一种新型晶体炉热场的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及晶体制作加工技术领域，尤其涉及一种新型晶体炉热场。
【背景技术】
[0002]在晶体生长技术领域，热场分布、均匀性等指标决定着晶体生长的质量。而热场主要由晶体加热器和保温层组成。目前晶体加热器一般分为以下几种:鸟笼式一由钨棒组成鸟笼形状；瓦片式一由钨丝网或钨片组成的加热器；笼装加热器一有钨片或者石墨制成；绕线式感应加热利用感应磁场产生感应电流加热。
[0003]针对笼装加热器，其加热一般是从侧面加热，这样就非常有可能在顶部的中心形成一个冷点，对于从底部生长的晶体会产生过高的生长界面，降低晶体的品质。虽然能够通过增加上加热器解决这个问题，但这样会极大的增加成本，并且由于大部分晶体需要从上部取出，增加上加热器，会带来很多电气和操作问题。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型主要是解决现有技术中所存在的技术问题，从而提供一种增加顶部热辐射、减小了晶体生长的固液界面且能提高顶部良率的新型晶体炉热场。
[0005]本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:
[0006]本实用新型提供的新型晶体炉热场，包括笼式加热器，所述笼式加热器的上部圆周方向上设有多个电极，所述笼式加热器的顶部设有一盖板，所述盖板由相互独立的多个连接挡板组成，多个所述连接挡板与多个所述电极一一对应，每个所述连接挡板包括连接体和扇形挡板体，所述连接体套设在对应的所述电极上，且与所述电极固定连接，多个所述扇形挡板体处于同一平面内，且相邻的所述扇形挡板体之间还设有一间隙。
[0007]进一步地，所述连接体的内侧面为弧面，其外侧面为平面，所述内侧面与所述笼式加热器的外表面相配合。
[0008]进一步地，所述连接体和扇形挡板体一体式成型，且其采用与所述笼式加热器相同的材料制作而成。
[0009]进一步地，所述电极的数量为三个，且沿所述笼式加热器的圆周方向上平均分布。
[0010]进一步地，相邻的所述扇形挡板体之间的间隙大小为5-10mm。
[0011]进一步地，每个所述扇形挡板体的顶端还设有一圆弧形缺口。
[0012]本实用新型的有益效果在于:当通电加热时，笼式加热器上的热量会部分的从连接体传导至扇形挡板体，通过扇形挡板体增加晶体顶部的热辐射，其减小了晶体生长的固液界面，增加顶部平整度，提高顶部良率。
【附图说明】
[0013]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是本实用新型的新型晶体炉热场的使用状态图；
[0015]图2是本实用新型的新型晶体炉热场的连接挡板的结构示意图。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0017]参阅图1-2所示，本实用新型的新型晶体炉热场，包括笼式加热器1，笼式加热器1的上部圆周方向上设有多个电极2，本实用新型中，笼式加热器1采用的是三相电，所以电极2的数量可设为三个，且沿笼式加热器1的圆周方向上平均分布。笼式加热器1的顶部设有一盖板，盖板由相互独立的多个连接挡板3组成，多个连接挡板3与多个电极2 —一对应，每个连接挡板3包括连接体4和扇形挡板体5，连接体4套设在对应的电极2上，且与电极2固定连接，多个扇形挡板体5处于同一平面内，且相邻的扇形挡板体5之间还设有一间隙8。本实用新型中，设置的间隙8主要为了防止多个扇形挡板体5之间相互导电，优选的，该间隙8大小为5-10mm。并且为了进一步防止导电，每个扇形挡板体5的顶端还设有一圆弧形缺口 9。其中，扇形挡板体5的厚度以实际需要的跨度进行合理设定，确保其坚固性即可。
[0018]具体的，为了提高连接体4与笼式加热器1的贴合度，提高热传导效率，连接体4的内侧面6为弧面，内侧面6与笼式加热器1的外表面相配合。连接体4的外侧面7为平面，主要为了方便螺栓的紧固和锁紧。
[0019]为了减少工序，方便加工，连接体4和扇形挡板体5—体式成型，且其采用与笼式加热器1相同的材料制作而成，避免改变笼式加热器1的电阻率。
[0020]综上，本实用新型的优点在于:
[0021]1)、增加了晶体顶部的热辐射，减小了晶体生长的固液界面(降低5%左右)，增加顶部平整度，提高了顶部良率(增加15%以上)。
[0022]2)、不需要新增电路控制系统，只使用和笼式加热器1接触的连接挡板3，电流不产生回路，不会因电阻变化，影响功率。
[0023]3)、在密闭的环境中增加不和外界接触的连接挡板3，因此并不引入冷源，不会增加功率的消耗。
[0024]以上，仅为本实用新型的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
【主权项】
1.一种新型晶体炉热场，包括笼式加热器(1)，所述笼式加热器(1)的上部圆周方向上设有多个电极(2)，其特征在于:所述笼式加热器(1)的顶部设有一盖板，所述盖板由相互独立的多个连接挡板(3)组成，多个所述连接挡板(3)与多个所述电极(2) —一对应，每个所述连接挡板(3)包括连接体(4)和扇形挡板体(5)，所述连接体(4)套设在对应的所述电极(2)上，且与所述电极(2)固定连接，多个所述扇形挡板体(5)处于同一平面内，且相邻的所述扇形挡板体(5)之间还设有一间隙(8)。2.如权利要求1所述的新型晶体炉热场，其特征在于:所述连接体⑷的内侧面(6)为弧面，其外侧面(7)为平面，所述内侧面(6)与所述笼式加热器(1)的外表面相配合。3.如权利要求2所述的新型晶体炉热场，其特征在于:所述连接体(4)和扇形挡板体(5) 一体式成型，且其采用与所述笼式加热器(1)相同的材料制作而成。4.如权利要求3所述的新型晶体炉热场，其特征在于:所述电极(2)的数量为三个，且沿所述笼式加热器(1)的圆周方向上平均分布。5.如权利要求4所述的新型晶体炉热场，其特征在于:相邻的所述扇形挡板体(4)之间的间隙(8)大小为5-10_。6.如权利要求1所述的新型晶体炉热场，其特征在于:每个所述扇形挡板体(5)的顶端还设有一圆弧形缺口(9)。
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型晶体炉热场，包括笼式加热器，所述笼式加热器的上部圆周方向上设有多个电极，所述笼式加热器的顶部设有一盖板，所述盖板由相互独立的多个连接挡板组成，多个所述连接挡板与多个所述电极一一对应，每个所述连接挡板包括连接体和扇形挡板体，所述连接体套设在对应的所述电极上，且与所述电极固定连接，多个所述扇形挡板体处于同一平面内，且相邻的所述扇形挡板体之间还设有一间隙。本实用新型中，当通电加热时,笼式加热器上的热量会部分的从连接体传导至扇形挡板体,通过扇形挡板体增加晶体顶部的热辐射，其减小了晶体生长的固液界面，增加顶部平整度，提高顶部良率。
【IPC分类】C30B35/00
【公开号】CN205062236
【申请号】CN201520781384
【发明人】季泳, 张龚磊
【申请人】贵阳嘉瑜光电科技咨询中心
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年10月10日