专利名称：探针板清洁刷的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种清洁刷。
背景技术：
在半导体工厂内，探针板是晶圆芯片可靠性测试中所需的一个重要部件。需要保 持探针板中的探针具有一个良好的状态。需要时刻保持探针板及其上的探针的清洁干净。现有的探针板的清洁刷是采用生活中普通的带硬质刷毛的刷子。清洗探针板的时 候，先在刷毛上蘸一点清洁剂如异丙醇(IPA)，然后，用硬质刷毛正向擦洗探针板，接着，再 在硬质刷毛上蘸一点IPA，最后，再用硬质刷毛反向擦洗探针板，最终将探针板擦洗干净。然而，这种刷子及其清洗探针板的方法，经常会有刷毛的纤维落到探针板上。而 且，由于刷毛上的IPA的剂量通过蘸取，因此IPA的使用量很不精确，以致刷洗完毕后，探针 板上经常留有大量IPA残留物。由于，IPA是一种有毒物质，操作人员吸入挥发的IPA后，呼 吸道会有刺激性的症状。当皮肤接触IPA时，皮肤会发生去油的现象，可能造成二次灼伤。 一旦眼睛接触IPA时，会使得眼睛黏膜受到刺激。因此，如何提供一种降低清洁剂如IPA残留的探针板清洁刷是本领域亟待解决的 一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种探针板清洁刷，可以有效降低清洁剂残留。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案一种探针板清洁刷，包括刷杆和刷头，所述刷头的一端与所述刷杆的一端固定连 接，所述刷头的另一端为刷毛底座，所述刷毛底座上设有刷毛，所述刷杆内设有清洁剂储存 腔，所述刷头内设有清洁剂通道，所述清洁剂储存腔和所述清洁剂通道通过毛细管相连通， 所述刷杆上还设有用于挤压清洁剂的挤压机构。所述挤压机构包括设置于刷杆杆壁的开口，所述清洁剂储存腔的腔壁是由软质材 料制成。所述清洁剂通道包括设有刷头内部的主通道和设于刷毛底座内的若干导流口，所 述导流口与所述主通道相连通。所述刷毛包括硬质刷毛和软质刷毛。所述导流口设置在刷毛底座对应硬质刷毛的部位。所述硬质刷毛和软质刷毛依次间隔环绕设置于所述刷毛底座上。所述硬质刷毛和软质刷毛分别有两组。所述硬质刷毛和软质刷毛分别相对设置。本实用新型的有益效果如下本实用新型探针板清洁刷，结构简单、使用方便，通过挤压装置可以有效控制IPA 的使用量，防止有大量IPA残留。并且，通过软质刷毛可以进一步吸收残留的小部分IPA，从而使得探针板上的IPA残留量进一步降低，从而有效保护操作人员的人身安全，并对环境 保护具有积极意义。
本实用新型的探针板清洁刷由以下的实施例及附图给出。图1是本实用新型探针板清洁刷的结构示意图；图2是图1的仰视图；图3是去掉刷毛后的图1的仰视图；图4是图2的A-A剖视图；图中，1-刷杆、11-清洁剂存储腔、12-毛细管、13-开口、2-刷头、21-刷毛底座、 211-硬质刷毛、212-软质刷毛、213-导流口、22-主通道。
具体实施方式
以下将对本实用新型的探针板清洁刷作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选 实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型 的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对 本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能 和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例 的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商 业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和 耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实 施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图1-4，图1是本实用新型探针板清洁刷的结构示意图；图2是图1的仰视 图；图3是去掉刷毛后的图1的仰视图；图4是图2的A-A剖视图；这种探针板清洁刷，包括刷杆1和刷头2，所述刷头2的一端与所述刷杆1的一端 固定连接，所述刷头2的另一端为刷毛底座21，所述刷毛底座21上设有刷毛，所述刷杆1内 设有清洁剂储存腔，所述刷头2内设有清洁剂通道，所述清洁剂储存腔和所述清洁剂通道 通过毛细管12相连通，所述刷杆1上还设有用于挤压清洁剂的挤压机构。本实施例中，所 述刷头2和刷杆1螺纹连接。所述挤压机构包括设置于刷杆1杆壁的开口 13，所述清洁剂储存腔的腔壁是由软 质材料制成。当然挤压机构也可以采用其他形式，均为现有技术，在此不再赘述。所述清洁剂通道包括设有刷头2内部的主通道22和设于刷毛底座21内的若干导 流口 213，所述导流口 213与所述主通道22相连通。所述刷毛包括硬质刷毛211和软质刷 毛212。所述导流口 213设置在刷毛底座21对应硬质刷毛211的部位，以便从导流口出来 的清洁剂(IPA)直接流到硬质刷毛211上，用于擦洗探针板。[0032]本实施例中，所述硬质刷毛211和软质刷毛212依次间隔环绕设置于所述刷毛底 座21上。所述硬质刷毛211和软质刷毛212分别有两组。所述硬质刷毛211和软质刷毛 212分别相对设置。采用这种设置方式，不但美观，而且还可以分别使用硬质刷毛211和软 质刷毛212擦洗探针板。本实用新型是这样工作的请继续参阅图1-4，当需要清洗探针板的时候，先通过挤压机构挤压清洁剂存储腔 11，使得清洁剂存储腔11内的清洁剂如IPA依次经毛细管12、主通道22和导流口 213，流 到硬质刷毛211，手挤压的轻重可以控制IPA的用量。当IPA流到硬质刷毛211时，就可以 通过硬质刷毛211正向擦洗探针板。然后，再挤一些IPA到硬质刷毛211，反向擦洗探针板。 最后，用软质刷毛212吸收多余的一小部分IPA残留。本实用新型通过设置挤压装置可以有效控制IPA的使用量，防止有大量IPA残留。 而且通过软质刷毛可以进一步吸收残留的小部分IPA，从而使得探针板上的IPA残留量降 低到更低。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种探针板清洁刷，包括刷杆和刷头，所述刷头的一端与所述刷杆的一端固定连接， 所述刷头的另一端为刷毛底座，所述刷毛底座上设有刷毛，其特征在于，所述刷杆内设有清 洁剂储存腔，所述刷头内设有清洁剂通道，所述清洁剂储存腔和所述清洁剂通道通过毛细 管相连通，所述刷杆上还设有用于挤压清洁剂的挤压机构。
2.如权利要求1所述的探针板清洁刷，其特征在于，所述挤压机构包括设置于刷杆杆 壁的开口，所述清洁剂储存腔的腔壁是由软质材料制成。
3.如权利要求1所述的探针板清洁刷，其特征在于，所述清洁剂通道包括设有刷头内 部的主通道和设于刷毛底座内的若干导流口，所述导流口与所述主通道相连通。
4.如权利要求3所述的探针板清洁刷，其特征在于，所述刷毛包括硬质刷毛和软质刷毛。
5.如权利要求4所述的探针板清洁刷，其特征在于，所述导流口设置在刷毛底座对应 硬质刷毛的部位。
6.如权利要求4所述的探针板清洁刷，其特征在于，所述硬质刷毛和软质刷毛依次间 隔环绕设置于所述刷毛底座上。
7.如权利要求6所述的探针板清洁刷，其特征在于，所述硬质刷毛和软质刷毛分别有两组。
8.如权利要求7所述的探针板清洁刷，其特征在于，所述硬质刷毛和软质刷毛分别相对设置。
专利摘要本实用新型公开了一种清洁刷。这种探针板清洁刷，包括刷杆和刷头，所述刷头的一端与所述刷杆的一端固定连接，所述刷头的另一端为刷毛底座，所述刷毛底座上设有刷毛，所述刷杆内设有清洁剂储存腔，所述刷头内设有清洁剂通道，所述清洁剂储存腔和所述清洁剂通道通过毛细管相连通，所述刷杆上还设有用于挤压清洁剂的挤压机构。本实用新型探针板清洁刷，结构简单、使用方便，通过挤压装置可以有效控制清洁剂如IPA的使用量，防止有大量IPA残留。并且，通过软质刷毛可以进一步吸收残留的小部分IPA，从而使得探针板上的IPA残留量进一步降低，从而有效保护操作人员的人身安全，并对环境保护具有积极意义。
文档编号A46B9/02GK201840010SQ201020506059
公开日2011年5月25日 申请日期2010年8月26日 优先权日2010年8月26日
发明者卢秋明, 曹巍, 李德勇 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司, 武汉新芯集成电路制造有限公司