技术总结
本发明涉及一种用于对可移动对象(34)进行相位衬度和/或暗场成像的光栅设备(50)、一种干涉仪单元(20)、一种相位衬度和/或暗场成像系统(10)、一种相位衬度和/或暗场成像方法、一种用于控制这样的设备的计算机程序单元以及一种存储有这样的计算机程序单元的计算机可读介质。所述光栅设备(50)包括光栅单元(51)、致动单元(52)、运动探测单元(53)以及控制单元(54)。致动单元(52)被配置为将光栅单元(51)定位在相对于所述可移动对象(34)的不同采样位置中，运动探测单元(53)被配置为探测所述可移动对象(34)的运动。所述可移动对象(34)的探测到的运动可以是重复运动。控制单元(54)被配置为控制所述致动单元(52)，以基于所述可移动对象(34)的探测到的运动来将所述光栅单元(51)定位在所述不同采样位置中。
技术研发人员：M·格拉斯;D·舍费尔;T·克勒
受保护的技术使用者：皇家飞利浦有限公司
文档号码：201580032379
技术研发日：2015.10.01
技术公布日：2017.02.22