技术总结
本发明公开一种电子束加工设备工件表面聚焦电流自动整定方法及系统，电子束加工设备在加速电压和电子束流稳定的工况下，先通过调节聚焦电流从最小值逐渐增大最大值，并记录渐大过程中的本次渐大离散变化过程中的最大二次电子信号值所对应的聚焦电流值If0+，再通过调节聚焦电流从最大值逐渐增大最小值，并记录渐小离散变化过程中的最大二次电子信号值所对应的聚焦电流值If0‑，后根据聚焦电流值If0+和If0‑计算确定电子束聚焦于金属试件表面上的聚焦电流值If0，并将该聚焦电流值If0作为聚焦电流设定值，使得聚焦实际工作电流稳定于此值。本发明可以快速、精确地获取聚焦电流值。
技术研发人员：黄小东;韦寿祺;费翔;陆苇;郭华艳;唐强
受保护的技术使用者：桂林狮达机电技术工程有限公司
文档号码：201611039826
技术研发日：2016.11.23
技术公布日：2017.10.20