专利名称：硅材料清洗装置的制作方法
技术领域：
本发明属于电子、电气零部件用的材料的清洗装置技术领域，具体涉及 一种硅材料清洗装置。
背景技术：
目前，对硅材料的表面清洗通常采用敞口的酸洗槽，人工将硅材料块或 将装有硅材料块的容器如篮子放入酸洗槽，再由手工频繁翻搅硅材料块。由
于在整个酸洗过程中，会产生大量的氟化氢(HF)和二氧化氮(N02)等有 害气体，因此采用吸风罩进行排风，吸风罩大体上对应于酸洗槽的敞口部位 的上方，由吸风罩吸取的前述有害气体引入废气处理装置处理。
上述处置方式存在以下欠缺首先，由于是敞开式酸洗，因此在整个过 程中HF和N02等有害气体不可能由吸风罩彻底吸除，部分弥散在作业现场 的空气中，对在线作业的工人的身体构成危害，对环境的保护造成影响；其 次，为了尽可能地使吸风罩更多地吸除有害气体，因此吸风罩的排风量较大， 从而给后续的废气处理装置增加处理难度和处理成本。
发明内容
本发明的任务是要提供一种有利于保护操作者健康、有助于保护环境、 有益于减轻废气处理成本和处理难度的硅材料清洗装置。
本发明的任务是这样来完成的， 一种硅材料清洗装置，它包括一酸洗槽, 该酸洗槽的上方配有一活动盖，而酸洗槽一侧的近底部设有一排水管， 一盛 料滚筒，以卧置状态地设在所述的酸洗槽内，具有一物料门； 一盛料滚筒驱 动机构，与所述的盛料滚筒传动联结； 一酸洗液高位贮槽，配置在所述的酸 洗槽的上方，并且由第一管路与酸洗槽相通； 一酸洗液低位贮槽，配置在所 述的酸洗槽的一侧，并且由第二管路与酸洗槽相通； 一用于将酸洗液低位lfc 槽中的酸洗液提升到所述的酸洗液高位贮槽内的酸洗液提升机构，分别与酸 洗液高位贮槽和酸洗液低位贮槽相通； 一进水管路，联结在酸洗槽的上部并
且伸入到酸洗槽内； 一空气置换机构，与所述的酸洗槽环通联结。
在本发明的一个具体的实施例中，所述的排水管的管路上设有第一阀门。 在本发明的另一个具体的实施例中，所述的盛料滚筒为鼠笼式滚筒或筛
网式滚筒，盛料滚筒的滚筒轴的两端各通过轴承座枢设在酸洗槽的对应壁体
上并且与所述的盛料滚筒驱动机构联结，所述的物料门设在盛料滚筒的长度
方向的中部。
在本发明的还一个具体的实施例中，所述的盛料滚筒驱动机构包括第一 电机和减速机，第一电机与减速机配接，减速机的末级动力输出轴通过联轴 节与所述的滚筒轴联结。
在本发明的再一个具体的实施例中，所述的第一管路上配设有第二阀门。
在本发明的又一个具体的实施例中，所述酸洗液提升机构包括第二电机、 液泵和第三、第四管路，液泵与第二电机相配接，第三管路的一端与液泵的 出液口相接，另一端伸展到酸洗液高位槽中，第四管路的一端与液泵的进液 口相接，另一端伸入到酸洗液低位槽中。
在本发明的更而一个具体的实施例中，所述的进水管路所伸入到酸洗槽 内的一端间隔设置有喷淋头，并且在进水管所位于酸洗槽外的一端设置有第 三阀门。
在本发明的进而一个具体的实施例中，所述的第二管路上设有第四阀门。 在本发明的又更而一个具体的实施例中，所述的空气置换机构包括第五、 第六、第七、第八管路、第三电机和风机，第五管路的一端与第六管路的一 端联结，第五管路的另一端接续在酸洗槽的一侧上部并且与酸洗槽相通，第 六管路的另一端与风机的出风口连接，第七管路的一端与第六管路联结并且 与第六管路相通，另一端与废气处理装置联结，第八管路的一端与风机的进 风口相接，另一端接至酸洗槽的另一侧上部并且与酸洗槽相通，第三电机与 风机相配接，其中所述的第六管路上设有第五、第六阀门，所述的第七管 路上设有第七阀门。
在本发明的又进而一个具体的实施例中，所述的第五管路与第六管路相
连接的连接部位位于所述的第五、第六阀门之间。
本发明所提供的技术方案的优点在酸洗槽上配有活动盖，能使已有技 术中的敞开式酸洗变为封闭式酸洗，酸洗过程中的有害气体不会对操作工人 构成影响而且对环境有益；由于在酸洗槽内设置由盛料滚筒驱动机构驱动的 盛料滚筒，从而无需由工人对被酸洗工件翻动，可减轻工人的劳动强度和提 高酸洗效率；空气置换机构既能使酸洗槽内的废气在打开活动盖之前实施置 换，又能将酸洗过程中的废气引至废气处理装置处理。
附图为本发明的一个具体的实施例结构图。
具体实施例方式
为了使贵审査员特别是公众能更加清楚地了解本发明的技术实质和有益 效果，特结合附图及实施例对本发明的具体实施方式
详细描述如下，但所有 对实施例的描述均不构成对本发明方案的限制，任何形式而非实质的变化均 应视为属于本发明所公开的并且由权利保护所限定的范围内。
请见附图，给出了形状优选但并非限于的长方体的酸洗槽l，在该酸洗槽 1的上部的敞口部位配置有一活动盖11，活动盖11既可以采用铰链连接方式 与酸洗槽11相配合，也可以采用类似于抽屉的插拔方式与酸洗槽1相配合。 在酸洗槽1的一侧即图示的右侧的近底部延接有一排水管12,排水管12上设 置有一第一阀门121，在使用状态下即在酸洗状态下，该第一阀门121必须是 关闭的，并且活动盖ll也是盖闭的。
在酸洗槽1内以卧置状态地设置有一盛料滚筒2，具体是将盛料滚筒2 的一对滚筒轴22各通过一轴承座221枢置在酸洗槽1的对应壁体上，即枢置 在由目前的图示位置状态的左、右壁体上，在盛料滚筒2的近中部设置物料 门21,将被酸洗的工件即硅材料通过物料门21引入盛料滚筒2的容腔，然后 关闭，而在酸洗结束出料时则开启并且从盛料滚筒2内取出硅材料。在本实 施例中，申请人采用了鼠笼式的结构作为盛料滚筒2，如果采用筛网式(也可 称网筛式)的结构，则同样是可以的，所谓的筛网式结构是指在筒体上开设
规则的或不规则的通孔。
盛料滚筒驱动机构3的第一电机31与减速机32传动联结并且设置在酸 洗槽1的左侧(以图示位置状态为例)，减速机32的末级动力输出轴321通 过联轴节3211与前述的盛料滚筒2的滚筒轴22传动联结。
酸洗液高位贮槽4的高度应当高于酸洗槽l，设置方式既可以采用专用的 支架，也可以采用浇砌的墩子，将酸洗液高位贮槽4安顿于支架或墩子上。 酸洗液高位贮槽4通过第一管路41与酸洗槽1相通。当要将酸洗液高位贮槽 4内的酸洗液引入酸洗槽1内时，只要开启第一管路41上的第二阀门411即 可。
酸洗液低位贮槽5既可以在酸洗槽1的附近挖坑浇铺构成，也可以将容 器埋入地坪，只要确保酸洗液低位贮槽5的高度比酸洗槽1低即可，以便由 第二管路51将酸洗槽1内的酸洗液以自流的方式引入酸洗液低位贮槽5中， 前提是开启第二管路51上的第四阀门511。
作为酸洗液提升机构6的第二电机61按照公知的常识与液泵62配接， 第三管路63的一端与液泵62的出液口连接，而第三管路63的另一端延伸到 (通往)酸洗液高位贮槽4内，第四管路64的一端与液泵62的进液口连接， 另一端探入到酸洗液低位贮槽5中。
进水管路7的一端应当是与水源管路如自来水管联结的，另一端以水平 状态地伸展到酸洗槽1的上部，并且以间隔状态地设有喷淋头71。当酸洗槽 l酸洗结束，并且将酸洗液由第二管路51入到到酸洗液低位贮槽5内后，由 进水管路7在开启第三阀门72的状态下引入清水对酸洗槽1清洗，清洗结束 后开启第一阀门121,从而完成对酸洗槽1的清洗。
作为空气置换机构8的第五管路81的一端与酸洗槽1的一侧即图示的左 侧上部联结并且与酸洗槽1相通，而第五管路81的另一端联结在第六管路82 的一端并且与第六管路82相通，第六管路82的另一端与风机85的出风口联 结。第七管路84的一端即图示的左端与第六管路82联结并且相通，另一端 即图示的右端与图中未示出的废气处理装置联结。第八管路86的一端(左端)
与酸洗槽1相接并相通，另一端(右端)与风机85的进风口联结，风机85 与第三电机83配接。由图见，第五、第六、第八管路81、 82、 86在酸洗槽1 上构成一个回路，实现与酸洗槽l环通连接。其中在第六管路82上设有第 五、第六阀门821、 822,以及在第七管路84上设有第七阀门841。上面提到 的第五管路81与第六管路82连接的连接部位介于第五、第六阀门821、 822 之间。
申请人结合附图叙述本发明的使用，当要对硅材料酸洗时，先开启活动 盖ll，再开启物料门21，将被清洗的硅材料装入盛料滚筒2内，关闭物料门 21和关闭活动盖11。打开第一管路41上的第二阀门411，将酸洗液高位槽4 内的酸洗液引入酸洗槽l内，至所设定的量后关闭第二阀门411,规定量可以 通过设在酸洗槽1上的未在图中示意的液位计把握。开启盛料滚筒驱动机构 3,即第一电机31工作，使盛料滚筒2旋转，在盛料滚筒2旋转的过程中， 盛料滚筒2内的硅材料随之翻动。在酸洗过程中，第三电机83工作，第六、 第七阀门822、 841开启，而第一、第三、第四、第五阀门121、 72、 511、 821 处于关闭状态。酸洗结束后，开启第四闽门511，将酸洗槽l内的酸洗液由第 二管路51引入酸洗液低位贮槽5内，并且由酸洗液提升机构6提升至酸洗液 高位贮槽4内。在将酸洗槽l内的酸洗液放尽后关闭第四阀门5U。开启第三 阀门72，将清水由进水管路7引入并经喷淋头71喷出，对酸洗槽清洗，清洗 结束，关闭第三阀门72，开启第一阀门121,排尽水后关闭第一阀门121。盛 料滚筒驱动机构3停止工作。开启第五阀门821，关闭第六阀门82，将新鲜 空气由第五管路81引入酸洗槽1内并且由第七管路84引至废气处理装置处 理，然后使第三电机83停止工作，开启活动盖11和物料门21，从盛料滚筒 2内取出硅材料，从而完成了一个过程的酸洗。
综上所述，由于酸洗过程是在闭式状态下进行的，酸洗过程中产生的废 气如HF、 N02等由第七管路84引至废气处理装置处理，因此既有利于保障 工人的健康，又有助于保护环境。
权利要求
1、一种硅材料清洗装置，其特征在于它包括一酸洗槽(1)，该酸洗槽(1)的上方配有一活动盖(11)，而酸洗槽(1)一侧的近底部设有一排水管(12)，一盛料滚筒(2)，以卧置状态地设在所述的酸洗槽(1)内，具有一物料门(21)；一盛料滚筒驱动机构(3)，与所述的盛料滚筒(2)传动联结；一酸洗液高位贮槽(4)，配置在所述的酸洗槽(1)的上方，并且由第一管路(41)与酸洗槽(1)相通；一酸洗液低位贮槽(5)，配置在所述的酸洗槽(1)的一侧，并且由第二管路(51)与酸洗槽(1)相通；一用于将酸洗液低位贮槽(5)中的酸洗液提升到所述的酸洗液高位贮槽(41)内的酸洗液提升机构(6)，分别与酸洗液高位贮槽(4)和酸洗液低位贮槽(5)相通；一进水管路(7)，联结在酸洗槽(1)的上部并且伸入到酸洗槽(1)内；一空气置换机构(8)，与所述的酸洗槽(1)环通联结。
2、 根据权利要求1所述的硅材料清洗装置，其特征在于所述的排水管(12) 的管路上设有第一阀门(121)。
3、 根据权利要求1所述的硅材料清洗装置，其特征在于所述的盛料滚 筒(2)为鼠笼式滚筒或筛网式滚筒，盛料滚筒(2)的滚筒轴(22)的两端各通过轴 承座(221)枢设在酸洗槽(1)的对应壁体上并且与所述的盛料滚筒驱动机构(3) 联结，所述的物料门(21)设在盛料滚筒(2)的长度方向的中部。
4、 根据权利要求3所述的硅材料清洗装置，其特征在于所述的盛料滚 筒驱动机构(3)包括第一电机(31)和减速机(32),第一电机(31)与减速机(32)配 接，减速机(32)的末级动力输出轴(321)通过联轴节(3211)与所述的滚筒轴(22) 联结。
5、 根据权利要求1所述的硅材料清洗装置，其特征在于所述的第一管 路(41)上配设有第二阀门(411)。
6、 根据权利要求1所述的硅材料清洗装置，其特征在于所述酸洗液提 升机构(6)包括第二电机(61)、液泵(62)和第三、第四管路(63、 64),液泵(62) 与第二电机(61)相配接，第三管路(63)的一端与液泵(62)的出液CI相接，另一 端伸展到酸洗液高位槽(4)中，第四管路(64)的一端与液泵(62)的进液口相接， 另一端伸入到酸洗液低位槽(5)中。
7、 根据权利要求1所述的硅材料清洗装置，其特征在于所述的进水管 路(7)所伸入到酸洗槽(1)内的一端间隔设置有喷淋头(71)，并且在进水管(7) 所位于酸洗槽(1)外的一端设置有第三阀门(72)。
8、 根据权利要求1所述的硅材料清洗装置，其特征在于所述的第二管 路(51)上设有第四阀门(511)。
9、 根据权利要求1所述的硅材料清洗装置，其特征在于所述的空气置 换机构(8)包括第五、第六、第七、第八管路(81、 82、 84、 86)、第三电机(83) 和风机(85)，第五管路(81)的一端与第六管路(82)的一端联结，第五管路(81)的另一端接续在酸洗槽(l)的一侧上部并且与酸洗槽(l)相通，第六管路的另一 端与风机(85)的出风口连接，第七管路(84)的一端与第六管路(82)联结并且与 第六管路(82)相通，另一端与废气处理装置联结，第八管路(86)的一端与风机 (85)的进风口相接，另一端接至酸洗槽(l)的另一侧上部并且与酸洗槽(l)相 通，第三电机(83)与风机(85)相配接，其中所述的第六管路(82)上设有第五、 第六阀门(821、 822),所述的第七管路(84)上设有第七阀门(841)。
10、 根据权利要求9所述的硅材料清洗装置，其特征在于所述的第五管 路(81)与第六管路(82)相连接的连接部位位于所述的第五、第六阀门(821、822) 之间。
全文摘要
一种硅材料清洗装置，属于电子、电气零部件用的材料的清洗装置技术领域。包括一酸洗槽，酸洗槽的上方配有活动盖、一侧的近底部设有一排水管，一盛料滚筒，设在酸洗槽内，具物料门；一盛料滚筒驱动机构，与盛料滚筒联结；一酸洗液高位贮槽，配置在酸洗槽的上方，与酸洗槽相通；一酸洗液低位贮槽，配置在酸洗槽的一侧，与酸洗槽相通；一酸洗液提升机构，与酸洗液高位贮槽和酸洗液低位贮槽相通；一进水管路，联结在酸洗槽的上部且伸入到酸洗槽内；一空气置换机构，与酸洗槽环通联结。有害气体不会对操作工人构成影响；劳动强度低、酸洗效率高；能使酸洗槽内的废气在打开活动盖之前实施置换，又能将酸洗过程中的废气引至废气处理装置处理。
文档编号B08B3/06GK101357366SQ20081019569
公开日2009年2月4日 申请日期2008年9月4日 优先权日2008年9月4日
发明者刘志宏, 顾一飞 申请人:常熟市胜诺环保设备有限公司