专利名称：：高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃及其应用的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种具有高应变点、低膨胀系数、高弹性模量、基本无碱的高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，它适合于平板显示器，尤其是适合于制造TFT-LCD玻璃基板；本发明还涉及一种平板显示器用玻璃基板，它根据一种基本无碱的高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃组成生产，本发明还涉及该玻璃板在平板显示器中的应用。技术背景液晶显示器(LCD)是目前广泛应用的平面显示器主流之一。按照控制方式的不同，可分为被动矩阵式LCD及主动矩阵式LCD两种，目前应用较广泛的是主动矩阵式LCD或有源矩阵型LCD(認LCD)，也称TFT-LCD(ThinFilmTransistor-LCD)，TFT液晶显示器是在画面中的每个像素内建晶体管，可使亮度更明亮、色彩更丰富及更宽广的可视面积。有源矩阵型TFT-LCD根据驱动方式分为两种，一种是采用非晶硅a-Si(amorphousSilicon)薄膜晶体管作为有源矩阵驱动方式的液晶显示器；另一种是采用多晶硅p-Si(polycrystallineSilicon)薄膜晶体管作为有源矩阵驱动方式的液晶显示器。一片LCD面板需要使用二片玻璃基板，分别用作底层玻璃基板及彩色滤光片(ColorFilter)的底板。LCD玻璃基板可分为含碱玻璃及无碱玻璃两大类，含碱玻璃用于TN及STNLCD等被动矩阵式LCD上；用于TFT-LCD的玻璃基板，需要通过溅射、化学气相沉积(CVD)等技术在在底层基板玻璃表面形成透明导电膜、绝缘膜、半导体(多晶硅、无定形硅等)膜及金属膜，然后通过光蚀刻(Photo-etching)技术形成各种电路和图形。一般地，用作TFT型液晶显示器基板的玻璃应满足如下性质要求(1)玻璃中基本不含碱金属氧化物，在高温热处理过程中，碱金属离子会扩散到半导体膜层，损害半导体膜的性能。实际上，由于原料所带入的碱金属杂质，玻璃中的碱金属是无法避免的，一般要求碱金属含量〈1000ppm。(2)由于基板玻璃需经大量试剂清洗和蚀刻，为避免玻璃中成分析出，玻璃必须具有高的化学稳定性，特别是具有强的耐含氢氟酸等强酸试剂性能。(3)玻璃具有与多晶硅和无定形硅材料相匹配的膨胀系数，要求20—300。C之间的平均线膨胀系数a2(H。。在30—40X10—7。C的范围内。(4)玻璃应具有高的耐热性，防止热处理过程中玻璃板的收縮和变形，其应变点(粘度为10""泊的温度)应不低于65(TC，甚至更高。(5)在外观质量方面，基板玻璃应具有足够高的均匀度、平整度和无宏观缺陷。高性能显示器制造工艺包括多次精密光刻，假如TFT-LCD两基板精度不能保证，则两基板间距就会产生局部误差，直接影响到电场和象素，使显示器的灰度和色彩不均匀。平面度低的基板在光刻过程中也会导致电路出现缺陷。近年来，平板显示器向大型化发展非常迅速。在TFT-LCD面板厂家，在玻璃基板上制作多个器件后，对每个器件分割切断而成为产品，由此达到提高生产效率、降低成本的目的。因此，相应地，玻璃基板的尺寸也不断增加，目前常用的标准己经由几年前的第4代(680X880mm)和第5代(1100X1250mm)发展到第6代(1500X1800mm)和第7代(1870X2200mm)，甚至向更高的代次发展。对玻璃基板生产者而言，随之而来的便是对基板玻璃性质提出了更高的要求，为生产更大尺寸的玻璃基板原片，要求选择的基板玻璃组成，不仅能满足液晶基板品质和制备工艺所提出的各种性质要求，还要适合大尺寸玻璃基板原片的生产。随着玻璃基板向大型化、薄型化的推进，基板由于自重产生的下垂、翘角成了重大的课题。对玻璃基板生产者而言，玻璃板材成型后要经过退火、切割、加工、检验、清洗等多重环节，大尺寸玻璃薄板的下垂将影响在加工点之间运送玻璃的箱体中装入、取出和分隔玻璃板的能力，对面板制造商来讲，类似的问题同样存在。如果在两端支撑基板两边时，玻璃基板的最大下垂量(S)可以H上。用下列式子表示^,4式中，K为常数，P为密度，E为杨氏模量，l为支撑间隔，t为玻璃基板厚度。当l、t一定时，P变小E加大后可以降低下垂量，因此应使基板玻璃具有尽量低的密度和尽量高的弹性模量。
发明内容本发明的目的在于提供一种具有高应变点、低膨胀系数、高弹性模量、基本无碱的高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃及其应用。本发明的目的是这样实现的以下列各原料按重量百分率(Wt%)制备而成55—63.5Si02、8—10.5B203、15—21A1203、0—3.5Mg0、4—10Ca0、0—5Sr0、1—5.5BaO、0.001—4Y20:i、0—2.5LaA、0—0.5ZnO、0—0.3Zr02、0.005—0.08R20(R=Li，Na，K)，其中优选MgO十CaO+SrO+BaO为8—18，优选Si02+A1A为70—80，其中，优选的Al20:,含量为15—18.5，优选的Y203含量为0.l—4，优选的Mg0含量为l一3，更优选为1.5—3，优选的CaO含量为4一8.5，优选的Sr0含量为0—3，优选的Ba0含量为1一4，更优选为1—3，优选的IU)含量为0.01—0.08，玻璃中还含有至少一种选自下列组分的澄清剂0—1.5As203，0—0.8Sb20"0—1.5Sn02，0—0.5Ce02，0—2Cl。所述玻璃的密度小于2.55g/cm:i，优选不大于2.50g/cm3;20—300。C范围的平均线膨胀系数大于31X10—7。C，小于39X10—7"，优选小于38X10—7。C;应变点大于65(TC，优选不低于660。C;弹性模量大于7.2kg/rnm2，优选大7.4kg/mm2，更优选大于7.5kg/mm2，在25。C用10%强度的NH4F-HF缓冲溶液处理20分钟，其重量损失小于lmg/cm2，该玻璃特别适合用于制造平板显示器玻璃基板。本发明的又一目的是提供一种由铝硼硅酸盐玻璃形成的玻璃板，其中所述玻璃以下列各原料按重量百分率(wt%)制备而成55—63.5Si02、8—10.5B20:i、15—21A120:,、0—3,5MgO、4—10CaO、0—5SrO、1—5.5BaO、0.001—4Y203、0—2.5La20:!、0—0.5ZnO、0—0.3Zr02、0.005—0.08R20(R=Li，Na，K)，其中MgO+CaO+SrO+BaO为8—18，Si02+A1A为70—80，其中，优选的A1A含量为15—18.5，优选的^03含量为O.l—4，优选的MgO含量为l一3，更优选为1.5_3，优选的CaO含量为4一8.5，优选的SrO含量为0—3，优选的BaO含量为1一4，更优选为1一3，优选的&0含量为0.01—0.08，玻璃中还含有至少种选自下列组分的澄清剂0—1.5As203，0—0.8Sb203，0—l,5SnO"0—0.5Ce02，0—2Cl。所述玻璃的密度小于2.55g/cm3，优选不大于2.50g/cm3;20—300。C范围的平均线膨胀系数大于31X10—7。C，小于39X107'C，优选小于38X10—7°C;应变点大于65(TC，优选不低于66(TC;弹性模量大于7.2kg/mm2，优选大7.4kg/腿2，更优选大于7.5kg/mm2，在25。C用10%强度的NH4F-HF缓冲溶液处理20分钟，其重量损失小于lmg/cm、该玻璃特别适合用于制造平板显示器玻璃基板。该玻璃板的厚度小于1.0mm，较好不大于O.7mm，该玻璃板特别适合用作平板显示器玻璃基板。本发明的积极效果如下利用本发明中的玻璃配方，使用溢流下拉工艺生产，在正常情况下是不需要进行研磨处理的，但是，如果使用浮法、槽口下拉法等生产工艺，或使用溢流下拉工艺生产平板薄玻璃时工序发生异常时，例如产生划伤等情况下，为了确保玻璃质量，确保产品的成品率，就需要对玻璃表面进行研磨处理，一般经过研磨处理后的玻璃表面最大粗糙度(Rmax)可以达到5nm以下，利用截止偏压(cutoff)为0.8—8mm波长的平坦度测量仪测量，玻璃表面的平坦度在0.lum以下。依据平板显示器、特别是TFT-LCD显示器对面板所用玻璃基板的性质要求，优选的玻璃种类是含碱土金属氧化物的铝硼硅酸盐体系，该类玻璃具有低密度、低膨胀系数的特点，并具有良好的耐热性、耐化学性等性质。本发明中，Si02的重量百分率为55—63.5。Si02为主要的玻璃网络形成剂，可以降低玻璃的热膨胀系数和密度，提高玻璃应变点，但增加玻璃熔点。Si02含量低于55wt。/。时，不易获得低膨胀、低密度和高应变点的玻璃，会降低玻璃的耐酸性等化学稳定性；Si02含量在63.5wt。/。以上时，玻璃的高温粘度增加，造成玻璃熔制温度过高。B'A既是玻璃网络形成体，又是一种助熔剂，它可以降低玻璃粘度和提高玻璃稳定性，本发明中，BA的重量百分率为8—10.5，B203含量低于8wt。/。，无法起到助熔作用，不利于降低玻璃密度，同时玻璃的抗缓冲氢氟酸(朋F)溶液的能力较差，BA含量超过10.5机％时，玻璃应变点降低太大，并降低玻璃的抗酸性，同时使玻璃的分相倾向增加，降低玻璃稳定性。本发明中，Al2O3含量为15—21wt%。Al2O3可以显著提高玻璃的应变点和弹性模量，增加玻璃的化学稳定性，还可以增加玻璃稳定性，降低玻璃的热膨胀系数，Al203的另一优点是可以提高玻璃的弹性模量。A1A含量低于15wt%，不易获得高应变点的无碱玻璃，玻璃化学稳定性不足，不利于提高玻璃的弹性模量；A1A含量大于21wt。/。会显著增加玻璃的高温粘度，使熔制温度升高。MgO具有降低玻璃高温粘度、增加低温粘度的作用，还可明显提高玻璃的弹性模量。本发明中，其含量限定在0—3.5wt%，MgO含量高于3.5wt%，会降低玻璃稳定性，增加液相温度，使玻璃抗失透能力下降。为提高玻璃的弹性模量，优选的MgO含量为〉l一3.5，更优选为1.5—3.5。CaO同样具有降低玻璃高温粘度、增加低温粘度的作用，起到助熔剂作用，并可以增加玻璃耐酸性。本发明中，Ca0含量限定在4一10wt。/。之间，CaO含量大于10wtl会使玻璃膨胀系数增加过大，玻璃的抗BHF溶剂能力下降，并降低玻璃稳定性，使玻璃失透倾向增加；Ca0含量小于4wt。/。，对降低玻璃熔制温度和提高玻璃抗酸性不利。SrO和BaO均具有增加玻璃化学稳定性和提高玻璃抗失透的作用，并可以提高玻璃的抗BHF溶剂能力。本发明中，Sr0的含量限定在0—5wt。/。范围。SrO含量超过5wt。/。，会显著增加玻璃的密度和膨胀系数，不利于获得低密度和低膨胀系数玻璃，优选的SrO含量为0—3。BaO的含量限定在1一5.5wt。/。范围，BaO含量大于5.5wt。/。会显著增加玻璃的密度和膨胀系数，不利于获得高应变点和高弹性模量、低密度的玻璃，BaO的含量低于lwt。/。不利于降低玻璃的液相温度，优选的BaO含量为l一4，更优选为1—3。本发明中Si02+Al^的总量限制在70—80wt%，低于70wt呢则不利于获得低膨胀、低密度、高应变点玻璃，玻璃的化学稳定性不足，超过80wty。则玻璃的熔化温度过高，液相温度增加。MgO+CaO+SrO+BaO的总量限制在8—18wt°/o，低于8wt。/。不利于降低玻璃的熔化温度和液相温度，超过18wt。/。则造成玻璃的膨胀系数增加，应变点下降，同时液相温度反而升高。稀土金属氧化物YA可以显著地提高玻璃的弹性模量，并可降低玻璃的熔化温度，本发明中，YA的含量为0.001—4wt%。YA的含量超过4wt。/。时，对玻璃析晶稳定性不利，并过于增加玻璃成本。优选的￥203含量为0.l—4Wt%。稀土金属氧化物U^与YA—样，可以显著地提高玻璃的弹性模量，并可降低玻璃的熔化温度，但会大大增加玻璃的密度。本发明中，La力3的含量为0—2.5wt%，含量超过2.5wt。/。则大大增加玻璃密度和成本，并降低玻璃的析晶稳定性。本发明中，ZnO为非必要成分，但ZnO可以降低玻璃高温粘度、增加玻璃的耐酸性和耐BHF性，不利的是Zn0降低玻璃应变点和增加玻璃的热膨胀系数，本发明中Zn0的含量为0—0.5wt%。Zr02可以有效提高玻璃的化学稳定性、降低玻璃膨胀系数和显著提高玻璃的抗划伤能力，并有效提高玻璃的弹性模量，但ZrO,在玻璃中的溶解度小，会增加玻璃的高温粘度和提高玻璃液相温度，使玻璃的失透倾向增加，本发明中，Zr02的含量限定为0—0.3wt%。本发明的玻璃中含有微量的碱金属氧化物IU)(R二Li，Na，K)，主要由八1203、CaCO:,等原料引入，其中最主要的是化20。碱金属氧化物可以显著地降低玻璃的熔化温度，还可以抑制玻璃的分相，从而提高玻璃的析晶稳定性，但在TFT面板制造过程中，由于碱金属氧化物损害半导体膜的性能，其含量受到限制。本发明中，碱金属氧化物R20的含量不超过0.08wt%，较好不超过0.06wt%;由于玻璃中的碱金属氧化物R20是无法避免的，其含量不低于O.OOlwt%，通常不低于O.01wt%。本发明的玻璃中还含有全少种选自下列组分的澄清剂0—1.5wt%As203，0—0.8wt%SbA，0—1.5wt%Sn02，0—0.5wt%Ce02，0—2wt%Cl。其中As203可以单独使用，或与SbA结合使用，Sn02单独或与Ce02或Cl结合使用，澄清剂的含量主要是为了提高玻璃的熔制质量，减少玻璃中的气泡，但过多的澄清剂会导致玻璃稳定性下降，也会对玻璃的其它性质造成不利的影响。玻璃中的Cl可通过与玻璃成分中氧化物对应的氯化物，CaCl2、MgCl2、BaCl2等具体实施方式本发明提供了一种具有高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，该玻璃以重量百分率表示的组成为55—63.5Si02、8—10.5BA、15—21A1A、0—3.5Mg0、4一10Ca0、0—5SrO、1—5.5BaO、0.001—4Y203、0—2.5La203、0—0.5ZnO、0—0.3Zr02、0.001—0,08R20(R=Li，Na，K)，其中优选MgO+CaO+SrO+BaO为8—18，优选Si02+Al203为70—80，其中，优选的A1A含量为15—18.5，优选的丫203含量为O.l—4，优选的Mg0含量为l一3，更优选为1.5—3，优选的CaO含量为4一8.5，优选的Sr0含量为0—3，优选的Ba0含量为l一4，更优选为1一3，优选的&0含量为0.01—0.06，玻璃中还含有至少一种选自下列组分的澄清剂0—1.5As203，0—0.8Sb203，0—1.5Sn02，0—0.5Ce02，0—2Cl。所述玻璃的密度小于2.55g/cm3，优选不大于2.50g/cm3;20—300。C范围的平均线膨胀系数大于31X1(T/。C，小于39X10—7。C，优选小于38X10—7°C;应变点大于650°C，优选不低于660°C;弹性模量大于7.2kg/mm2，优选大7.4kg/咖2，更优选大于7.5kg/腦2，在25。C用10%强度的NH4F-HF缓冲溶液处理20分钟，其重量损失小于lmg/cm2，该玻璃特别适合用于制造平板显示器玻璃基板。本发明又提供一种由铝硼硅酸盐玻璃形成的玻璃板，其中所述玻璃以重量百分率表示的组成为55—63.5Si02、8—10.5B203、15—21A1203、0—3.5Mg0、4—10Ca0、0—5SrO、1—5.5Ba0、0.001—4Y203、0—2.5La203、0—0.5Zn0、0—0.3Zr02、0.001—0.08R20(R二Li，Na，K)，其中优选MgO+CaO+SrO+BaO为8—18，优选Si02+Al203为70_80，其中，优选的AL03含量为15_18.5，优选的YA含量为O.l—4，优选的MgO含量为1—3，更优选为1.5—3，优选的CaO含量为4一8.5，优选的SrO含量为0—3，优选的BaO含量为1_4，更优选为1一3，优选的&0含量为0.01—0.06，玻璃中还含有至少种选自下列组分的澄清剂0—1.5As203，0—0.8Sb203，0—1.5Sn02，0—0.5Ce02，0—2Cl。所述玻璃的密度小于2.55g/cm3，优选不大于2.50g/cm3;20—300。C范围的平均线膨胀系数大于31X10—7'C，小于39X10—7。C，优选小于38X10—7°C;应变点大于650。C，优选不低于66(TC;弹性模量大于7.2kg/,2，优选大7.4kg/匪2，更优选大于7.5kg/腿2，在25。C用10%强度的NH4F-HF缓冲溶液处理20分钟，其重量损失小于lmg/cm2，该玻璃特别适合用于制造平板显示器玻璃基板。该玻璃板的厚度小于l.Omm，较好不大于0.7mra，该玻璃板特别适合用作平板显示器玻璃基板。为了进一步说明本发明，下面给出了能够反映本发明特征的一些实施例，但这些实施例仅用于说明，不对本发明构成任何限制。表l一2为本发明的一些工作实施实例，这些工作实施实例反映了本发明中各组分不同含量组合对玻璃性质的影响，同时这些工作实施实例也形成了本发明权力要求的依据。依照表1一2中所列的组成配料，按500g玻璃配料，玻璃配合料盛于钼铑坩埚中，在高温硅钼棒电炉中用熔制4h，熔制温度160(TC，熔制好的玻璃浇注成块并退火。玻璃被加工成各种所需的试样用于性质测试。在表1—表2中详细列出实施例的氧化物组成(重量％)和玻璃性质(1)密度p[g/cm3];(2)20—300。C的平均热膨胀系数a節。。[10—7K];(3)应变点7;[。C]，粘度为10'"泊时的温度；(4)退火点ra[。C]，粘度为10'3泊时的温度;(5)工作点7:[。C]，粘度为1(V泊时的温度；(6)温度7,5[°C]，粘度为10"泊时的温度；(7)弹性模量(也称杨氏模量)f[kg/腿2];(8)耐氢氟酸缓冲液腐蚀性[mg/cm2]，6面抛光的玻璃在25'C，用10%强度的MiF-HF缓冲溶液处理20分钟的重量损失。其中，玻璃的密度p采用阿基米德法测定；20—30(TC的热膨胀系数采用膨胀计测量，以平均膨胀系数表示；玻璃的应变点和退火点采用ASTMC598所规定的弯梁法测定；玻璃的高温粘度采用旋转筒式粘度计按AS頂C965-96法测定，由Fulcher公式(也称为VFT公式)计算得到工作点7:和f2.5。按照实施例中的2号玻璃组成，在试验熔窑中熔融，通过溢流下拉法成型，生产出的一种厚度为0.7mm的玻璃板，玻璃板中无明显的夹杂物如气泡、结石等，玻璃板的平坦度、翘曲等指标达到液晶显示器玻璃基板的要求。当制成尺寸为680X880mm、厚度为0.7mm的玻璃板时，对其两个长边和一个短边进行支撑，未支撑短边的最大下垂量仅约为20.5mm。所述玻璃板的物理、化学及机械性质(表l)均可以满足液晶显示器玻璃基板的需要，该玻璃板适合用于液晶显示器面板，特别是TFT液晶玻璃面板。利用该发明中的组分生产出的玻璃，采用溢流方法生产出的玻璃外表面由于不接触除空气以外的其他任何物质，所以玻璃表面的粗糙度一般都在5A到50A左右，不用研磨可以用于生产TFT的液晶面板以及其他平板显示器面板的身产中，但是，在生产过程中，由于各种原因，特别是玻璃表面会因操作等原因，不可避免地会出现如划伤等缺陷，为了提高玻璃质量，提高生产效率，一般需要进行研磨处理。另外，该发明中的组分使用浮法工艺成型时，玻璃表面会产生因拉引引起的波纹，在靠近锡面的一面会粘浮微量的锡，这对用形成液晶面板以及其他显示器面板都是不利的，只有通过研磨方法才能消除掉。在玻璃研磨过程中，需要经过1—2次的粗研磨，然后再进行细研磨(也可称之为抛光)玻璃表面得到的需要的粗糙度。另外，该发明的组分也利用槽口方法进行了实验，同样经过1—2次的粗研磨，然后再进行细研磨(也可称之为抛光)玻璃表面得到的需要的粗糙度。三种工艺方法经过研磨处理后的玻璃利用AFM表面粗糙度设备进行测量，玻璃表面最大粗糙度(Rmax)可以达到5nm以下，另外，为了消除浮法工艺中拉引引起的表面波纹，对经过研磨以后的玻璃产品，利用日本产的SurfCom表面平坦度测量仪进行了测量，测量中，通过截止偏压(cutoff)为0.8—8咖波长，玻璃表面的平坦度均在O.lum以下。应当理解的是，本发明玻璃组成的各种实施方案均可以适用于其本发明的应用、基板玻璃以及基板玻璃的制法，并可以与它们的各种实施方案组合。特别需要说明的是，本发明的各种实施方案之间可以任意组合，而不仅限于某种特定的组合。表l玻璃组成(重量％)<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>玻璃性质<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>玻璃组成(重量％)组分101112131415161718Si0258.460.060.060.061.863.563.263.563.5B20310.08,58.59.58,58.58.58.59.5A120318.515.018.518.516.715.015.015.015.0MgO1.53.02.51.52.01.53.03.00.5CaO8.57.05.55.57.08.54.05.54.0SrO1.03,01.03.01.01.01.01.03.0BaO1.12.52.51.01.01.04.02.51.0ZnOZr020.3Y203O週0.010.50.010.0010.0010.012.5La2031.0As2031.01.01.01.01.01.01.01.01.0Sb203Sn02Ce02CIO細0.0490.0580.0580.0540.0490.0470.0480.00512,115.511.511.011.012.012.012.08.5Si02+Al20376.975.078.578.578.578.578.278.578.5玻璃性质P[g/cm3]2.452.512.462.432.462.432.442.442.43的國[10力。C]36.038.633.633.134.835.933.234.132rs[°c]669664676673672668667667665la[°c]721717729.728725724724723722127212651288131212881316131813081313r25[°c]15571538157415921571潔160015891596五[kg/mm]7.477.647.617.347.607.477.477.537,41朋F[mg/cm2]0.490.540.560,490.530.470.520.520.49权利要求1.一种高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，其特征在于以下列各原料按重量百分率(wt％)制备而成SiO255-63.5B2O38-10.5Al2O315-21MgO0-3.5CaO4-10SrO0-5BaO1-5.5ZnO0-0.5ZrO20-0.3Y2O30.001-4La2O30-2.5As2O30-1.5Sb2O30-0.8SnO20-1.5CeO20-0.5Cl0-2R2O(R＝Li，Na，K)0.005-0.08。2.如权利要求1所述的高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，其特征在于有如下优化的各原料按重量百分率(wt%)制备而成Si0255—63.5B2038—10.5A120315—18,5Mg01一3.5CaO4一10SrO0—3BaOl一4ZnO0—0.5Zr020—0.3Y2030.001—40—2.5R20(R=Li，Na，K)0.005—0.08。3.如权利要求1或2所述的高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，其特征在于所述的玻璃含有0.l—4wty。的YA。4.如权利要求l一3之一所述的高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，其特征在于所述的玻璃含有0.Ol—O.08wt9&的碱金属氧化物R20。5.如权利要求l一3之一所述的高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，其特征在于所述的玻璃中还含有至少一种选自下列组分的澄清剂0—1.5AsA，0—0.8Sb203，0—1.5Sn02，0—0.5Ce02，0—2Cl。6.如权利要求l一5之一所述的高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，其特征在于所述的玻璃的密度小于2.55g/cm3。7.如权利要求1—5之一所述的高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，其特征在于所述的玻璃在20—30(TC范围的平均线膨胀系数为31—38X107X:。8.如权利要求l一5之一所述的高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，其特征在于所述玻璃的应变点高于65(TC。9.如权利要求1—5之一所述的高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，其特征在于所述的玻璃的弹性模量大于7.2kg/腦2。10.—种用于平板显示器的玻璃板，其特征在于采用权利要求1—12之一所述的玻璃材料，其厚度不超过lmm，经过研磨后的玻璃表面粗糙度不大于0.55nm，玻璃表面的平坦度在0.lum以下。全文摘要本发明涉及一种高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，以下列原料按重量百分率制备而成55-63.5SiO<sub>2</sub>、8-10.5B<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、15-21Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、0-3.5MgO、4-10CaO、0-5SrO、1-5.5BaO、0.001-4Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、0-2.5La<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、0-0.5ZnO、0-0.3ZrO<sub>2</sub>、0.005-0.08R<sub>2</sub>O(R＝Li，Na，K)，具有高应变点、低膨胀系数、高弹性模量、基本无碱的优点，适合于平板显示器，尤其适合于制造TFT-LCD玻璃基板。文档编号C03C3/076GK101117270SQ20071005452公开日2008年2月6日申请日期2007年6月7日优先权日2007年6月7日发明者张广涛,曹国喜,凡谷,伟贾,赵文明,陈安国申请人:河南安彩高科股份有限公司;安彩液晶显示器件有限责任公司