专利名称：基板清洗装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种基板清洗装置，属于显示技术领域。
背景技术：
在液晶面板制造和半导体领域的生产工艺中，清洗工序是必然要用到的工艺之一。白玻璃(Bare Glass)从包装箱中开封后,要经过最初始的清洗,称作初步清洗(InitialClean),以保证其在基板制造过程中的表面洁净度。如图1 所不，TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜晶体管液晶显示器)阵列玻璃基板制造过程中，玻璃初步清洗时，玻璃在基板清洗装置的输送机构作用下，沿一定输送方向，自玻璃入口 A进入清洗箱100，在清洗箱100内进行玻璃清洗工艺后，再从玻璃出口 N出来。其中，清洗箱100包括沿玻璃输送方向依次设置的第一缓冲区间B、第二缓冲区间C、第一喷淋区间D、第一清洗剂区间E、第二清洗剂区间F、第二喷淋区间G、第三喷淋区间H、第四喷淋区间1、第五喷淋区间J、第六喷淋区间K、气刀区间L和第三缓冲区间M等。其中，在各清洗剂区间内，玻璃是利用设置于清洗箱100内的转动的清洗刷来刷洗玻璃表面以达到清洗目的。如图2所示，基板清洗装置的清洗箱100内的清洗刷200，是在传动轴400、马达500等驱动下转动，其中，传动轴400 —端与清洗箱100内部的清洗刷200连接，另一端穿过清洗箱100的挡板101上的过孔102，通过螺栓、丝扣等与位于清洗箱100外部的马达500进行连接。传动轴400与马达500的连接部位位于清洗箱100外部的干燥区间Z，要求干燥区间Z的环境越干燥越好。但是，由于TFT (Thin Film Transistor,薄膜晶体管)行业中所涉及到的绝大多数清洗过程(包括湿法刻蚀、湿法剥离)都需要倾斜输送(倾斜约15°角)玻璃。TFT-1XD阵列玻璃基板制造过程中，玻璃在初步清洗时，也需要倾斜输送，清洗刷200的传动轴400也是倾斜一定角度设置。这样，在玻璃输送过程中，会有大量液体沿着玻璃的倾斜方向流下。由于现有的基板清洗装置中在传动轴400与清洗箱100的挡板101上的过孔102之间的空隙没有设置密封组件，液体会沿着清洗刷200的传动轴400，从挡板101上的过孔102流出至清洗箱100外部的干燥区间；同时，在对玻璃300表面喷淋液体时，也会有部分液体贱到挡板101的过孔102与传动轴400的间隙处；这样，就会造成传动轴400、马达500等金属部件长时间在湿度很大的环境中工作，严重的话会影响马达500的稳定性，对马达500造成损害。
实用新型内容为了解决上述现有技术中基板制造过程中，会有液体从基板清洗装置的清洗箱渗透出来，而导致传动轴与驱动马达连接部位在湿度很大的环境中运行的问题，本实用新型提供了一种基板清洗装置，能够防止液体从清洗箱渗漏至清洗箱外部的干燥区间。本实用新型所提供的技术方案为[0008]一种基板清洗装置，包括用于为基板表面清洗工艺提供作业空间的清洗箱，所述清洗箱包括用于将所述作业空间与外部隔开的挡板，所述挡板上设有过孔；用于在基板表面接触并旋转，以清洗基板表面的清洗刷，设置于所述清洗箱的内部;用于带动所述清洗刷旋转的传动轴，一端通过所述过孔伸出所述挡板外，另一端与所述清洗箱内部的所述清洗刷连接；以及，用于阻止所述清洗箱内部的液体从所述挡板上的过孔流出的阻止机构，设于所述挡板的过孔处。进一步的，所述阻止机构包括一用于阻止液体顺着所述传动轴向所述过孔处流动的内套，所述内套套设于所述传动轴上并位于所述清洗刷与所述挡板之间。进一步的，所述内套包括一套设于所述传动轴上的环状的垫片，所述垫片的外径大于所述挡板上的过孔的内径。进一步的，所述阻止机构还包括一套设于所述传动轴上的环状的轴套，与环状的垫片固连为一体，其中，所述垫片位于靠近所述过孔的一端。进一步的，所述阻止机构还包括遮挡密封盖，用于遮挡所述传动轴与所述挡板之间的空隙以阻止液体由所述空隙流出。进一步的，所述遮挡密封盖为盖形结构，具有呈开口状的第一端和中心具有通孔的第二端，所述第一端的开口面积大于所述第二端的通孔面积，所述第一端和所述第二端之间为容腔；其中，并且所述第一端的开口的边沿与所述挡板固定地或可拆卸地连接，所述第二端的通孔的内缘直径大于所述传动轴外径，且所述第二端的通孔内穿装所述传动轴；或者，所述遮挡密封盖的第一端的开口朝向所述挡板，且所述第一端的开口的边沿围绕所述挡板的过孔的周围，并且所述第一端的开口的边沿与所述挡板相离，所述第二端的通孔的内缘与所述传动轴固定地或可拆卸地连接；或者，所述遮挡密封盖的第一端的开口朝向所述清洗刷，所述遮挡密封盖的第二端的通孔内穿装所述传动轴，且所述第二端的通孔内缘与所述挡板或与所述传动轴固定地或可拆卸地连接。进一步的，所述遮挡密封盖的容腔壁上设有至少一个引流口，所述引流口的水平位置低于所述挡板的过孔。进一步的，所述阻止机构包括风扇装置，所述风扇装置用于在所述挡板的过孔处产生吹向所述清洗箱内部的气流，以阻止液体从所述挡板的过孔流出的风扇装置。进一步的，所述风扇装置设置在所述过孔处，且固定在所述挡板上或者固定在所述传动轴上。进一步的，所述风扇装置包括能够在所述传动轴带动下旋转的多个风扇叶轮，所述多个风扇叶轮沿所述传动轴周向均匀分布于所述传动轴上。[0028]进一步的，所述基板清洗装置还包括用于带动所述传动轴旋转的马达，所述马达与所述传动轴伸出所述过孔外的一端连接。本实用新型的有益效果为本实用新型的基板清理装置在清洗箱的挡板的过孔处设置有一阻止机构，阻止清洗箱内的液体从挡板的过孔处流出至清洗箱外，从而保证了传动轴和马达连接部位处于干燥环境中运行，保证了设备运行稳定性，提高设备寿命。
图1表示现有技术中基板清洗装置的整体示意图；图2表示现有技术中基板清洗装置的内部结构示意图；图3表示本实用新型的基板清洗装置的第一种实施例的结构示意图；图4表示本实用新型的基板清洗装置的第二种实施例的结构示意图；图5表示本实用新型的基板清洗装置的第二种实施例中的阻止机构的结构示意图；图6表示本实用新型的基板清洗装置的第六种实施例的结构示意图；图7表示本实用新型的基板清洗装置的第十种实施例的结构示意图；图8表示本实用新型的基板清洗装置的第十一种实施例的结构示意图；图9表示本实用新型的基板清洗装置的第十二种实施例的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。在TFT-1XD阵列基板制造过程中，用于对玻璃进行初步清洗的基板清洗装置主要包括清洗箱100，清洗箱100的内部设有作业空间，该作业空间内可进行基板(玻璃)的初步清洗作业。如图1所不，清洗箱100内部设有用于输送玻璃300的输送机构(图中未不出)，并根据玻璃的清洗工艺要求，将清洗箱100沿玻璃输送方向(图中箭头所示即为玻璃输送方向)依次分为第一缓冲区间B、第二缓冲区间C、第一喷淋区间D、第一清洗剂区间E、第二清洗剂区间F、第二喷淋区间G、第三喷淋区间H、第四喷淋区间1、第五喷淋区间J、第六喷淋区间K、气刀区间L和第三缓冲区间M等多个工艺区间。当然，以上各工艺区间也可以根据需要进行调整，如更多/少的喷淋区间、更多/少的缓冲区间等。如图2所示，在清洗箱100的各清洗剂区间内，设置有清洗刷200，清洗刷200可与玻璃300表面接触，并在玻璃300表面旋转，在玻璃300表面的上方还设有向玻璃300表面喷淋液体的喷淋装置(图中未示出)，从而清洗刷200在旋转过程中，达到清洗玻璃300表面的目的。如图2所示，清洗刷200是在传动轴400和马达500的驱动下进行旋转，其中，马达500设置于清洗箱100的外部，传动轴400的一端与清洗箱100外部的马达500连接，另一端穿过清洗箱100的挡板101上的过孔102与清洗箱100内部的清洗刷200连接。由于玻璃300在初步清洗过程中，需要倾斜一定的角度输送，如图2所示，用于清洗玻璃300表面的清洗刷200也倾斜一定角度设置。[0044]现有技术中的基材清理装置玻璃300表面的液体会沿着清洗刷200的传动轴400而经过清洗箱100挡板101上的过孔102流向清洗箱100的外部，同时，在对玻璃300清洁过程中，部分液体也会溅落到过孔102，从而导致传动轴400与马达500等的连接部位处于潮湿环境中运动，影响设备稳定性。如图3至9所示，本实用新型所提供的基材清洗装置，在清洗箱100的挡板101上的过孔102处设置有阻止机构，以阻止清洗箱100内部的液体从挡板101上的过孔102流出至清洗箱100外部，保证了传动轴400与马达500的连接部位的干燥环境，保证了设备运行稳定性，提闻设备寿命。如图3所示，在本实用新型所提供的第一种实施例中，该阻止机构包括一套设于传动轴400上的内套602，且该内套602位于清洗刷200与挡板101之间。该内套602套设于传动轴400上，起到改变液体流动方向的作用。当玻璃300表面的液体由于重力作用顺着传动轴400向下流动时，液体受到内套602的阻挡，不再顺着传动轴400流下，而直接滴落至清洗箱100内，从而避免了从玻璃300表面流下的液体进入到挡板101的过孔102处。如图3所示，该内套602可以至少包括一个套设在传动轴400上的直径大于或等于挡板101上的过孔102的内径的环状的垫片6021，且垫片6021与挡板101之间的距离应较为贴近为宜，大约在2 3mm之间。如图3所示，该内套602还可以包括一套设于传动轴400上的环状的轴套6022，该轴套6022可以与环状的垫片6021固连为一体，并且垫片6021位于靠近挡板101的过孔102的一端。当然，在实际应用中，该内套602不限于包括垫片6021和轴套6022的形式，还可以采用其他结构形式，在此不再一一列举。此外，在本实用新型所提供的第二种实施例中，为了阻止液体由传动轴400与挡板101之间的空隙经过孔102流出，而流到传动轴400与马达500连接部位，如图4和图5所示，在本实用新型所提供的第一种实施例的基础上，该阻止机构还包括一遮挡密封盖601，用于遮挡传动轴400与挡板101之间的空隙以阻止液体流出。优选的，如图4和图5所示，该遮挡密封盖601为盖形结构，具有呈开口状的第一端和中心具有通孔6012的第二端，第一端的开口面积大于第二端的通孔6012的面积，且第一端和第二端之间为容腔；其中，遮挡密封盖601的第一端的开口朝向挡板101，且开口的边沿围绕挡板101的过孔102的周围，并与挡板101连接；遮挡密封盖601的第二端的通孔6012的内缘直径大于传动轴400的外径，该通孔6012内穿装传动轴400 ;内套602置于容腔内；且该内套602的环状的垫片6021的最大外径小于遮挡密封盖601容腔的内径，并大于遮挡密封盖601的第二端的通孔6012的内径。上述结构的遮挡密封盖601，由于遮挡密封盖601的第一端的开口边沿围绕挡板101的过孔102周围，并与挡板101连接，而第二端的通孔6012直径小于内套602的外径，因此，遮挡密封盖601可以罩设于内套602外，并扣装在挡板101的过孔102处，很好地防止液体由内套602和挡板101之间空隙进入到过孔102处。此外，在本实用新型所提供的第二种实施例中，优选的，遮挡密封盖601的第一端的开口的边沿与挡板101可以采用可拆卸地连接方式进行连接，比如，在遮挡密封盖601的第一端的开口的边沿上设置外螺纹，挡板101的过孔102的周围相应设置内螺纹，遮挡密封盖601通过外螺纹与内螺纹的配合，而可拆卸地连接于挡板101上，方便拆卸和维修。当然可以理解的是，在实际应用中，挡板101与遮挡密封盖601之间还可以采用焊接等方式直接固连。应当理解的是，在实际应用中，该遮挡密封盖601还可以采用其他结构形式，比如该遮挡密封盖601为环绕内套602外周设置的筒形结构，该筒形结构一端与挡板101固连，另一端直径与内套602直径相等。此外，在本实用新型所提供的第二种实施例中，玻璃300表面的液体顺着传动轴400向下流动，并有部分液体会经过遮挡密封盖601的第二端的通孔6012流向遮挡密封盖601的容腔内，这部分液体在顺着传动轴400向下流动时被内套602阻止而直接滴落于遮挡密封盖601的容腔下方，为了防止该遮挡密封盖601的容腔内的液体在积累过多，而从挡板101的过孔102处溢出，优选的，在遮挡密封盖601的容腔壁上还设置有至少一个引流口6011，且引流口 6011的水平位置低于挡板101的过孔102水平位置。由于引流口 6011的设置，遮挡密封盖601内的液体可以直接回流至清洗箱100。此外，在本实用新型所提供的第二种实施例中，优选的，如图4和图5所示，内套602的环状的轴套6022能够设置在遮挡密封盖601的第二端的通孔6012内这样，一方面环状的轴套6022进一步的阻止液体进入遮挡密封盖601的容腔内，另一方面，环状的垫片6021直径大于环状的轴套6022的外径，可以起到改变液体流向的作用，阻止液体顺着传动轴400流动，而落入遮挡密封盖601的容腔下部，环状的垫片6021还由于直径大于遮挡密封盖601第二端的通孔6012直径，还可以起到迷宫密封的作用，而进一步对遮挡密封盖601第二端的通孔6012良好密封。此外，在本实用新型所提供的第三种实施例中，相对于第二种实施例，遮挡密封盖601还可以是采用以下方式装配于该基板清洗装置上遮挡密封盖601的第一端的开口朝向挡板101，且第一端的开口的边沿围绕挡板101的过孔102的周围，并且第一端的开口的边沿与挡板101相离，第二端的通孔6012的内缘与传动轴400固定地或可拆卸地连接，也即是，相较于第二种实施例，将遮挡密封盖601的第一端开口与挡板101分开，而使得遮挡密封盖602能够随传动轴400旋转。此外，在本实用新型所提供的第四种实施例中，相对于第二种实施例，遮挡密封盖601还可以是采用以下方式装配于该基板清洗装置上遮挡密封盖601的第一端的开口朝向清洗刷200，其第二端的通孔6012内穿装传动轴400，并且第二端的通孔6012的内缘与挡板101采用固连方式或者可拆卸地方式进行连接。也即是，相较于第二种实施例，将遮挡密封盖601的第一端和第二端进行对调，并使得遮挡密封盖601能够随传动轴400转动。此外，在本实用新型所提供的第五种实施例中，相对于第四种实施例，遮挡密封盖601还可以是采用以下方式装配于该基板清洗装置上遮挡密封盖601的第一端的开口朝向清洗刷200，其第二端的通孔6012内穿装传动轴400，并且第二端的通孔6012的内缘与传动轴400采用固连方式或者可拆卸地方式进行连接。也即是，相较于第二种实施例，将遮挡密封盖601的第一端和第二端对调，并使得遮挡密封盖601第二端固定于挡板101上。此外，在本实用新型所提供的第六种实施例中，如图6所示，该阻止机构还可以仅为扣装于挡板101的过孔102处，并套设于传动轴400上的遮挡密封盖601，其设置在清洗箱100的内部，且至少一部分遮挡住挡板101的过孔102，以阻止清洗箱100内的液体溅落至挡板101的过孔102处。在本实用新型所提供的第六种实施例中，优选的，如图6所示，该遮挡密封盖601为盖形结构，具有呈开口状的第一端和中心设通孔6012的第二端，其内部具有容腔。其中，遮挡密封盖601的第一端的开口朝向挡板101，且开口的边沿围绕挡板101的过孔102的周围，并与挡板101结合，从而将遮挡密封盖601扣装于挡板101的过孔102处；遮挡密封盖601的第二端的通孔6012内穿装传动轴400。通过在清洗箱100的挡板101的过孔102处扣装一具有容腔的遮挡密封盖601，玻璃300表面上的液体沿传动轴400向下流动时，遮挡密封盖601起到阻止液体流向挡板101的过孔102处的作用；同时，遮挡密封盖601扣装在挡板101的过孔102的周围，阻止液体溅落至过孔102处。在本实用新型所提供的第六种实施例中，优选的，遮挡密封盖601的第一端的开口的边沿与挡板101采用可拆卸地连接方式进行连接，比如，在遮挡密封盖601的第一端的开口的边沿上设置外螺纹，挡板101的过孔102的周围相应设置内螺纹，遮挡密封盖601通过外螺纹与内螺纹的配合，而可拆卸地连接于挡板101上，方便拆卸和维修。当然可以理解的是，在实际应用中，挡板101与遮挡密封盖601之间还可以采用焊接等方式直接固连。此外，本实施例中，如图3所示，优选的，在遮挡密封盖601的容腔壁上开设有至少一个引流口 6011，引流口 6011的水平位置低于过孔102的水平位置，用于将进入到遮挡密封盖601的容腔内的液体回流至清洗箱100的内部。这样，即使有部分液体沿传动轴400流动时，会经过遮挡密封盖601的第二端的通孔6012进入遮挡密封盖601内，由于遮挡密封盖601的第一端的开口边沿围绕挡板101上的过孔102设置，在过孔102的下方与遮挡密封盖601之间会形成一液体的收集腔，收集腔内的液体会通过引流口 6011回流至清洗箱100内部。同样的，在本实用新型所提供的第七种实施例中，相对于第六种实施例，遮挡密封盖601还可以是采用以下方式装配于该基板清洗装置上遮挡密封盖601的第一端的开口朝向挡板101，且第一端的开口的边沿围绕挡板101的过孔102的周围，并且第一端的开口的边沿与挡板101相离，第二端的通孔6012的内缘与传动轴400固定地或可拆卸地连接。也即是，相较于第六种实施例，将遮挡密封盖601的第一端开口与挡板101分开，而使得遮挡密封盖602能够随传动轴400旋转。此外，在本实用新型所提供的第八种实施例中，相对于第六种实施例，遮挡密封盖601还可以是采用以下方式装配于该基板清洗装置上遮挡密封盖601的第一端的开口朝向清洗刷200，其第二端的通孔6012内穿装传动轴400，并且第二端的通孔6012的内缘与挡板101采用固连方式或者可拆卸地方式进行连接。也即是，相较于第六种实施例，将遮挡密封盖601的第一端和第二端进行对调，并使得遮挡密封盖601能够随传动轴400转动。此外，在本实用新型所提供的第九种实施例中，相对于第六种实施例，遮挡密封盖601还可以是采用以下方式装配于该基板清洗装置上遮挡密封盖601的第一端的开口朝向清洗刷200，其第二端的通孔6012内穿装传动轴400，并且第二端的通孔6012的内缘与传动轴400采用固连方式或者可拆卸地方式进行连接。也即是，相较于第六种实施例，将遮挡密封盖601的第一端和第二端对调，并使得遮挡密封盖601第二端固定于挡板101上。此外，在本实用新型所提供的第十种实施例中，如图7所示，在本实用新型的第一种实施例的基础上，该阻止机构还可以包括一风扇装置603，该风扇装置603设置于挡板101的过孔102处，并位于清洗箱100的外部，可以固定在挡板101上，也可以固定在传动轴400上，用于在挡板101的过孔102处产生吹向清洗箱100内部的气流，以阻止液体从挡板101的过孔102流出。在本实用新型所提供的第十种实施例中，优选的，风扇装置603包括能够在传动轴400带动下旋转的多个风扇叶轮，在传动轴400上靠近挡板101的过孔102位置处设置有轴承，多个风扇叶轮直接插入到传动轴400的轴承上，并通过螺栓固定即可；且多个风扇叶轮沿传动轴400周向均匀分布，最好是选择重量较轻、均一性好的风扇叶轮，风扇叶轮的风力尽量大，以获得更好的阻止液体渗漏的效果。此外，在本实用新型所提供的第i^一种实施例中，如图8所示，在本实用新型的第二种实施例的基础上，该阻止机构还可以包括一风扇装置603，该风扇装置603设置于挡板101的过孔102处，并位于清洗箱100的外部，可以固定在挡板101上，也可以固定在传动轴400上，用于在挡板101的过孔102处产生吹向清洗箱100内部的气流，以阻止液体从挡板101的过孔102流出。在本实用新型所提供的第i^一种实施例中，优选的，风扇装置603包括能够在传动轴400带动下旋转的多个风扇叶轮，在传动轴400上靠近挡板101的过孔102位置处设置有轴承，多个风扇叶轮直接插入到传动轴400的轴承上，并通过螺栓固定即可；且多个风扇叶轮沿传动轴400周向均匀分布，最好是选择重量较轻、均一性好的风扇叶轮，风扇叶轮的风力尽量大，以获得更好的阻止液体渗漏的效果。此外，在本实用新型所提供的第十二种实施例中，如图9所示，在本实用新型的第六种实施例的基础上，该阻止机构还可以包括一风扇装置603，该风扇装置603设置于挡板101的过孔102处，并位于清洗箱100的外部，可以固定在挡板101上，也可以固定在传动轴400上，用于在挡板101的过孔102处产生吹向清洗箱100内部的气流，以阻止液体从挡板101的过孔102流出。在本实用新型所提供的第十二种实施例中，优选的，风扇装置603包括能够在传动轴400带动下旋转的多个风扇叶轮，在传动轴400上靠近挡板101的过孔102位置处设置有轴承，多个风扇叶轮直接插入到传动轴400的轴承上，并通过螺栓固定即可；且多个风扇叶轮沿传动轴400周向均匀分布，最好是选择重量较轻、均一性好的风扇叶轮，风扇叶轮的风力尽量大，以获得更好的阻止液体渗漏的效果。应该理解的是，在本实用新型的其他实施例中，也可以在本实用新型所提供的第三、第四、第五、第七、第八或第九实施例的基础上，设置如第十一、第十二和第十三实施例中的风扇装置603 ;以及，本实用新型的上述各实施例所提供的基板清洗装置还可以包括用于给传动轴提供旋转动力的马达500 ;在此不再一一列举，本领域技术人员在本实用新型所提供的各实施例基础上，都可以作出相应改进。以上所述是本实用新型的优选实施方式， 应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种基板清洗装置，包括用于为基板表面清洗提供作业空间的清洗箱，所述清洗箱包括用于将所述作业空间与外部隔开的挡板，所述挡板上设有过孔；位于所述清洗箱内部、与基板表面接触并旋转以清洗基板表面的清洗刷；用于带动所述清洗刷旋转的传动轴，所述传动轴的一端通过所述过孔伸出所述挡板外，另一端与所述清洗刷连接；其特征在于，所述基板清洗装置还包括用于阻止所述清洗箱内部的液体从所述挡板上的过孔流出的阻止机构，设于所述挡板的过孔处。
2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于所述阻止机构包括用于阻止液体顺着所述传动轴向所述过孔处流动的内套，所述内套套设于所述传动轴上并位于所述清洗刷与所述挡板之间。
3.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于所述内套包括套设于所述传动轴上的环状的垫片，所述垫片的外径大于所述挡板上的过孔的内径。
4.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于所述内套还包括套设于所述传动轴上的环状的轴套，与环状的所述垫片固连为一体，其中所述垫片位于靠近所述过孔的一端。
5.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于所述阻止机构包括遮挡密封盖，用于遮挡所述传动轴与所述挡板之间的空隙以阻止液体由所述空隙流出。
6.根据权利要求5所述的基板清洗装置，其特征在于所述遮挡密封盖为盖形结构，具有呈开口状的第一端和中心具有通孔的第二端，所述第一端的开口面积大于所述第二端的通孔面积，所述第一端和所述第二端之间为容腔；其中，所述遮挡密封盖的第一端的开口朝向所述挡板，且所述第一端的开口的边沿围绕所述挡板的过孔的周围，并且所述第一端的开口的边沿与所述挡板固定地或可拆卸地连接，所述第二端的通孔的内缘直径大于所述传动轴外径，且所述第二端的通孔内穿装所述传动轴；或者，所述遮挡密封盖的第一端的开口朝向所述挡板，且所述第一端的开口的边沿围绕所述挡板的过孔的周围，并且所述第一端的开口的边沿与所述挡板相离，所述第二端的通孔的内缘与所述传动轴固定地或可拆卸地连接；或者，所述遮挡密封盖的第一端的开口朝向所述清洗刷，所述遮挡密封盖的第二端的通孔内穿装所述传动轴，且所述第二端的通孔内缘与所述挡板或与所述传动轴固定地或可拆卸地连接。
7.根据权利要求6所述的基板清洗装置，其特征在于所述遮挡密封盖的容腔壁上设有至少一个引流口，所述引流口的水平位置低于所述挡板的过孔。
8.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述阻止机构包括风扇装置，所述风扇装置用于在所述挡板的过孔处产生吹向所述清洗箱内部的气流，以阻止液体从所述挡板的过孔流出。
9.根据权利要求8所述的基板清洗装置，其特征在于，所述风扇装置设置在所述过孔处，且固定在所述挡板上或者固定在所述传动轴上。
10.根据权利要求8或9所述的基板清洗装置，其特征在于，所述风扇装置包括能够在所述传动轴带动下旋转的多个风扇叶轮，所述多个风扇叶轮沿所述传动轴周向分布于所述传动轴上。
11.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述基板清洗装置还包括用于带动所述传动轴旋转的马达，所述马达与所述传动轴伸出所述过孔外的一端连接。
专利摘要本实用新型所提供一种基板清洗装置，包括用于为基板表面清洗工艺提供作业空间的清洗箱，清洗箱包括用于将作业空间与外部隔开的挡板，挡板上设有过孔；用于在基板表面接触并旋转，以清洗基板表面的清洗刷，设置于清洗箱的内部；用于带动清洗刷旋转的传动轴，一端通过过孔伸出清洗箱外，另一端与清洗箱内部的清洗刷连接；用于阻止清洗箱内部的液体从挡板上的过孔流出的阻止机构，设于挡板的过孔处。本实用新型的基板清理装置在清洗槽的挡板的过孔处设置阻止机构，阻止玻璃表面的液体沿着传动轴从清洗槽的挡板的过孔处流出至清洗槽外，保证传动轴和马达连接部位在干燥环境中运行，保证设备运行稳定性，提高设备寿命。
文档编号B08B7/04GK202824004SQ20122052099
公开日2013年3月27日 申请日期2012年10月11日 优先权日2012年10月11日
发明者张磊, 李伟, 宋泳珍, 崔泰城, 古星, 秦刚, 马迪, 许国梁, 石岩, 赵磊 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司