技术特征:1.一种紫外光照射装置,其特征在于,具备:
2.根据权利要求1所述的紫外光照射装置,其特征在于,
3.根据权利要求1或2所述的紫外光照射装置,其特征在于,
4.根据权利要求1或2所述的紫外光照射装置,其特征在于,
5.根据权利要求1或2所述的紫外光照射装置,其特征在于,
6.根据权利要求5所述的紫外光照射装置,其特征在于,
7.根据权利要求1或2所述的紫外光照射装置,其特征在于,
技术总结提供提高了性能的紫外光照射装置。紫外光照射装置具备:光源,发出属于190nm以上且短于240nm的波段内的紫外光;壳体,包围所述光源,具有用于将所述紫外光向外部取出的光取出部;及滤光器,以堵住所述光取出部的方式配置,具备使所述紫外光透过的基材及层叠于所述基材的电介质多层膜,使190nm以上且短于240nm的波段的紫外光透过,将240nm以上且260nm以下的波段的紫外光的透过限制为5%以下,所述滤光器以使所述电介质多层膜比所述基材靠近所述光源的方式配置。
技术研发人员:久野彰裕,藤泽繁树,柳生英昭,加藤启子
受保护的技术使用者:优志旺电机株式会社
技术研发日:技术公布日:2024/3/31