等离子清洗用电极板和电极装置及设备的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种等离子清洗用电极板，该电极板由铝或铝合金制成，呈栅状结构，内部中空形成内腔，所述内腔具有两个开口分别用于液体注入和流出。本发明实施例提供的电极板，其材料采用铝或铝合金，具有高导电性、较强的硬度和力学性能；其结构呈栅状，可以使气体电解更充分，电解产生的等离子体充满整个腔体，清洗效果更好；其内部中空形成内腔且该内腔具有两个开口分别用于液体注入和流出，可以允许冷水循环流过内腔，对电极板进行降温，延长使用寿命。本发明实施例还提供相应的电极装置和设备。
【专利说明】等离子清洗用电极板和电极装置及设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及等离子清洗设备【技术领域】，具体涉及一种等离子清洗用电极板和电极装置及设备。
【背景技术】
[0002]现有技术中，针对电路板上钻孔加工出的各种小孔、盲孔、密孔中的残留物如胶渣(smear)等，通常采用湿法工艺去除，例如，采用高锰酸钾除胶渣工艺进行处理，但是，因为液体张力的原因，处理效果并不能满足需求。
[0003]目前，等离子体开始被应用于清洗、去钻污等领域。等离子体可以在紫外线发射莹光过程中产生，是气体电离后的物质形态，其活性组分包括离子、电子、自由基或活性基团
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[0004]—种现有的等离子清洗方法如下:真空环境中注入反应气体，在射频(RF)电流作用下形成等离子体；等离子体中的自由基等组分被电场加速，并与待清洗材料表面相互冲撞，破坏数微米深度的分子间原有的结合方式，去除一定深度的表面物质，达到清洗去污效果O
[0005]等离子清洗设备中的电极一般采用金属管状结构，具体可以是电极管。电极管可以在外加高调波的作用下产生自我偏压，使发射的电子无论哪个方向作运动，都会被排斥，从而使电子在电极管内作来回震荡运动，在碰撞到电极管之前运动更长的距离，以此增加电子与中性气体原子碰撞的几率，提闻等尚子体的生成效率。
[0006]在对现有技术的研究和实践过程中，本发明的发明人发现，现有的用于等离子清洗的管状电极还有很大的改进空间。
【发明内容】
[0007]有鉴于此，本发明实施例提供一种等离子清洗用电极板和电极装置及设备，以进一步改善电极的性能，提高等离子清洗效果。
[0008]为此，本发明实施例提供如下技术方案:
[0009]一种等离子清洗用电极板，由铝或铝合金制成，呈栅状结构，内部中空形成内腔，所述内腔具有两个开口分别用于液体注入和流出。
[0010]一种等离子清洗用电极装置，包括:两个以上如上所述的电极板，且所述的两个以上电极板彼此平行布置。
[0011]一种等离子清洗设备，包括:如上所述的电极板或者电极装置。
[0012]本发明实施例提供的电极板，其材料采用铝或铝合金，具有高导电性、较强的硬度和力学性能；其结构呈栅状，可以使气体电解更充分，电解产生的等离子体充满整个腔体，清洗效果更好；其内部中空形成内腔且该内腔具有两个开口分别用于液体注入和流出，可以允许冷水循环流过内腔，对电极板进行降温，延长使用寿命。【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1是本发明实施例提供的等离子清洗用电极板的立体示意图；
[0014]图2是本发明实施例提供的等离子清洗用电极板的截面示意图；
[0015]图3是本发明实施例提供的等离子清洗用电极装置的立体示意图；
[0016]图4是在等离子清洗用电极装置间放置电路板后的示意图。
【具体实施方式】
[0017]本发明实施例提供一种等离子清洗用电极板，可以进一步改善电极的性能，提高等离子清洗效果。本发明实施例还提供相应的和电极装置及设备。以下结合附图分别进行详细说明。
[0018]请参考图1和图2，本发明实施例提供一种等离子清洗用电极板。
[0019]所述电极板100由铝或铝合金制成，呈栅状结构，内部中空形成内腔110，所述内腔110具有两个开口 170分别用于液体注入和流出。
[0020]一种实施方式中，所述栅状结构可以是在一长方形片状本体120上开设若干规则排布的长方形镂空槽130而形成。
[0021]另一种实施方式中，所述电极板可以包括两条彼此平行的纵向电极管140和垂直连接两条纵向电极管140的两条以上横向电极管150，从而形成栅状结构，所述纵向电极管140和横向电极管150均具有中空的内腔110。
[0022]其中，两条相邻的横向电极管140的内腔110，在第一端通过一条纵向电极管140实现连通，在第二端则由另一条纵向电极管140内设置的隔板160实现隔离。从而，整个电极板100的内腔110成为一个曲折的通道，该通道的一端是用于液体注入的第一开口和用于液体流出的第二开口。
[0023]所述的两个开口应分别位于所述电极板的两个相对端。
[0024]以上，本发明实施例提供了 一种等离子清洗用电极板。
[0025]一方面，所述电极板采用铝或者铝合金为制作材料，原因是:1、铝或者铝合金材料具有高到电率，铝的原子分布的状态比较容易被电解；2、铝或者铝合金具有较高的硬度和力学性能、易于加工；3、铝容易发生氧化，氧化之后形成一层保护膜，不易与腔体内气体发生反应；4、招或者招合金材料比较便宜。
[0026]另一方面，所述电极板的形状为栅状，原因是:栅状结构可以使气体电解充分，使电解之后产生的等离子体充满整个腔体，与待清洗的印刷电路板(PCB)的板面尽可能多的发生撞击，使板面表面及钻孔中的脏污脱落，清洗效果更好。
[0027]再一方面，所述电极板内部中空形成内腔且该内腔具有两个开口分别用于液体注入和流出，原因是:等离子体撞击PCB板面的过程中，会产生高温，而高温会对电极板的寿命产生不良影响；通过采用上述结构，可以允许冷水循环流过内腔，对电极板进行降温，延长使用寿命。
[0028]请参考图3，本发明实施例还提供一种等离子清洗用电极装置，该装置包括:两个以上如图1和图2实施例所述的电极板，且所述的两个以上电极板彼此平行布置。
[0029]采用该种电极装置，在清洗PCB时，PCB和电极板彼此间隔布置，且相互平行，如图4所示，以此种布置方式，可以提高清洗效果。[0030]本发明实施例还提供一种等离子清洗设备，该设备包括:如图1和图2实施例所述的电极板，或者，如图3实施例所述的电极装置。
[0031]以上对本发明实施例所提供的等离子清洗用电极板和电极装置及设备进行了详细介绍，但以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想，不应理解为对本发明的限制。本【技术领域】的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种等离子清洗用电极板，其特征在于，所述电极板由铝或铝合金制成，呈栅状结构，内部中空形成内腔，所述内腔具有两个开口分别用于液体注入和流出。
2.根据权利要求1所述的电极板，其特征在于: 所述栅状结构是在一长方形片状本体上开设若干规则排布的长方形镂空槽而形成。
3.根据权利要求1所述的电极板，其特征在于: 所述电极板包括两条彼此平行的纵向电极管和垂直连接两条纵向电极管的两条以上横向电极管，所述横向电极管和纵向电极管均具有中空的内腔。
4.根据权利要求3所述的电极板，其特征在于: 两条相邻的横向电极管的内腔，在第一端通过一条纵向电极管实现连通，在第二端则由另一条纵向电极管内设置的隔板实现隔离。
5.根据权利要求1至4中任一所述的电极板，其特征在于: 所述的两个开口分别位于所述电极板的两个相对端。
6.一种等离子清洗用电极装置，其特征在于，包括:两个以上如权利要求1至5中任一所述的电极板，且所述的两个以上电极板彼此平行布置。
7.一种等离子清洗设备，其特征在于，包括:如权利要求1至5中任一所述的电极板，或者，如权利要求6所述的电极装置。
【文档编号】B08B7/00GK103934238SQ201310024841
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2013年1月23日 优先权日:2013年1月23日
【发明者】黄金元, 雍蓉, 王建坤, 李超 申请人:深南电路有限公司