一种低压扩散炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种低压扩散炉，属于扩散炉技术领域。
【背景技术】
[0002]扩散炉是太阳能电池片工艺中的一种重要的工艺设备，主要用于掺杂工艺，用于PN结的制备，晶体硅太阳电池PN结质量的优劣直接决定光电转换效率，故而扩散炉是晶体硅太阳电池生产线上的关键工艺设备。
[0003]扩散工艺的要求反应管内温场稳定、气场稳定，但是传统的常压扩散炉在设备的使用过程中存在着一些不足，会影响到扩散工艺质量，主要包括:
[0004]1、由于掺杂原子分压比小，硅片相邻距离小，造成硅片中间的掺杂浓度与边缘之差距较大，扩散工艺质量差，均匀性较低。
[0005]2、扩散炉没有压力控制且密封性不可靠，反应管内的压力和流量受外部环境影响会变化，从而影响到反应管内的温度场和气场的稳定，影响到PN结的质量和批间的重复性。
[0006]3、扩散炉在扩散过程时，液态磷源扩散会产生大量扩散工艺的残留气体(P205 )和废气(C12)。若遇到温度较低的冷空气，其中的水与P205生成偏磷酸、与C12生成盐酸。偏磷酸和盐酸对人体都能造成严重伤害，偏磷酸易潮解生成磷酸，磷酸和盐酸对设备仪器产生腐蚀，影响其使用寿命和工作性能。
[0007]随着扩散技术的不断进步，研究人员发现降低扩散炉内的工作气压会提高扩散炉内的均匀行，避免湍流产生，从而提高扩散的均匀性。
【实用新型内容】
[0008]为克服上述不足，本实用新型目的提供一种低压扩散炉。
[0009]本实用新型的方案如下:一种低压扩散炉，包括炉体，加热组件，石英门，金属密封圈，压力传感器，破真空氮气口，真空接嘴，冷却装置，进气口，尾气回收装置，所述石英门设置在炉体一端，所述加热组件设置在炉体顶部和底部，所述金属密封圈设置在石英门旁，所述压力传感器，破真空氮气口，真空接嘴设置在金属密封圈上，所述冷却装置设置在炉体另一端，所述尾气回收装置设置在冷却装置旁，所述进气口设置在炉体上，所述尾气回收装置通过导管和炉体联通，所述冷却装置设置在导管上，所述尾气回收装置内设置有干栗。
[0010]本实用新型的有益效果:本实用新型在扩散中降低扩散炉管内压力，同时调节温度、时间、气流量，避免湍流产生，从而提高扩散方阻的均匀性，由于扩散方阻均匀性的提高，装片石英舟槽间距设计可降为标准值的一半左右，这样带来的效果是在设备体积不变的情况下产能大幅提升，扩散过程扩散磷源的利用效率提高，扩散磷源的用量大幅降低，节省成本，低压扩散炉与传统常压扩散炉相比，扩散均匀性好，效率有提升并具有产量高、晶格缺陷少、化学品和特气损耗大幅减少、维护周期长。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图对实用新型做进一步说明。
[0013]—种低压扩散炉，包括炉体1，加热组件2，石英门3，金属密封圈4，压力传感器5，破真空氮气口 6，真空接嘴7，冷却装置8，进气口 9，尾气回收装置10，所述石英门3设置在炉体1 一端，所述加热组件2设置在炉体1顶部和底部，所述金属密封圈4设置在石英门3旁，所述压力传感器5，破真空氮气口 6，真空接嘴7设置在金属密封圈4上，所述冷却装置8设置在炉体1另一端，所述尾气回收装置10设置在冷却装置8旁，所述进气口 9设置在炉体1上，所述尾气回收装置10通过导管和炉体1联通，所述冷却装置8设置在导管上，所述尾气回收装置10内设置有干栗。
[0014]尽管上文对本实用新型的【具体实施方式】给予了详细描述和说明，但是应该指明的是，我们可以依据本实用新型的构想对上述实施方式进行各种等效改变和修改，其所产生的功能作用仍未超出说明书及附图所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种低压扩散炉，包括炉体，加热组件，石英门，金属密封圈，压力传感器，破真空氮气口，真空接嘴，冷却装置，进气口，尾气回收装置，其特征在于:所述石英门设置在炉体一端，所述加热组件设置在炉体顶部和底部，所述金属密封圈设置在石英门旁，所述压力传感器，破真空氮气口，真空接嘴设置在金属密封圈上，所述冷却装置设置在炉体另一端，所述尾气回收装置设置在冷却装置旁，所述进气口设置在炉体上。2.根据权利要求1所述一种低压扩散炉，其特征在于:所述尾气回收装置通过导管和炉体联通，所述冷却装置设置在导管上。3.根据权利要求1所述一种低压扩散炉，其特征在于:所述尾气回收装置内设置有干栗ο
【专利摘要】本实用新型公开了一种低压扩散炉，包括炉体，加热组件，石英门，金属密封圈，压力传感器，破真空氮气口，真空接嘴，冷却装置，进气口，尾气回收装置，所述石英门设置在炉体一端，所述加热组件设置在炉体顶部和底部，所述金属密封圈设置在石英门旁，所述压力传感器，破真空氮气口，真空接嘴设置在金属密封圈上，所述冷却装置设置在炉体另一端，所述尾气回收装置设置在冷却装置旁，所述进气口设置在炉体上。本实用新型生产效率高，节省生产用料。
【IPC分类】C30B31/06, H01L31/18
【公开号】CN205062232
【申请号】CN201520787099
【发明人】刘健
【申请人】合肥睿晶科技股份有限公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年10月13日