本发明涉及一种在无菌制造设施、再生医疗等制品的制造设施等中对该设施或机械器具进行除污的除污装置(decontaminationdevice)及使用了该除污装置的除污方法(decontaminationmethod)。
背景技术：
：：现在，在制药企业的无菌制造设施、无菌检查室、再生医疗等制品的制造设施、无菌实验动物饲养室、手术室、食品制造设施或者病原微生物处理管理设施内以及在这些设施内设置的对细胞、组织、培养基、无菌试剂、微生物等进行处理或培养的装置内部进行的、定期或日常的无菌化作业(空间除污作业)，在对微生物所引起的感染·污染的防止、所制造的医药品·制品的安全性和品质的稳定性、数据的可靠性及作业人员的安全性方面是重要的，近年来越来越要求高标准下的除污。日本药局方中也是在2016年4月实施的第十七修正药局方中，在灭菌法·消毒法中新增加了除污法。日本药局方的除污法中记载的除污剂是甲醛、过氧化氢、过氧乙酸。除了这些药剂之外还使用了二氧化氯的空间除污法在现状中实施着。但是，在使用了这些药剂的空间除污中，存在着引发癌症、对人的有害性、残留毒性、腐蚀性、对液体的溶解性、对纤维素或树脂等一部分的材料的吸附性、浸透性、进一步从此处的再放出、以及臭气这样的各种各样的问题。这些药剂在使微生物数量减少、使空间无菌化方面是可能的，具有有效性，但是对人具有有害性，或者对金属或装置具有腐蚀性。现状是实施使这些优点和缺点尽可能的平衡的、更安全且更有效的除污法。另外，在进行这样的空间除污的情况下，为了使处于除污区域内的机械器具等不被濡湿、腐蚀，进行着用塑料膜等完全覆盖住的保养。在这些之中，所述过氧乙酸(过氧乙酸混合液)在低浓度下对人确认具备安全性，具有强力的氧化能力。在使用了过氧乙酸的除污中，为了减少装置的保养，必须从除污开始起直至结束为止绝对不被濡湿，使全部的工序在干燥状态下完成。当通过过氧乙酸混合剂的喷雾而将容易生锈的金属的表面濡湿时，引起离子化，氧的自由电子与金属离子发生反应，因此开始腐蚀(湿腐蚀)。另一方面，作为金属在没有水分的情况下消耗的现象的干腐蚀，在室温程度下反应速度极其缓慢，因此能够抑制腐蚀的影响。从而为了使被处理物不被濡湿，使过氧乙酸混合剂成为微细的颗粒的雾来进行喷雾变得重要。微细的颗粒是物理特性强的状态，具有与壁相碰撞时难以变形而原样弹回的特性。这被称为由30μm以下的颗粒构成的干雾(dryfog)，作为不濡湿的雾而被公知。将这样的过氧乙酸混合剂作为干雾来使用的设备中，存在专利文献1所示的设备。其称为除污装置，该除污装置具有：多个喷雾器单元，其具有通过送风来使过氧乙酸除菌剂雾化而排出液滴的一个以上的喷雾器、一个以上的温湿度传感器、根据在除污处理的实施中由所述温湿度传感器检测出的湿度而使所述喷雾器工作或停止的初级控制器；与所述初级控制器通信的中继器；主控制器，其能够与所述中继器通信且把握所述多个喷雾器单元的至少一个的状态而进行操作。现有技术文献专利文献专利文献1：jp专利第5969404号公报。技术实现要素：发明要解决的问题但是，上述专利文献1的除污装置中，根据温湿度传感器的检测值来使喷雾器工作或停止，以使得由温湿度传感器检测出的湿度维持为预先设定的湿度。在这种情况下，被喷雾的过氧乙酸气体与所述甲醛、过氧化氢、二氧化氯等除污剂相比较而在短时间内开始分解，在分解的阶段，游离的活性氧作用于微生物的酶中存在的sh基或ss键，破坏细胞膜等而表现出杀菌作用。另外，分解后成为乙酸、氧及水，即使在该状态下，为了保持湿度，仅根据除污区域的湿度而进行喷雾器的控制也是不充分的，被喷雾的空气中的没有分解的过氧乙酸的量不能适当的测定。另外，在密封性高的除污区域中，在喷雾了过氧乙酸气体之后，长时间维持湿度。而且过氧乙酸气体在短时间内分解，分解后不能除污。在这样的情况下，不能重新进行过氧乙酸气体的喷雾，白白浪费时间而不能进行有效的除污。在这样的专利文献1的装置或方法中存在不能进行充分的除污的情况。另一方面，有关该过氧乙酸，以往，因为在短时间内开始分解，因此只有在高湿度或者过饱和的环境中进行除污。另外，在除污空间中，为了进行有效的除污，需要将过氧乙酸气体和活性氧在富有的状态下保持。但是，在以往的方法中，在排出过氧乙酸气体后，湿度立刻成为饱和状态，不能喷雾出更多的过氧乙酸气体，不能保持富有的状态。而且，由于为了将过氧乙酸混合剂作为干雾来使用而测定该过氧乙酸气体的浓度的传感器并没有开发出来，因此要求将过氧乙酸气体的浓度转换为湿度而严密的进行控制。本发明是鉴于这些点而提出的，提供一种安全性高且效果好的使用了过氧乙酸的除污装置以及使用了该除污装置的除污方法，来解决上述问题。用于解决问题的手段技术方案1的发明是一种除污装置，是对设施内或者在该设施内设置的处理或培养细胞、组织、培养基、无菌试剂、微生物等的装置内部进行无菌化的装置，其中，设置有除污装置，该除污装置包括：干雾产生机，其在除污区域内设置，在该除污区域内使包含有低浓度过氧乙酸的过氧乙酸混合液干雾化而进行喷雾；湿度传感器，其在上述除污区域内设置，对该除污区域内的湿度进行测定；气体回收机，其在上述除污区域内设置，对该除污区域内的气体进行回收；控制装置，其根据上述湿度传感器的信息而控制由上述干雾产生机进行的喷雾及由气体回收机进行的气体回收的运转；设置有主控制·监视装置，该主控制·监视装置在上述除污区域外设置，对一个或多个上述除污装置的控制装置进行控制。技术方案2的发明是一种除污方法，是对设施内或者在该设施内设置的处理或培养细胞、组织、培养基、无菌试剂、微生物等的装置内部进行无菌化的作业，其中，预先在除污区域设置设定湿度，通过干雾产生机而使得包含有低浓度过氧乙酸的过氧乙酸混合液在除污区域内干雾化而进行喷雾，通过湿度传感器而测定上述除污区域内的湿度，通过控制装置，根据来自上述湿度传感器的测定湿度来控制重复进行由干雾产生机的喷雾、停止以及气体回收机在除污区域内的气体回收、停止构成的循环(cycle)的运转，以使得维持为上述设定湿度。技术方案3的发明是如上述技术方案2所述的除污方法，其中，在上述控制装置中，进行控制以使得喷雾率为一定值以上，所述喷雾率是由上述干雾产生机进行的过氧乙酸混合液的喷雾时间相对于除污时间的比例，所述除污时间是从除污区域的测定湿度达到上述设定湿度时起直至重复上述循环的运转结束时为止的时间。技术方案4的发明是如上述技术方案2或3所述的除污方法，其中，由上述控制装置进行的对上述干雾产生机或者上述气体回收机的运转的控制，是进行控制，以使得当由上述湿度传感器测定的测定湿度超过上述设定湿度时，使上述干雾产生机的运转停止而进行上述气体回收机的运转，当测定湿度低于设定湿度时，使上述气体回收机的运转停止而进行干雾产生机的运转。技术方案5的发明是如上述技术方案2或3所述的除污方法，其中，由上述控制装置进行的对上述干雾产生机或者气体回收机的运转的控制，是进行控制，以使得当由上述湿度传感器测定的测定湿度超过上述设定湿度时，使干雾产生机的运转停止，在测定湿度超过上述设定湿度之后经过了为使所述喷雾率为一定值以上而计算出的时间之后，进行气体回收机的运转，当测定湿度低于上述设定湿度时，使气体回收机的运转停止而进行干雾产生机的运转。发明的效果根据本发明，通过对湿度进行测定，使得过氧乙酸干雾的喷雾、停止及气体回收、停止的循环最适宜化并将该循环重复进行，且对此在整个除污时间进行自动控制，使喷雾时间相对于除污时间的比例，即喷雾率为一定值以上，从而即使是初始湿度在某种程度上较高，由于将除污区域的水蒸气回收，替换成新的过氧乙酸气体，因此也能够除污，除污区域的环境不受影响，能够进行极其有效的除污。该功能特别是在湿度高的国家是重要的功能。另外，具有这些功能的除污装置能够简单的搬运，能够应对各种各样的场所，使用便利性好，非常方便。另外，根据本发明，由于通过气体回收机而对除污区域的气体进行回收，因此该除污区域能够在低湿度·低加湿下进行除污。所以，由于除污区域的温度差造成的结露的危险能够大幅减轻，即使存在铁、铜或黄铜等容易腐蚀的金属，也不会发生腐蚀，不需要以往的除污中所需要的保养。另外，由于上述低湿度·低加湿下的除污是能够进行的，因此在除污作业结束后，使得除污区域内也更早换气，也有助于除污区域的尽早的原状恢复。而且，即使是宽广的区域等，通过配置多个除污装置，对所有的干雾产生机的喷雾、停止、气体回收进行控制，即使是超过2000m3的宽广的除污区域，也能够一次性的进行除污。附图说明图1是示出本发明的第一实施方式例的除污装置的概略组成的构成图。图2中的(a)是本发明的第一实施方式例的除污装置的控制装置的除污时间自动计算功能所使用的算法的一个例子。(b)是上述算法的符号的说明图。图3是示出利用本发明的第一实施方式例的除污方法而通过10％加湿来进行除污的结果的曲线图。图4是示出利用本发明的第一实施方式例的除污方法而通过20％加湿来进行除污的结果的曲线图。图5是示出不使用本发明的第一实施方式例的除污方法而是利用以往的方法并通过20％加湿来进行除污的结果的曲线图。图6是示出在进行了本发明的第一实施方式例的除污方法之际而在装载于除污区域的铜、黄铜上以后并未发生铜锈的情况的附图替代用照片。图7是示出作为上述图6的比较实验而利用干雾来喷雾，在装载于除污区域的铜、黄铜上以后产生了铜锈膜的情况的附图替代用照片。图8是示出作为上述图6的比较实验而使用市场上出售的喷雾器进行喷雾，在装载于除污区域的铜、黄铜上以后产生了铜锈的情况的附图替代用照片。图9是示出配置多个本发明的第一实施方式例的除污装置的状态的概略组成的构成图。具体实施方式(第一实施方式例)下面针对本发明的第一实施方式例的除污装置进行说明。该第一实施方式例的除污装置a是在制药公司的无菌制造设施、无菌检查室、再生医疗等制品的制造设施等中，对该设施内以及在该设施内设置的处理或培养细胞、组织、培养基、无菌试剂、微生物等的装置内部进行无菌化的装置。在除污区域内设置的除污装置a，如图1所示，包括有：干雾产生机1，其在除污区域内设置，在该除污区域内使含有低浓度过氧乙酸的过氧乙酸混合液干雾化而进行喷雾；过氧乙酸罐2，其向上述干雾产生机1供给过氧乙酸；温湿度传感器3，其在上述除污区域内设置，测定该除污区域内的温度及湿度；气体回收机4，其在上述除污区域内设置，回收该除污区域内的气体；废液罐5，其储存由上述气体回收机4回收的气体的水分；控制装置6，其在上述除污区域内设置，根据温湿度传感器3的信息来控制该干雾产生机1及气体回收机4的运转；通信装置8，其与该控制装置6一体设置。另外还设置有主控制·监视装置7，该主控制·监视装置7在上述除污区域外设置，监视并控制上述除污装置a的控制装置6。作为在此使用的干雾产生机1，只要是能够将过氧乙酸混合液以后述的10μm以下的粒径的颗粒进行喷雾的设备即可，可以使用现有的设备。该干雾产生机1与控制装置6相连接，通过控制装置6的控制而工作及停止。作为干雾，通常是指由30μm以下的粒径构成的颗粒的雾，但是在除污中，优选控制在粒径10μm以下。优选通过使作为干雾而进行喷雾的药剂利用充分的风量而扩散，从而使粒径纳米级化而促进气化。即使是10μm以下的干雾，若由于除污区域内的温度不均或温度变化而使得局部温度低下，则变得过饱和而存在产生结露的情况。为了防止这种情况而优选以尽量低的湿度进行除污。而且，若向着一个方向进行喷雾，则该方向上的湿度局部变高，变得过饱和，存在产生结露的情况，因此优选通过将上述干雾产生机1装载在旋转台(turntable)上使之旋转，从而使喷雾方向变化。另外，作为温湿度传感器3而使用现有的温度计、湿度计。温湿度传感器3与控制装置6相连接，将所测定的温度、湿度及湿度下降速度的检测值传递至控制装置6。传递的检测值在控制装置6实时显示，这些信息被自动记录。该记录(log)以csv文件记录在存储器中，另外，能够由主控制·监视装置7确认并记录。而且，作为气体回收机4，能够使用现有的除湿器。气体回收机4与控制装置6相连接，通过控制装置6的控制而工作及停止。作为控制装置6，分别与干雾产生机1、温湿度传感器3、气体回收机4电性连接。控制装置6使干雾产生机1的动作开始，进行药剂的喷雾。另外，在除污处理的实施中，控制装置6根据温湿度传感器3的检测值控制干雾产生机1的运转和气体回收机4的运转，以使得由温湿度传感器3检测出的湿度维持为预先设定的湿度。而且，在除污时间内，该控制装置6计测并记录上述干雾产生机1的累计喷雾时间。另外，该控制装置6计测并记录上述气体回收机4的气体累计回收时间。另外，该控制装置6能够从主控制·监视装置7输入设定湿度、除污时间以及除污时间后的气体回收时间等。另外，作为在此使用的过氧乙酸，由过氧乙酸、过氧化氢、乙酸及水的混合液构成(以下称为“过氧乙酸混合液”。)。另外，该过氧乙酸混合液中，过氧乙酸的含有量为0.01～1.2重量％，过氧化氢的含有量为0.06～4.8重量％，乙酸的含有量为0.02～6.0重量％，剩余的是水。另外，该过氧乙酸混合液在除污(反应)后被分解为乙酸、氧、水，乙酸在室温下气化而没有残留物残留。就具体的商品名而言，例如是阿克特里尔(アクトリル)(注册商标)等过氧乙酸类除菌剂。另外，作为控制除污装置a的控制装置6的主控制·监视装置7，能够利用监视器来监视经由除污装置a的通信装置8而从控制装置6传递的信息，能够根据该信息对控制装置6进行控制。这些信息作为除污记录存储在存储器中。另外，通信装置8具有使控制装置6与主控制·监视装置7无线通信的功能。上述主控制·监视装置7能够通过该通信装置8对除污装置a的控制装置6、温湿度、经过时间、剩余除污时间等进行监视、记录。另外，根据主控制·监视装置7的指示，能够对控制装置6进行控制。接着，说明使用该第一实施方式例的除污装置a、主控制·监视装置7及通信装置8对设施内以及该设施内的设备备件进行除污的方法。在此，进行以下所示的三个作业工序。第一，监视温度、湿度及湿度的下降速度。第二，根据上述监视，对过氧乙酸混合液的干雾的喷雾、停止及回收、停止的循环进行控制，对该循环进行重复。第三，在整个除污时间内对上述第一和第二作业进行自动控制，使除污时间中的喷雾时间所占的比例为一定值以上。这三个作业工序合在一起称为循环除污方法。在此，所谓的除污时间是指，从除污区域的测定湿度达到上述设定湿度时起直至重复上述循环的运转结束时止的时间。进行除污的除污区域的温度、湿度由温湿度传感器3测定，预先确定不达到过饱和的设定湿度，通过干雾产生机1将过氧乙酸混合液在除污区域内干雾化而进行喷雾，利用充分的风量进行扩散而使之气化，当该除污区域的湿度达到上述的设定湿度时使上述过氧乙酸混合液的喷雾停止。使气体回收机4工作来回收该除污区域内的气体。在此期间，由温湿度传感器3对上述除污区域内的温度、湿度及湿度的下降速度的测定持续进行。而当湿度低于设定湿度时停止回收，再次由上述干雾产生机1开始将过氧乙酸混合液喷雾直至达到设定湿度为止。将从通过上述干雾产生机1的喷雾而使测定湿度达到设定湿度时的喷雾的停止起，直至通过上述气体回收机4的气体回收而使测定湿度低于设定湿度，再次通过干雾产生机1的喷雾而达到设定湿度为止的一系列的作用，作为一个循环。该期间大约为5～10分钟左右。将为了维持为所述设定湿度而根据来自上述湿度传感器的测定湿度而由干雾产生机进行的喷雾、停止及由气体回收机进行的除污区域内的气体回收、停止所构成的循环重复进行的运转，是由控制装置6控制的。最初的一次是在达到设定湿度之后经过了所设定的时间后，气体回收机进行工作，但是之后则是根据控制装置6所储存的温度、湿度及湿度的下降速度的数据来模拟出最佳的时机，而由计算机进行自动控制。所谓的最佳的时机是指，进行计算，以使得喷雾率为一定值以上的高的值，来控制气体回收的运转时间，所述喷雾率是指由上述干雾产生机进行的过氧乙酸混合液的喷雾时间相对于从除污区域的测定湿度达到上述设定湿度时起直至重复上述循环的运转结束时为止的除污时间的比例。针对除污时间的自动控制，通过增加了使用除污区域的初始温度、初始湿度来计算芽孢菌能够减少6log以上的除污时间的算法，能够防止将除污时间设定得极端的短而使得除污失败的人为错误。即，在除污作业开始前，通过温湿度传感器3来测定除污区域内的温度，计算出该温度下的饱和蒸气量。接着，测定该除污区域内的湿度。根据该湿度的测定值和上述求得的饱和蒸气量，计算出该除污区域内的水蒸气量。由此，能够计算出在除污区域内可将多少程度的量的过氧乙酸除菌剂的液滴进行喷雾。而且，根据在此计算出的过氧乙酸除菌剂的喷雾量，能够将从达到预先设定的在除污区域内应保持的规定的湿度起直至重复上述循环的运转结束止的除污时间，根据对照数量众多的除污条件试验结果而完成的算法来计算出。在本发明的控制装置6所具有的除污时间自动计算功能中能够使用的算法的一个例子由图2所示。由于本发明的除污装置a具有这样的除污时间自动计算功能，因此不需要将除菌剂多余的喷雾，另外，由于能够仅通过除污区域内的温度和湿度来计算除污时间，因此能够提供稳定的除污等级。另外，有关上述湿度的下降，即使是在除污区域的排气口或门上粘贴胶带等而进行保养，也会残留有在除污区域内外通过的微弱的气流的流动，由此而使得药剂及湿度向着除污区域外流出，由此而引起除污区域内的湿度下降。接着，对该除污方法的效果进行了实验。除污区域是大小为38m3的无尘室，当时的温度及湿度，在后述的试验no.dh5中为16.5℃、60％，试验no.dh6中为19.2℃、44％，试验no.ndh7中为17.8℃、28％。另外，在该实验中，使用了喷雾量为15～20ml/分的干雾产生机1。而且，在此，使用了两台干雾产生机1。另外，使用了可进行300～500ml/小时的气体的回收的气体回收机4。这些干雾产生机1及气体回收机4是由控制装置6控制的。另外，作为温湿度传感器3而使用了静电电容式的湿度传感器。图3所示的是在比初始湿度60％多加湿了10％的状态下自动控制上述循环除污方法的情况，纵轴表示相对湿度(％)和温度(℃)，横轴表示时间(以下，图4及图5中相同。在后述的表1中记载为试验no.dh5。)。在此，在15：00开始实验，首先立刻使湿度上升10％，之后直到第二天的3：00，湿度表现出无数的小的变动。这些变动是根据上述湿度的下降而由基于自动控制的循环除污方法带来的，从第二天的3：00起湿度描绘出急剧的下降线，在9：00湿度成为15％以下。这显示出除污有效进行，而除污作业在3：00结束，整体进入到药剂的回收。该试验no.dh5的除污时间12小时中的上述喷雾时间所占的比例，即喷雾率为13.6％，成为高的值。接着，图4所示的是在比初始湿度44％多加湿20％的状态下自动控制上述循环除污方法的情况(记载为试验no.dh6。)。在此，在11：00开始实验，首先立刻使湿度从44％上升20％而达到64％，之后直至夜间的23：00，表现出非常小的变动。这些变动是根据上述湿度的下降而由基于自动控制的循环除污方法带来的，从23：00起湿度描绘出急剧的下降线，在第二天的5：00，湿度成为15％以下。这显示出除污有效进行，除污作业在23：00结束，整体进入到药剂的回收。该试验no.dh6的除污时间12小时中的喷雾率为11.7％，成为高的值。进一步，图5所示的是如下情况：在比初始湿度28％多加湿20％的状态下不使用上述循环除污方法，由温湿度传感器3测定除污区域的湿度，以成为所设定的湿度的方式使干雾产生机1运转，仅进行喷雾及停止的作用(记载为试验no.ndh7。)。另外，干雾产生机1及温湿度传感器3使用与上述试验no.dh6相同的设备。在此，在11：00开始实验，首先立刻使湿度从28％上升20％而达到48％，除污作业在第二天的1：00结束，但是在此期间，几乎没有表现出变动。这当然是表现出没有进行循环除污的情况，即使是到了第二天的4：00，湿度也几乎没有变动。该试验no.ndh7的除污时间12小时中的喷雾率为1.2％，成为低的值。上述三个实验的结果在以下的表1中示出。在进行了除污的区域的“1.离心分离机上”、“2.中央作业台”、“3.壁上角”安放有bi(生物指示剂(biologicalindicator))，之后，将该bi回收，进行培养来观察除污状况。其结果是，上述dh5及dh6中，所有的bi都表示出阴性(芽孢菌减少6log以上)，而在ndh7中，所有都为阳性，表示出除污完全没有成功。另外，在此为了确认除污状况，上述培养的芽孢菌的菌种是在芽孢菌之中也被称为强的热耐性菌的“嗜热脂肪地芽胞杆菌(g.stearothermophilus)”，是日本药局方中的除污评价的指标菌。【表1】另外，该表1的喷雾量及回收量分别表示干雾喷雾量和气体回收量，dh5中为2440ml和2760ml，dh6是2340ml和2500ml，示出除菌剂被适当的喷雾，另外，气体被适当的回收的情况，并且，都是回收量比喷雾量多，这表示将现有的湿度回收喷雾量以上的量。这是因为，该除污方法是基于低湿度·低加湿的方法，这会在除污后的除污区域的尽快干燥中发挥作用，有助于除污区域的尽快恢复。另一方面，ndh7中，喷雾量为240ml，回收量为零，喷雾量为上述dh5、dh6的大致1/10。ndh7中喷雾量极端的少，表示由于是等待湿度自然下降而进行喷雾的以往的方法，因此在气密性高的无尘室中，有效的除污是困难的。由上述实验结果确认到，通过自动控制上述干雾的喷雾、停止及气体回收的循环，使得相对于从除污区域的测定湿度达到上述设定湿度时起直至重复上述循环的运转结束时止的除污时间，而由上述干雾产生机进行的过氧乙酸混合液的喷雾时间所占的比例，即喷雾率为一定值以上，从而即使是相对于初始湿度而加湿的比例低至10～20％，通过延长除污时间例如为12小时，能够使得芽孢菌减少6log以上。另外，所谓的一定值以上的喷雾率，根据上述实验结果可知，是指10％以上的喷雾率，只要是这样的喷雾率，能够确定芽孢菌减少6log以上。另外，若喷雾率的值过高，则有可能造成过氧乙酸混合液的浪费。另外，以往是在基于过氧乙酸雾(干雾)的除污中使得湿度为80％以上或者成为过饱和的状态来除污的，而在该除污方法中即使是70％或者64％的控制就能够确认到芽孢菌减少6log以上。另外，即使是除污区域的初始湿度在某种程度上很高，通过进行上述三个作业工序也能够回收除污区域的水蒸气，替换为新的过氧乙酸气体，因此能够除污。根据这些情况，该第一实施方式例的除污方法可称为低湿度·低加湿的除污方法。接着，进行了基于该第一实施方式例的低湿度·低加湿的除污方法的金属的腐蚀性的暴露试验。为了进行比较，实施了作为将过氧乙酸混合液喷雾的器具而使用了市售品的喷雾器的情况(表2中，记载为“市售品喷雾器”。)和基于以往的干雾的情况(通过以超音波方式制成干雾并使设定湿度为95％以上的高湿度，从而难以气化，为干雾的雾(dryfogmist)与金属接触的状态。)。关于实验，在与进行上述除污方法的有效的实验的场所相同的场所进行实验。结果如表2及图6所示，在基于该第一实施方式例的除污方法的情况下(表2中记载为“循环除污方法”)，对设置于除污区域内的最容易腐蚀的铜9、黄铜10的金属未发现有影响。另一方面，在暴露于干雾中的金属片上，如表2及图7所示，发现了铜锈膜11，利用市售品喷雾器吹拂药剂的情况如表2及图8所示，在铜9、黄铜10上分别发现了铜锈12及乙酸盐(乙酸铜)。根据这些情况，利用市售品喷雾器并不能防止金属腐蚀，另外，由于即使是在基于以往的干雾的情况下也发现了铜锈膜11，因此可知并不能防止金属腐蚀。另一方面，由于该第一实施方式例的除污方法能够低湿度·低加湿，因此可以明确针对金属腐蚀性也没有问题。【表2】针对除污区域的气密性，需要严格控制湿度，以使得电子设备及装置等不会因为过氧乙酸的结露水而被腐蚀及破坏。在严格控制气体浓度(湿度)的情况下，在气密性高的除污区域达到设定湿度时，过氧乙酸雾不能喷雾。在这样的情况下，通过将回收过氧乙酸气体和乙酸气体的混合气体并将新的过氧乙酸气体进行喷雾的上述循环除污功能与在初始温度和初始湿度下自动计算除污时间的功能同时启动，从而能够不受到除污区域的气密性的影响而使除污确实的成功。在除污区域较大时，或者由多个房间及走廊构成时，若从一个地方产生大量的过氧乙酸雾，则一部分的空间成为过饱和状态，进行结露而药剂凝结。相应的造成药剂不足而产生不能照顾到各个角落的现象。若对此放任不管则会引起腐蚀和除污错误。为了避免这些情况，在对大的区域进行除污的情况下，在除污区域配置多个除污装置a，从多个重要点将过氧乙酸雾进行喷雾。(第二实施方式例)以下，针对本发明的第二实施方式例进行说明。在这种情况下，也如图9所示，在远离除污区域的场所设置一台对各除污装置a的控制装置6进行控制的主控制·监视装置7。该主控制·监视装置7能够经由多个的各除污装置a的各通信装置8来监视、控制从各控制装置6传递的信息。基本的点全部与上述第一实施方式例相同。多个除污装置a，通过无线方式与其它的除污装置a进行通信，需要具有如下功能：维持各除污装置a的空间的湿度，以使得在其它的除污装置a没有结束除污的情况下，湿度不会下降。同时，操作人员能够通过无线方式而由主控制·监视装置7进行所有的干雾発生装置1的喷雾·停止、由气体回收机4进行的气体的回收·停止。通过该方法，即使是超过2000m3的宽广的除污区域也能够一次性的进行除污。另外，如以上所述那样，由于通信装置8具有与主控制·监视装置7通过无线方式进行通信的功能，因此通过各除污装置a具有这样的通信功能，从而能够具有自动调整除污结束时间的功能。另外，能够根据主控制·监视装置7的指示，对所有的除污装置a的控制装置6进行控制。另外，由于各个除污装置a的各通信装置8与其它的除污装置a的通信装置8相互连接，因此，通常从先达到设定湿度的除污装置a先结束除污，除污装置整体的过氧乙酸混合液的喷雾量减少。可以使用自动调整各除污装置a的除污结束时间的功能来使除污结束时间与最迟的除污装置a相对应，由此能够不产生不能除污的部分。例如，设施内的某个房间较狭窄，与其它的场所相比较，湿度先上升，在此情况下，根据来自与除污装置a的控制装置6相连接的温湿度传感器3的测定湿度信息，维持不会结露、适合除污的湿度。从达到适合除污的湿度的除污装置a起，按顺序维持湿度。其它的除污装置a自动延长除污时间，直到最后达到适当湿度的除污装置a的除污时间结束为止，能够防止先结束而从设定湿度下降的情况。针对对象除污区域，通过使用该循环除污方法，不仅是宽广房间，恒温箱(incubator)、超净工作台(cleanbench)、安全柜(safetycabinet)、传递箱(passbox)、冷藏箱、离心机等的装置内部的狭窄空间也可以在除污时设置小型·一体化的下述装置，包括：干雾产生机1，其将包含有低浓度过氧乙酸的过氧乙酸混合液干雾化而进行喷雾；过氧乙酸罐2，其向干雾产生机1供给过氧乙酸；温湿度传感器3，其对该装置内的温度及湿度进行测定；气体回收机4，其对该装置内的气体进行回收；废液罐5，其储存由上述气体回收机4回收的气体的水分；控制装置6，其根据温湿度传感器3的信息而对该干雾产生机1及气体回收机4的运转进行控制；通信装置8，其与该控制装置6一体设置；仅通过进行运转就能够进行除污。即使是原本没有除污功能的装置的情况下也能够除污。当然无论是一体式还是分体式，或者是组装到该装置内的组装式，都能够使用循环除污法。另外，对于放置在除污区域中的器具、装置也能够同时进行除污。因为到现在为止没有除污方法而在维护维修时不能搬出的装置，在生化污物室(biohazardroom)中不能使用。本除污方法由于不破坏电子部件·装置而能够除污，因此能够作为新的除污方法来使用。由此能够进入到生化污物室中的装置增多，与在更有效的病原微生物的研究·治疗药的开发中发挥作用紧密相关。针对臭气，现在为止的使用了过氧乙酸的空间除污，一般是在过饱和状态下进行除污，因此所到之处都被濡湿。特别是当所设置的装置的壁侧、地板濡湿时，不能进行擦拭作业，在干燥之前一直有臭气。如本循环除污方法(低加湿而不会濡湿)那样通过始终在干燥状态下进行除污，从而濡湿的危险不再存在，而在除污结束后，乙酸气体在高湿度的状态下残留下来，在运转房间的空调进行排气的情况下，若没有设置通向屋外的排气管，则在建筑如之中会充满乙酸臭味。为了避免这样的情况，优选利用气体回收机4对除污区域内的乙酸气体进行回收。根据以上的情况，在到现在为止使用了过氧乙酸的除污方法中，能够对包含有病毒、芽孢菌的细菌·真菌的微生物进行除污和对人的安全性是优点，而强的金属腐蚀性和乙酸臭味的缺点作为大的问题残存下来。但是，通过使用低浓度的过氧乙酸混合液，使用新的除污方法和实现该方法的干雾产生机1、气体回收机4、温湿度传感器3及主控制·监视装置7，从而能够解决曾成为问题的电子设备及装置的腐蚀的问题和除污后的乙酸臭气的问题。而且，由于能够在对设置于除污区域内的各种装置不保养的状态下进行除污，因此到现在为止作为污染源而残留的问题也几乎能够解决。另外，由于在始终干燥状态下进行除污，因此也不需要除污后的中和、排气、擦拭作业。而且，无论是装置内部的除污还是房间的除污都能够确认芽孢菌减少6log以上，能够判明获得充分的除污效果。在该第一实施方式例中，通过温湿度传感器3来测定温度、湿度及湿度的下降速度，但是作为除污装置a的干雾产生机1的喷雾和气体回收机4的回收的动作的开始和结束的基准也可以仅是湿度的测定。另外，除污装置a的气体回收机4的回收的动作的开始，也可以根据通过干雾产生机1的气体喷雾而使得测定湿度达到设定湿度起的时间来决定。另外，作为除污装置a，包括有干雾产生机1、过氧乙酸罐2、温湿度传感器3、气体回收机4、废液罐5、控制装置6、通信装置8，但是除污区域无论是在设施内还是在装置内部，这些装置无论是一体式还是分体式或者是组装式都可以。另外，在除污方法的效果的实验中，在上述图1的除污装置a中使用着两台干雾产生机1，但是图1所示的除污装置a是基本的构成，干雾产生机1、温湿度传感器3、气体回收机4等的数量根据进行除污的区域的状况选择最适当的即可。附图标记的说明a除污装置1干雾产生机2过氧乙酸罐3温湿度传感器4气体回收机5废液罐6控制装置7主控制·监视装置8通信装置当前第1页12当前第1页12