支撑机构支撑基板的状态下实施印刷。此时，使基板支撑机构相对于印刷执行部设置，以便利用网版模板的两个印刷图案中的任一侧的印刷图案来进行印刷，从而对基板实施与其种类等相应的图案印刷。并且，将基板支撑机构设置于送出位置，并从该基板支撑机构送出基板，从而从基板搬出位置搬出印刷后的基板。即，根据该网版印刷装置，与以往装置(【背景技术】的专利文献3中公开的网版印刷装置，以下在该栏中相同)同样地，能够利用包含两个印刷图案的网版模板来实施印刷，除此以外，例如即使在双系统的上游侧装置与单系统的下游侧装置之间设置网版印刷装置的情况下，也无须设置如以往般的附属设备(切换装置)，网版印刷装置能够单独地从双系统的上游侧装置接纳基板并且实施印刷且将基板搬出至单系统的下游侧装置。
[0307]另外，也可设定以与所述第一、第二基板搬入位置的排列间距不同的间距沿Y轴方向排列的第一基板搬出位置及第二基板搬出位置以作为所述基板搬出位置，所述基板支撑机构以能够移动到作为所述送出位置的第一送出位置和第二送出位置的方式设置，所述第一送出位置是能够从所述第一基板搬出位置送出基板的位置，所述第二送出位置是能够从所述第二基板搬出位置送出基板的位置，所述控制装置使所述基板支撑机构设置于所述第一送出位置或第二送出位置，以搬出印刷后的基板。
[0308]该网版印刷装置的结构中，从所述第一、第二基板搬入位置接纳基板，并且实施印刷，且从以与所述第一、第二基板搬入位置不同的间距而设置的第一、第二基板搬出位置搬出基板。因此，根据该网版印刷装置，即使在设置于双系统的上游侧装置与双系统的下游侧装置之间且上游侧装置的各基板搬送线的线间间距与下游侧装置的各基板搬送线的线间间距不同的情况下，也无须设置如以往般的附属设备(中继装置)，该网版印刷能够单独地从上游侧装置接纳基板并且实施印刷且将基板搬出至下游侧装置。
[0309]另外，本发明另一方面所涉及的网版印刷装置包括:印刷执行部，位于沿特定方向排列的基板搬入位置与基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷；基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且使印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出；控制装置，驱动控制所述基板支撑机构；其中，以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬出位置与第二基板搬出位置以作为所述基板搬出位置，所述印刷执行部包括在一片网版模板上沿Y轴方向并列地形成有两个印刷图案的模板以作为所述网版模板，所述基板支撑机构以在能够接受从所述基板搬入位置搬入的基板的接受位置、能够从所述第一基板搬出位置送出基板的第一送出位置、及能够从所述第二基板搬出位置送出基板的第二送出位置的范围能够沿Y轴方向移动的方式设置，所述控制装置使所述基板支撑机构设置于所述接受位置，以便接受从所述基板搬入位置搬入的基板，且使所述基板支撑机构相对于所述印刷执行部设置，以便利用所述网版模板的两个印刷图案中的任一印刷图案来对所接受的基板进行印刷，并且使所述基板支撑机构设置于所述第一送出位置或第二送出位置，以便从所述第一、第二基板搬出位置中的一侧搬出印刷后的基板。
[0310]该网版印刷装置中，将基板支撑机构设置于接受位置，从而将基板收纳于基板支撑部件，且在由该基板支撑机构支撑基板的状态下实施印刷。此时，使基板支撑机构相对于印刷执行部设置，以便利用网版模板的两个印刷图案中的任一侧的印刷图案来进行印刷，从而对基板实施与其种类等相应的图案印刷。并且，在基板支撑机构设置于第一或第二送出位置的状态下，从该基板支撑机构送出基板，从而从第一或第二基板搬出位置选择性地搬出印刷后的基板。根据这样的网版印刷装置，与以往装置同样地能够利用包含两个印刷图案的网版模板来实施印刷，除此以外，例如即使在单系统的上游侧装置与双系统的下游侧装置之间设置网版印刷装置的情况下，也无须设置如以往般的附属设备(分配装置)，网版印刷装置能够单独地从单系统的上游侧装置接纳基板并且实施印刷且将基板搬出至双系统的下游侧装置。
[0311]另外，本发明另一方面所涉及的网版印刷装置包括:印刷执行部，位于沿特定方向排列的基板搬入位置与基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷；基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且使印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出；控制装置，驱动控制所述基板支撑机构；其中，以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬入位置与第二基板搬入位置以作为所述基板搬入位置，所述基板支撑机构包含分别沿Y轴方向能够移动地设置的第一基板支撑机构以及第二基板支撑机构，所述第一基板支撑机构在能够接受从所述第一基板搬入位置搬入的基板的第一接受位置与能够向所述基板搬出位置送出基板的送出位置之间移动，所述第二基板支撑机构在能够接受从所述第二基板搬入位置搬入的基板的第二接受位置与所述送出位置之间移动，所述印刷执行部包括在一片网版模板上沿Y轴方向并列地形成有两个印刷图案的模板以作为所述网版模板，所述控制装置使所述第一基板支撑机构设置于所述第一接受位置，以便接受从所述第一基板搬入位置搬入的基板，且使所述第一基板支撑机构相对于所述印刷执行部设置，以便利用所述网版模板的两个印刷图案中的任一印刷图案来对所接受的基板进行印刷，并且使所述第一基板支撑机构设置于所述送出位置，以便将印刷后的基板送出至所述基板搬出位置，另一方面，所述控制装置使所述第二基板支撑机构设置于所述第二接受位置，以便接受从所述第二基板搬入位置搬入的基板，且使所述第二基板支撑机构相对于所述印刷执行部设置，以便利用所述网版模板的两个印刷图案中的任一印刷图案来对所接受的基板进行印刷，并且使所述第二基板支撑机构设置于所述送出位置，以便将印刷后的基板送出至所述基板搬出位置。
[0312]该网版印刷装置中，从第一基板搬入位置搬入的基板被接纳于设置在第一接受位置的第一基板支撑机构，在由该第一基板支撑机构予以支撑的状态下被实施印刷。此时，使第一基板支撑机构相对于印刷执行部设置，以便利用网版模板的两个印刷图案中的一侧的印刷图案进行印刷，从而对基板实施与其种类等相应的图案印刷。并且，该第一基板支撑机构被设置于送出位置，基板被送出，从而从基板搬出位置搬出印刷后的基板。另一方面，从第二基板搬入位置搬入的基板被接纳于设置在第二接受位置的第二基板支撑机构，在由该第二基板支撑机构予以支撑的状态下被实施印刷。此时，也使基板支撑机构相对于印刷执行部设置，以便利用网版模板的两个印刷图案中的一侧的印刷图案进行印刷，从而对基板实施与其种类等相应的图案印刷。并且，该第二基板支撑机构被设置于送出位置，基板被送出，从而从基板搬出位置搬出印刷后的基板。即，根据该网版印刷装置，与以往装置同样地能够利用包含两个印刷图案的网版模板来实施印刷，除此以外，例如即使在双系统的上游侧装置与单系统的下游侧装置之间设置网版印刷装置的情况下，也无须设置如以往般的附属设备(切换装置)，网版印刷装置能够单独地从双系统的上游侧装置接纳基板并且实施印刷且将基板搬出至单系统的下游侧装置。[0313]另外，也可设定以与所述第一、第二基板搬入位置的排列间距不同的间距沿Y轴方向排列的第一基板搬出位置及第二基板搬出位置以作为所述基板搬出位置，所述第一基板支撑机构以能够移动到作为所述送出位置的第一送出位置的方式设置，所述第一送出位置是能够向所述第一基板搬出位置送出基板的位置，另一方面，所述第二基板支撑机构以能够移动到作为所述送出位置的第二送出位置的方式设置，所述第二送出位置是能够向所述第二基板搬出部送出基板的位置，所述控制装置使所述第一基板支撑机构设置于所述第一送出位置，以便将由所述第一基板支撑机构所支撑的印刷后的基板送出至所述第一基板搬出位置，另一方面，使所述第二基板支撑机构设置于所述第二送出位置，以便将由所述第二基板支撑机构所支撑的印刷后的基板送出至所述第二基板搬出位置。
[0314]该网版印刷装置的结构中，通过将第一基板支撑机构设置于第一送出位置，从而将由该第一基板支撑机构所支撑的印刷后的基板送出至第一基板搬出位置，另一方面，通过将第二基板支撑机构设置于第二送出位置，从而将由该第二基板支撑机构所支撑的印刷后的基板送出至第二基板搬出位置。由此，印刷后的基板从以与所述第一、第二基板搬入位置不同的间距来设置的第一、第二基板搬出位置搬出。因此，根据该网版印刷装置，即使在设置于双系统的上游侧装置与双系统的下游侧装置之间且上游侧装置的各基板搬送线的线间间距与元件安装装置的各基板搬送线的线间间距不同的情况下，也无须设置如以往般的附属设备(中继装置)，该网版印刷能够单独地从上游侧装置接纳基板并且实施印刷且将基板搬出至下游侧装置。
[0315]另外，本发明另一方面所涉及的网版印刷装置包括:印刷执行部，位于沿特定方向排列的基板搬入位置与基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷；基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且使印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出；控制装置，驱动控制所述基板支撑机构；其中，以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬出位置与第二基板搬出位置以作为所述基板搬出位置，所述基板支撑机构包括分别沿Y轴方向能够移动地设置的第一基板支撑机构以及第二基板支撑机构，所述第一基板支撑机构在能够接受从所述基板搬入位置搬入的基板的接受位置与能够向所述第一基板搬出位置送出基板的第一送出位置之间移动，所述第二基板支撑机构在所述接受位置与能够向所述第二基板搬出位置送出基板的第二送出位置之间移动，所述印刷执行部包括在一片网版模板上沿Y轴方向并列地形成有两个印刷图案的模板以作为所述网版模板，所述控制装置使所述第一基板支撑机构设置于所述接受位置，以便接受从所述基板搬入位置搬入的基板，且使所述第一基板支撑机构相对于所述印刷执行部设置，以便利用所述网版模板的两个印刷图案中的任一印刷图案来对所接受的基板进行印刷，并且使所述第一基板支撑机构设置于所述第一送出位置，以便将印刷后的基板送出至所述第一基板搬出位置，另一方面，所述控制装置使所述第二基板支撑机构设置于所述接受位置，以便接受从所述基板搬入位置搬入的基板，且使所述第二基板支撑机构相对于所述印刷执行部设置，以便利用所述网版模板的两个印刷图案中的任一印刷图案来对所接受的基板进行印刷，并且使所述第二基板支撑机构设置于所述第二送出位置，以便将印刷后的基板送出至所述第二基板搬出位置。
[0316]该网版印刷装置中，从基板搬入位置搬入的基板被接纳于设置在接受位置的第一基板支撑机构或第二基板支撑机构，在由该基板支撑机构予以支撑的状态下被实施印刷。此时，使基板支撑机构相对于印刷执行部设置，以便利用网版模板的两个印刷图案中的一侧的印刷图案来进行印刷，从而对基板实施与其种类等相应的图案印刷。并且，在基板被接纳于第一基板支撑机构且被实施了印刷时，在该第一基板支撑机构被设置于第一送出位置的状态下，从该第一基板支撑机构送出基板，从而从第一基板搬出位置搬出印刷后的基板，另一方面，在基板被接纳于第二基板支撑机构且被实施了印刷时，在该第二基板支撑机构被设置于第二送出位置的状态下，从该第二基板支撑机构送出基板，从而从第二基板搬出位置搬出印刷后的基板。根据这样的网版印刷装置，与以往装置同样地能够利用包含两个印刷图案的网版模板来实施印刷，除此以外，例如即使在单系统的上游侧装置与双系统的下游侧装置之间设置网版印刷装置的情况下，也无须设置如以往般的附属设备(分配装置)，网版印刷装置能够单独地从单系统的上游侧装置接纳基板并且实施印刷且将基板搬出至双系统的下游侧装置。
[0317]产业上的可利用性
[0318]如上所述，本发明所涉及的网版印刷装置不需要分配装置等附属设备而能够设置在单搬送型的装置与双搬送型的装置等之间，在元件安装基板的制造领域中具有实用性。
【权利要求】
1.一种网版印刷装置，其特征在于包括: 印刷执行部，位于沿特定方向排列的能够供基板搬入的基板搬入位置与能够供印刷后的基板搬出的基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷； 基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且将印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出； 控制装置，控制所述基板支撑机构；其中， 以所述特定方向作为X轴方向时，所述基板支撑机构包括分别沿与X轴方向正交的Y轴方向能够移动地并列设置且具有彼此的可移动区域的一部分重叠的共用区域的第一基板支撑机构及第二基板支撑机构， 所述控制装置控制所述第一基板支撑机构及所述第二基板支撑机构，执行第一动作控制、第二动作控制及第三动作控制中的任一控制，其中，所述第一动作控制是从分别作为所述基板搬入位置被预先设定在Y轴方向的互不相同的位置且比所述共用区域更外侧的位置的第一基板搬入位置及第二基板搬入位置接受基板，并且将印刷处理后的基板从位于所述共用区域内的所述基板搬出位置搬出的控制，所述第二动作控制是从位于所述共用区域内的基板搬入位置接受基板，并且将印刷处理后的基板从分别作为所述基板搬出位置被预先设定在Y轴方向的互不相同的位置且比所述共用区域更外侧的位置的第一基板搬出位置及第二基板搬出位置搬出的控制，所述第三动作控制是从分别作为所述基板搬入位置被预先设定在Y轴方向的互 不相同的位置且位于所述共用区域内的第一基板搬入位置及第二基板搬入位置接受基板，并且将印刷处理后的基板从分别作为所述基板搬出位置被预先设定在所述Y轴方向的互不相同的位置且位于所述共用区域内的第一基板搬出位置及第二基板搬出位置搬出的控制， 所述印刷执行部设置在能够对由所述各基板支撑机构所支撑的基板实施网版印刷的位置。
2.根据权利要求1所述的网版印刷装置，其特征在于: 所述第一基板支撑机构及第二基板支撑机构分别包括沿所述X轴方向相互平行地延伸且接受从所述基板搬入位置搬入的基板并且从所述基板搬出位置搬出印刷后的基板的一对输送带、及能够变更这些输送带的间隔的输送带宽度可变机构， 所述输送带宽度可变机构通过以各基板支撑台的一对输送带中与另一对输送带相互靠近的一侧的输送带作为基准而使另一侧的输送带沿所述Y轴方向位移来改变输送带的间隔。
3.一种网版印刷装置，其特征在于包括: 印刷执行部，位于沿特定方向排列的能够供基板搬入的基板搬入位置与能够供印刷后的基板搬出的基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷； 基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且将印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出；其中， 以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬入位置与第二基板搬入位置以作为所述基板搬入位置，或者在Y轴方向上且在这些第一、第二基板搬入位置之间的位置设定所述基板搬出位置， 所述基板支撑机构包括分别沿Y轴方向能够移动地并列设置且具有彼此的可移动区域的一部分重叠的共用区域的第一基板支撑机构及第二基板支撑机构， 这些第一基板支撑机构及第二基板支撑机构，以该两个基板支撑机构中一侧的基板支撑机构在被设置在能够接受从所述基板搬入位置搬入的基板的位置的状态下、或者被设置在能够从所述基板搬出位置搬出印刷后的基板的位置的状态下，该一侧的基板位于所述共用区域内，另一方面另一侧的基板支撑机构位于所述可移动区域中避开所述一侧的基板支撑机构的位置的方式设置， 所述印刷执行部设置在能够对由所述各基板支撑机构所支撑的基板实施网版印刷的位置。
4.一种网版印刷装置，其特征在于包括: 印刷执行部，位于沿特定方向排列的基板搬入位置与基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷； 基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且使印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出；其中， 以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬入位置与第二基板搬入位置以作为所述基板搬入位置，并且在Y轴方向上且在这些第一、第二基板搬入位置之间的位置设定所述基板搬出位置， 所述基板支撑机构包括分别沿Y轴方向能够移动地设置的第一基板支撑机构以及第二基板支撑机构，所述第一基板支撑机构在其可移动区域内在能够接受从所述第一基板搬入位置搬入的基板的第一接受位置与能够供基板从所述基板搬出位置搬出的送出位置之间移动，所述第二基板支撑机构在其可移动区域内在能够接受从所述第二基板搬入位置搬入的基板的第二接受位置与所述送出位置之间移动，这些第一基板支撑机构及第二基板支撑机构，以该第一基板支撑机构及所述第二基板支撑机构的任一侧的基板支撑机构位于彼此的所述可移动区域的一部分重叠的共用区域的区域内时，另一侧的基板支撑机构位于所述可移动区域内且避开所述一侧的基板支撑机构的位置的方式设置， 所述印刷执行部设置在能够对由所述各基板支撑机构所支撑的基板实施网版印刷的位置。
5.根据权利要求4所述的网版印刷装置，其特征在于: 所述印刷执行部以对由设置在所述送出位置的所述各基板支撑机构所支撑的基板实施印刷的方式设置。
6.根据权利要求4所述的网版印刷装置，其特征在于: 所述印刷执行部包括对由设置在所述第一接受位置的所述第一基板支撑机构所支撑的基板实施印刷的第一印刷执行部、及对由设置在所述第二接受位置的所述第二基板支撑机构所支撑的基板实施印刷的第二印刷执行部。
7.一种网版印刷装置，其特征在于包括: 印刷执行部，位于沿特定方向排列的基板搬入位置与基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷； 基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且使印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出；其中， 以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬出位置与第二基板搬出位置以作为所述基板搬出位置，并且在Y轴方向上且在这些第一、第二基板搬出位置之间的位置设定所述基板搬入位置， 所述基板支撑机构包括分别沿Y轴方向能够移动地设置的第一基板支撑机构以及第二基板支撑机构，所述第一基板支撑机构在其可移动区域内在能够接受从所述基板搬入位置搬入的基板的接受位置与能够供基板从所述第一基板搬出位置搬出的第一送出位置之间移动，所述第二基板支撑机构在其可移动区域内在所述接受位置与能够供基板从所述第二基板搬出位置搬出的第二送出位置之间移动，这些第一基板支撑机构及第二基板支撑机构，以所述第一基板支撑机构及所述第二基板支撑机构的任一侧的基板支撑机构位于彼此的所述可移动区域的一部分重叠的共用区域的区域内时，另一侧的基板支撑机构位于所述可移动区域内且避开所述一侧的基板支撑机构的位置的方式设置， 所述印刷执行部设置在能够对由所述各基板支撑机构所支撑的基板实施网版印刷的位置。
8.根据权利要求7所述的网版印刷装置，其特征在于: 所述印刷执行部以对由设置在所述接受位置的所述各基板支撑机构所支撑的基板实施印刷的方式设置。
9.根据权利要求7所述的网版印刷装置，其特征在于: 所述印刷执行部包括对由设置在所述第一送出位置的所述第一基板支撑机构所支撑的基板实施印刷的第一印刷执行部、及对由设置在所述第二送出位置的所述第二基板支撑机构所支撑的基板实施印刷的第二印刷执行部。
10.根据权利要求4至9中任一项所述的网版印刷装置，其特征在于: 所述基板支撑机构包括接纳从所述基板搬入位置搬入的基板并且从所述基板搬出位置搬出印刷后的基板的输送带、及沿该输送带搬送基板W的基板搬送方向能够移动地设置且将基板在从所述输送带被提升的`状态下夹持以便能够在所述印刷执行部被印刷的夹持机构，而且所述输送带中的基板搬入位置侧的位置为基板待机位置，另一方面，所述基板搬出位置侧的位置为印刷执行位置， 所述夹持机构在所述基板待机位置夹持所述输送带上的基板并使该基板移动到所述印刷执行位置，在该基板的印刷后，在所述印刷执行位置解除夹持状态，以便在基板返回所述输送带上之后，为了夹持后续的基板而移动到所述基板待机位置。
11.一种网版印刷装置，其特征在于包括: 印刷执行部，位于沿特定方向排列的基板搬入位置与基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷； 基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且使印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出； 控制装置，驱动控制所述基板支撑机构；其中， 以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬入位置与第二基板搬入位置以作为所述基板搬入位置， 所述印刷执行部包括在一片网版模板上沿Y轴方向并列地形成有两个印刷图案的模板以作为所述网版模板， 所述基板支撑机构以在能够接受从所述第一基板搬入位置搬入的基板的第一接受位置、能够接受从所述第二基板搬入位置搬入的基板的第二接受位置、及能够向所述基板搬出送出基板的送出位置的范围能够沿Y轴方向移动的方式设置， 所述控制装置使所述基板支撑机构设置于所述第一接受位置或第二接受位置，以便接受从所述第一、第二基板搬入位置搬入的基板，且使所述基板支撑机构相对于所述印刷执行部设置，以便利用所述网版模板的两个印刷图案中的任一印刷图案来对所接受的基板进行印刷，并且使所述基板支撑机构设置于所述送出位置，以便将印刷后的基板送出至所述基板搬出位置。
12.根据权利要求11所述的网版印刷装置，其特征在于: 设定以与所述第一、第二基板搬入位置的排列间距不同的间距沿Y轴方向排列的第一基板搬出位置及第二基板搬出位置以作为所述基板搬出位置， 所述基板支撑机构以能够移动到作为所述送出位置的第一送出位置和第二送出位置的方式设置，所述第一送出位置是能够从所述第一基板搬出位置送出基板的位置，所述第二送出位置是能够从所述第二基板搬出位置送出基板的位置， 所述控制装置使所述基板支撑机构设置于所述第一送出位置或第二送出位置，以搬出印刷后的基板。
13.一种网版印刷装置，其特征在于包括: 印刷执行部 ，位于沿特定方向排列的基板搬入位置与基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷； 基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且使印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出； 控制装置，驱动控制所述基板支撑机构；其中， 以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬出位置与第二基板搬出位置以作为所述基板搬出位置， 所述印刷执行部包括在一片网版模板上沿Y轴方向并列地形成有两个印刷图案的模板以作为所述网版模板， 所述基板支撑机构以在能够接受从所述基板搬入位置搬入的基板的接受位置、能够从所述第一基板搬出位置送出基板的第一送出位置、及能够从所述第二基板搬出位置送出基板的第二送出位置的范围能够沿Y轴方向移动的方式设置， 所述控制装置使所述基板支撑机构设置于所述接受位置，以便接受从所述基板搬入位置搬入的基板，且使所述基板支撑机构相对于所述印刷执行部设置，以便利用所述网版模板的两个印刷图案中的任一印刷图案来对所接受的基板进行印刷，并且使所述基板支撑机构设置于所述第一送出位置或第二送出位置，以便从所述第一、第二基板搬出位置中的一侧搬出印刷后的基板。
14.一种网版印刷装置，其特征在于包括: 印刷执行部，位于沿特定方向排列的基板搬入位置与基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷； 基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且使印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出； 控制装置，驱动控制所述基板支撑机构；其中，以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬入位置与第二基板搬入位置以作为所述基板搬入位置， 所述基板支撑机构包含分别沿Y轴方向能够移动地设置的第一基板支撑机构以及第二基板支撑机构，所述第一基板支撑机构在能够接受从所述第一基板搬入位置搬入的基板的第一接受位置与能够向所述基板搬出位置送出基板的送出位置之间移动，所述第二基板支撑机构在能够接受从所述第二基板搬入位置搬入的基板的第二接受位置与所述送出位置之间移动， 所述印刷执行部包括在一片网版模板上沿Y轴方向并列地形成有两个印刷图案的模板以作为所述网版模板， 所述控制装置使所述第一基板支撑机构设置于所述第一接受位置，以便接受从所述第一基板搬入位置搬入的基板，且使所述第一基板支撑机构相对于所述印刷执行部设置，以便利用所述网版模板的两个印刷图案中的任一印刷图案来对所接受的基板进行印刷，并且使所述第一基板支撑机构设置于所述送出位置，以便将印刷后的基板送出至所述基板搬出位置，另一方面，所述控制装置使所述第二基板支撑机构设置于所述第二接受位置，以便接受从所述第二基板搬入位置搬入的基板，且使所述第二基板支撑机构相对于所述印刷执行部设置，以便利用所述网版模板的两个印刷图案中的任一印刷图案来对所接受的基板进行印刷，并且使所述第二基板支撑机构设置于所述送出位置，以便将印刷后的基板送出至所述基板搬出位置。
15.根据权利要求14所述的网版印刷装置，其特征在于: 设定以与所述第一、第二 基板搬入位置的排列间距不同的间距沿Y轴方向排列的第一基板搬出位置及第二基板搬出位置以作为所述基板搬出位置， 所述第一基板支撑机构以能够移动到作为所述送出位置的第一送出位置的方式设置，所述第一送出位置是能够向所述第一基板搬出位置送出基板的位置，另一方面，所述第二基板支撑机构以能够移动到作为所述送出位置的第二送出位置的方式设置，所述第二送出位置是能够向所述第二基板搬出部送出基板的位置， 所述控制装置使所述第一基板支撑机构设置于所述第一送出位置，以便将由所述第一基板支撑机构所支撑的印刷后的基板送出至所述第一基板搬出位置，另一方面，使所述第二基板支撑机构设置于所述第二送出位置，以便将由所述第二基板支撑机构所支撑的印刷后的基板送出至所述第二基板搬出位置。
16.一种网版印刷装置，其特征在于包括: 印刷执行部，位于沿特定方向排列的基板搬入位置与基板搬出位置之间，用于对基板实施网版印刷； 基板支撑机构，接受从所述基板搬入位置搬入的基板，将该基板以能够在所述印刷执行部被印刷的方式予以支撑，并且使印刷后的该基板从所述基板搬出位置搬出； 控制装置，驱动控制所述基板支撑机构；其中， 以所述特定方向作为X轴方向时，设定沿与X轴方向正交的Y轴方向排列的第一基板搬出位置与第二基板搬出位置以作为所述基板搬出位置， 所述基板支撑机构包括分别沿Y轴方向能够移动地设置的第一基板支撑机构以及第二基板支撑机构，所述第一基板支撑机构在能够接受从所述基板搬入位置搬入的基板的接受位置与能够向所述第一基板搬出位置送出基板的第一送出位置之间移动，所述第二基板支撑机构在所述接受位置与能够向所述第二基板搬出位置送出基板的第二送出位置之间移动， 所述印刷执行部包括在一片网版模板上沿Y轴方向并列地形成有两个印刷图案的模板以作为所述网版模板， 所述控制装置使所述第一基板支撑机构设置于所述接受位置，以便接受从所述基板搬入位置搬入的基板，且使所述第一基板支撑机构相对于所述印刷执行部设置，以便利用所述网版模板的两个印刷图案中的任一印刷图案来对所接受的基板进行印刷，并且使所述第一基板支撑机构设置于所述第一送出位置，以便将印刷后的基板送出至所述第一基板搬出位置，另一方面，所述控制装置使所述第二基板支撑机构设置于所述接受位置，以便接受从所述基板搬入位置搬入的基板，且使所述第二基板支撑机构相对于所述印刷执行部设置，以便利用所述网版模板的两个印刷图案中的任一印刷图案来对所接受的基板进行印刷，并且使所述第二基板支撑机构设置于所述第二送出位置，以便将印刷后的基板送出至所述第二基板搬出位置。
【文档编号】H05K3/34GK103619594SQ201180071792
【公开日】2014年3月5日 申请日期:2011年6月21日 优先权日:2011年6月21日
【发明者】佐藤利道 申请人:雅马哈发动机株式会社