专利名称：一种新型晶体生长炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种晶体硅生长炉，尤其是一种新型晶体生长炉。
背景技术：
在现有单晶硅加工过程中，根据晶体生长工艺的要求，熔化硅料 时，坩埚必须升降于炉室内的加热区内，晶体生长时坩埚不但要位于 加热区内而且坩埚内液面要与其上方的导流筒保持一定且较近的距 离。制备单晶所需的固体多晶硅料多为块状，熔化前与熔化后所占空 间差别很大，要想让液面与导流筒保持近距离就必须化完料后再调整 两者位置关系，目前，常用的方法是化料后升降坩埚，但炉室内加热 区范围较窄，如增加投料量坩埚将降至超出加热区，坩埚升降幅度受 限。
同时，导流筒的底端面通常位于坩埚的区域内，在向导流筒内加 固体多晶硅料时则须避开导流筒，使加料量减少，影响了生产效率。
实用新型内容
为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种可实现 导流筒与坩埚距离调节的晶体生长炉。
为实现上述目的，本实用新型的新型晶体生长炉，包括炉体、炉 盖、坩埚、导流筒，坩埚位于炉体内部，导流筒位于炉体内坩埚的上 方，炉盖上安装有一个导流筒提升机构。
作为对本实用新型的改进，本实用新型的新型晶体生长炉，导流筒提升'机构包括支撑套筒、丝杠、连接杆、支架，支撑套筒固装在炉 盖外部，丝杠穿过支撑套筒端部的顶盖，丝杠的螺杆部分与连接杆置 于支撑套筒内，连接杆杆内设置内螺纹与丝杠的外螺纹相配合，支架 与连接杆联接，导流筒安装在支架上。
作'为对本实用新型的进一步改进，本实用新型的新型晶体生长 炉，在丝杠的顶端配装有转动手轮，连接杆与支撑套筒间隙处设有轴 瓦，位于连接杆轴瓦的上方设有密封波纹管。
该装置中由于导流筒设有与炉盖相连的提升机构，可按生产需要 将坩埚上方的导流筒进行升降，保证了坩埚内液面要与其上方的导流 筒保持了一定距离，同时增大了坩埚的有效空间，使原料装料量增加 约三分之一，从而使产量增加，经济效益非常明显。
图1为本实用新型的新型晶体生长炉的结构图。
图2为本实用新型的新型生长炉导流筒提升机构的剖视图。
具体实施方式
由图l、图2可知，本实用新型的新型晶体生长炉，包括炉体l、 炉盖2、坩埚3、导流筒4，坩埚3位于炉体1内部，导流筒4位于 炉体l内坩埚3的上方，炉盖2上安装有一个导流筒提升机构，导流 筒提升机构穿过炉盖2， 一部分位于炉盖2内部， 一部分位于炉盖2 外部，支撑套筒9固装在炉盖2外部，丝杠6穿过支撑套筒9端部的 顶盖，丝杠6的螺杆部分与连接杆7置于支撑套筒9内，连接杆7杆 内设置内螺纹与丝杠6的外螺纹相配合，支架8与连接杆7联接，导 流筒4安装在支架8上，在丝杠6的顶端配装有转动手轮5，连接杆7与支撑套筒9间隙处设有轴瓦10，位于连接杆轴瓦10的上方设有 密封波'纹管ll。
装料前，转动手轮5带动丝杠6旋转，通过连接杆7带动支架8 将导流筒4匀速升起后将炉盖2提升旋开，将硅原料装入坩埚3后升 降到加热区内，旋合炉盖2。待原料熔为液体后，转动手轮5匀速降 下导流'筒4置于液面上规定位置。
丝杠的上端可用轴承使其转动灵活省力，上端的支撑套筒9上开 有长方形视口，可定期润滑丝杠副，避免出现卡滞现象。波纹管11 连接密封保证炉体内惰性气体纯度。轴瓦10保证了连接杆7滑动顺 畅、精密。
权利要求1、一种新型晶体生长炉，包括炉体(1)、炉盖(2)、坩埚(3)、导流筒(4)，坩埚(3)位于炉体(1)内部，导流筒(4)位于炉体(1)内坩埚(3)的上方，其特征在于炉盖(2)上安装有一个导流筒提升机构。
2、 根据权利要求1所述的新型晶体生长炉，其特征在于所述 导流筒提升机构包括支撑套筒(9)、丝杠(6)、连接杆(7)、支架(8)， 支撑套筒(9)固装在炉盖(2)外部，丝杠(6)穿过支撑套筒(9) 端部的顶盖，丝杠(6)的螺杆部分与连接杆(7)置于支撑套筒(9) 内，连接杆杆内设置内螺纹与丝杠(6)的外螺纹相配合，支架(8) 与连接杆联接，导流筒(4)安装在支架(8)上。
3、 根据权利要求2所述的新型晶体生长炉，其特征在于在丝 杠(6)的上顶端配装有转动手轮(5)。
4、 根据权利要求2或3所述的新型晶体生长炉，其特征在于 连接杆(7)与支撑套筒(9)间隙处设有轴瓦(10)，位于连接杆轴 瓦(10)的上方设有密封波纹管(11)。
专利摘要本实用新型提供了一种新型晶体生长炉，包括炉体、炉盖、坩埚、导流筒，坩埚位于炉体内部，导流筒位于炉体内坩埚的上方，炉盖上安装有一个导流筒提升机构，导流筒提升机构穿过炉盖，一部分位于炉盖内部，一部分位于炉盖外部，装料前，转动手轮带动丝杠旋转，通过连接杆、销，带动支架将导流筒匀速升起后将炉盖提升旋开，将硅原料装入坩埚后升降到加热区内，旋合炉盖。待原料熔为液体后，转动手轮，匀速降下导流筒置于液面上规定位置。
文档编号C30B15/00GK201321511SQ200820227610
公开日2009年10月7日 申请日期2008年12月3日 优先权日2008年12月3日
发明者周卫忠, 王滢赞, 赵京通, 边志坚 申请人:河北晶龙阳光设备有限公司