专利名称：一种蓝宝石晶体生长炉漏炉报警装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及蓝宝石晶体生长炉的加工制造，尤其是一种蓝宝石晶体生长炉漏炉报
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背景技术：
当前，蓝宝石晶体生长炉普遍采用双层水冷外壳作为炉壳，内加装隔热屏，隔热屏内放置发热体和钨坩埚，因工作温度高，可达1500-2200摄氏度，普通的材料难以承受这么高的温度，故普遍采用钨钥材料作为晶体生长炉的热场材料，在晶体生长炉内，钨坩埚是盛装原料的容器，普遍采用粉末冶金压制成型，通过烧结达到使用的条件的。虽说此种工艺加工的坩埚性能可靠，但也有一定的使用寿命，并且在晶体生长炉的使用过程中，会有人为的因素导致钨坩埚损坏，甚至开裂，熔融态的氧化铝的泄露甚至会引起烧穿晶体生长炉外壳， 接触液态的水后发生爆炸事故，而目前晶体生长炉无论是俄罗斯的炉型还是美国的炉型均缺少必要的漏炉报警装置。传统的真空设备漏炉报警装置有两种较为常用熔断报警和短路报警。对于蓝宝石晶体生长炉来说，氧化铝的温度远远低于坩埚周围热场的温度，熔断报警并不实用；而氧化铝导电性能差，并且受炉内挥发物的影响，短路报警也不是理想的选择。故使用传统的报警方式并不能保证蓝宝石晶体生长的安全防护。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种蓝宝石晶体生长炉漏炉报警装置，用于提高设备的安全防护能力。为解决上述技术问题，本发明的技术方案为一种蓝宝石晶体生长炉漏炉报警装置，包括盛料槽，盛料槽支柱，压力传感器和数据信号线，其特征在于，所述盛料槽置于下隔热屏之上，发热体之下，是一种边缘带槽的盛装泄漏氧化铝的圆形容器，内径不小于坩埚外径和下发热体的净长度，所述盛料槽通过盛料槽支柱支撑于下炉盖上，所述压力传感器置于下炉盖和盛料槽支柱之间，位于下隔热屏的下部，通过数据信号线将重量信号送入设备工控计算机。上述一种蓝宝石晶体生长炉漏炉报警装置，其特征在于，所述盛料槽支柱采用钨，钥，钽，银及其合金共五种材料中的其中一种加工而成，为一金属棒，直径2mm至20mm。本发明的优点在于使蓝宝石晶体生长炉的安全防护能力进一步升级，大大提高了设备的使用寿命和操作人员的安全保护。
下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明。图I是蓝宝石晶体生长炉整体示意图。图2是盛料槽不意图。
具体实施例方式图I和图2所示，蓝宝石晶体生长炉包括晶体生长炉1，钨坩埚2，坩埚支架3，下隔热屏4，下发热体5，盛料槽6，下炉盖7和升降机构8。蓝宝石晶体生长炉漏炉报警装置包括盛料槽6，盛料槽支柱9，压力传感器11和数据信号线10。盛料槽6置于下隔热屏4之上，下发热体5之下，是一边缘带槽的盛装泄漏氧化铝的圆形容器，内径大于钨坩埚外径和下发热体净长度，盛料槽6通过三根盛料槽支柱9支撑于下炉盖7上，盛料槽支柱9采用钽棒加工而成，直径10mm。三个压力传感器11置于下炉盖7和盛料槽支柱9之间，置于下隔热屏4下部，通过数据信号线10通向炉壳外部和工控计算机连接，将重量信号送入设备工控计算机。钨坩埚2发生泄漏时，液体氧化铝会流入盛料槽6中，当三个压力传感器11任何一个测出的重量在500g至2kg时，即触发晶体生长炉I漏炉报警，系统自动切断加热电源，自动运行紧急停炉程序，警示灯和蜂鸣器同时报警，通知操作人员撤离现场。·
权利要求
1.一种蓝宝石晶体生长炉漏炉报警装置，包括盛料槽，盛料槽支柱，压力传感器和数据信号线，其特征在于，所述盛料槽置于下隔热屏之上，发热体之下，是一种边缘带槽的盛装泄漏氧化铝的圆形容器，内径不小于坩埚外径和下发热体的净长度，所述盛料槽通过盛料槽支柱支撑于下炉盖上，所述压力传感器置于下炉盖和盛料槽支柱之间，位于下隔热屏的下部，通过数据信号线将重量信号送入设备工控计算机。
2.根据权利要求I所述的一种蓝宝石晶体生长炉漏炉报警装置，其特征在于，所述盛料槽支柱米用鹤，钥，钽，银及其合金共五种材料中的其中一种加工而成，为一金属棒，直径2mm 至 20mmo
全文摘要
本发明公开了一种蓝宝石晶体生长炉漏炉报警装置，包括盛料槽，盛料槽支柱，压力传感器和数据信号线。本实用发明使蓝宝石晶体生长炉的安全防护能力进一步升级，大大提高了设备的使用寿命和操作人员的安全保护。
文档编号C30B35/00GK102953125SQ20121045800
公开日2013年3月6日 申请日期2012年11月14日 优先权日2012年11月14日
发明者滑喜宝 申请人:吴江亿泰真空设备科技有限公司