专利名称：硅片套料工作头的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种切割工具，尤其是涉及一种带有超声振子的硅片套料工作头。
背景技术：
在硅片制造过程中，需要将硅片套料成圆形硅片，现有技术中，常常使用盘形金刚 石切割工作头在切割机上对硅片进行切割，由切割工作头作旋转及进给运动，实现对硅片 的套料切割，这种套料切割硅片的方式切割速度较慢，工作效率较低，从而也相应地提高了 硅片的加工成本。
实用新型内容本申请人针对上述的问题，进行了研究改进，提供一种硅片套料工作头，提高切割
速度，从而提高工作效率，也相应地降低硅片的加工成本。 为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下的技术方案 —种硅片套料工作头，包括工作刀头及刀柄，所述工作刀头及刀柄之间装置有超
声振子，电刷装置于套装在超声振子外的电刷套中，电刷的一端与超声振子接触，另一端与 弹性构件相抵；电刷通过导线连接超声电源。 本实用新型的技术效果在于 本实用新型公开的一种硅片套料工作头，在普通的硅片套料工作头中加入了超声 振子，在旋转及进给切割硅片的同时，由于超声振子的高频振动，加快切割速度，提高工作 效率，相应地降低硅片的加工成本。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细的说明。 如图1所示，本实用新型包括工作刀头1及刀柄4，工作刀头1及刀柄4之间装置 有超声振子5，电刷套6套装在超声振子5夕卜，电刷套6与超声振子5之间留有间隙。电刷 3装置的电刷套5中，电刷3的一端与超声振子5接触，电刷3的另一端与弹簧2相抵，电刷 3通过导线连接超声电源(未在图中画出)。 在使用时，刀柄4装入切割机和输出轴8中，电刷套6通过螺钉7固定安装在轴套 9上，打开切割机电源及超声电源，即可开始对硅片进行套料切割，在旋转及进给切割硅片 的同时，由于超声振子的高频振动，使切割速度得到提高。
权利要求一种硅片套料工作头，包括工作刀头及刀柄，其特征在于所述工作刀头及刀柄之间装置有超声振子，电刷装置于套装在超声振子外的电刷套中，电刷的一端与超声振子接触，另一端与弹性构件相抵；电刷通过导线连接超声电源。
专利摘要本实用新型涉及一种硅片套料工作头，包括工作刀头及刀柄，其特征在于所述工作刀头及刀柄之间装置有超声振子，电刷装置于套装在超声振子外的电刷套中，电刷的一端与超声振子接触，另一端与弹性构件相抵；电刷通过导线连接超声电源。本实用新型公在普通的硅片套料工作头中加入了超声振子，在旋转及进给切割硅片的同时，由于超声振子的高频振动，加快切割速度，提高工作效率，相应地降低硅片的加工成本。
文档编号B28D5/02GK201446631SQ20092004548
公开日2010年5月5日 申请日期2009年5月19日 优先权日2009年5月19日
发明者周永清 申请人:宜兴市鼎科电子电力器材厂