专利名称：清洗机上的喷淋装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及到清洗机，尤其涉及到清洗机上的喷淋装置。
背景技术：
清洗机通常在上料台的上方安装有喷淋装置，用于对上料台上的硅片等待清洗物 件进行清洗，使硅片保持湿润，不要让硅片上的污垢凝结，便于接下来的清洗。目前的喷淋 装置，喷射的辐射面较窄，不能将待清洗物件均勻全面地湿润。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可将待清洗物件均勻全面地湿润的 清洗机上的喷淋装置。为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为清洗机上的喷淋装置，包 括喷淋管和机架，喷淋管上设置有若干个喷嘴，机架上设置有喷淋支架，喷淋支架上设置 有平移气缸和一对相互平行的滑轨，所述的喷淋管通过滑动座活动设置在所述的一对滑轨 上，平移气缸的活塞杆与滑动座相连。所述喷淋管的两侧分别设置有一排喷嘴。所述喷淋管两侧的喷嘴错位布置。本实用新型的有益效果是本实用新型非常实用，通过平移气缸的活塞杆带着喷 啉管来回移动，从而将待清洗物件均勻全面地湿润。此外，错位布置的喷嘴使得喷洒更加均 勻。
图1是本实用新型的结构示意图。图2是图1的俯视结构示意图。图3是图1的左视结构示意图。图1至图3中1、机架，2、上料台，3、上料电机，4、喷淋支架，5、平移气缸，6、滑轨， 7、喷淋管，8、喷嘴，9、滑动座，91、滑块，10、工装篮，11、机脚，12、接口。
具体实施方式
以下结合附图，详细描述本实用新型的具体实施方案。如图1所示，本实用新型所述的清洗机上的喷淋装置，包括喷淋管7和机架1，喷 淋管7的两侧分别设置有一排喷嘴8，这两排喷嘴8呈错位布置——参见图2所示，机架1 上设置有喷淋支架4，喷淋支架4上设置有平移气缸5和一对相互平行的滑轨6，所述的喷 淋管7通过滑动座9活动设置在所述的一对滑轨6上，如图3所示，其具体设置方式为滑 动座9的底部两侧分别设置有与滑轨6相配合的滑块91，滑块91活动没置在滑轨6上，喷 淋管7固定在滑动座9上；所述平移气缸5的活塞杆与滑动座9相连。[0014] 使用时，可将供水管接在喷淋管7的接口 12上，通过上料电机3将装有硅片等待 清洗的物件的工装篮10移至喷淋管7的下方，然后，喷淋管7在平移气缸5的推动下来回 对工装篮10中的物件进行喷淋。
权利要求1.清洗机上的喷淋装置，包括喷淋管和机架，喷淋管上设置有若干个喷嘴，其特征在 于所述的机架上设置有喷淋支架，喷淋支架上设置有平移气缸和一对相互平行的滑轨，所 述的喷淋管通过滑动座活动设置在所述的一对滑轨上，平移气缸的活塞杆与滑动座相连。
2.如权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于所述喷淋管的两侧分别设置有一排喷嘴。
3.如权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于所述喷淋管两侧的喷嘴错位布置。
专利摘要本实用新型公开了一种可将待清洗物件均匀全面地湿润的清洗机上的喷淋装置，包括喷淋管和机架，喷淋管上设置有若干个喷嘴，机架上设置有喷淋支架，喷淋支架上设置有平移气缸和一对相互平行的滑轨，所述的喷淋管通过滑动座活动设置在所述的一对滑轨上，平移气缸的活塞杆与滑动座相连。本实用新型非常实用，通过平移气缸的活塞杆带着喷啉管来回移动，从而将待清洗物件均匀全面地湿润。
文档编号B08B13/00GK201832829SQ201020547758
公开日2011年5月18日 申请日期2010年9月29日 优先权日2010年9月29日
发明者陈宏 申请人:张家港市超声电气有限公司