柔性基底MEMS器件曲面阵列光声成像系统的制作方法

文档序号:11596497阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种柔性基底MEMS器件曲面阵列光声成像系统,其特征是系统中设置的光声模块自下而上依次叠加为MEMS微镜阵列及光纤通道层、柔性印刷电路版互联层、MEMS声换能器阵列层和声阻抗匹配层,形成主体为柔性、可以贴装曲面上的柔性光声模块;光声模块由各成像单元阵列构成,每个成像单元构建一个独立的小区域光声成像系统,实现激光在成像单元对应的小区域内二维扫描,完成小区域内的三维成像;通过图像拼接获得完整的全区域图像。本实用新型适用于人体自然腔道内表面以及人体外体表快速大面积高性能成像。

技术研发人员:凌斌;吴校生;冯定庆
受保护的技术使用者:凌斌;吴校生;冯定庆
文档号码:201620962880
技术研发日:2016.08.26
技术公布日:2017.08.04

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1