一种卧式收放线张力控制机构的制作方法

文档序号:1847875阅读:286来源:国知局
专利名称:一种卧式收放线张力控制机构的制作方法
技术领域
本发明属于多线切割机领域,具体的涉及一种一种卧式收放线张力控制机构。
背景技术
多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦,从而达到切割效果。在整个过程中,钢线通过十几个导线轮的引导,在主线辊上形成一张线网,而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给,可将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片,多线切割技术与其他技术相比有效率高,产能高,精度高等优点。已逐渐取代了传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割,是目前采用最广泛的半导体等硬脆材料切割技术。 多线切割机在一定速度下的钢线张力精确控制是关键的、必要的。第一要有快速的张力变动响应,保证切削时恒定的钢线张力;第二需要收线和放线有单独的排线结构,拓宽工艺路线;第三需要可靠断线检测功能,确保意外断线后及时停车;第四尽量简化结构,减少过线导轮数量,降低断线几率。在现有产品中过线轮结构不合理,由于过线轮的失效导致的断线几率较高,且在断线后没有可靠的断线检测手段。

发明内容
为克服现有技术中的不足,本发明旨在提供一种卧式收放线张力控制机构,该机构实现线切割机钢线张力的精确控制,提高钢线张力控制的可靠性,提升整体性能。为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本发明通过以下技术方案实现一种卧式收放线张力控制机构,包括基板,还包括一钢线,所述钢线由放线辊、长导线轮、放线排线导线轮、放线张力测量导轮、放线排线控制导轮控制放线侧张力;所述钢线由切削室导出后,经收线张力控制导轮、收线张力测量导轮、收线排线导轮和收线辊控制收线侧张力;限位柱固联于所述张力控制导轮和放线排线控制导论两侧;防转块固联于所述基板上,位于所述放线辊和收线辊左上方。进一步的,所述收线辊由左右两处的锥头支撑在轴上,通过螺栓、压块和蝶簧轴向定位;所述轴经联第一轴器与第一电机连接;同时所述轴由左右两处的轴承支撑于轴承座上,所述轴承座通过端面绝缘垫、第一绝缘衬套和第二绝缘衬套固联于所述基板上;所述第一电机通过联结法兰固联于所述基板。进一步的,所述收线排线导轮通过轴承支撑于导轮轴,所述导轮轴固联于直线轴,所述直线轴通过固定座、第一连杆和连板与丝杆固联,并由轴线轴承支撑于所述基板上;所述丝杆经第二联轴器与第二电机相连,并由左右两处的轴承支撑于支架上,所述支架固联于所述基板。进一步的,所述收线张力控制导轮由轴承支撑于导轮轴上,并通过第二连杆、接轴固接于第三电机,所述第三电机固联于所述基板。进一步的,所述防转块内部开有通孔,防转杆在所述通孔内自由滑动,限位杆固联于所述防转杆上。进一步的,绝缘碳刷支架固联于所述联结法兰上,碳刷座固联于所述绝缘碳刷支架上,碳刷安装在所述碳刷座内,所述碳刷座与刷环固连,所述刷环与轴固联;压指通过销铰接于所述绝缘碳刷支架上,并通过固定在支杆上弹簧施加压力于碳刷。进一步的,所述长导线轮由轴承支撑于空轴上,所述空轴与所述基板固联。与现有技术相比,本发明具有以下有益效果本发明采用伺服拖动控制钢线张力,实现钢线高速下张力的精确控制;采用独立的收放线排线结构,提升了工艺的灵活性;简化了过线导轮的空间布局,降低了断线的几率。上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段, 并可依照说明书的内容予以实施,以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本发明的具体实施方式
由以下实施例及其附图详细给出。


此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本申请的一部分,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中图I示出了本发明的外部结构示意图。图2示出了图I中K-K的剖视图。图3示出了图2中L-L的剖视图。图4示出了图I中N-N的剖视图。图中标号说明1、基板;2、放线辊;3、长导线轮;4、放线排线导线轮;5、放线张力测量导轮;6、放线排线控制导轮;7、限位柱;8、防转块;9、收线辊;10、收线排线导轮;11、收线张力测量导轮;12、收线张力控制导轮;13、钢线;14、锥头;15、螺栓;16、蝶簧;17、压块;20、第一绝缘衬套;21、第二绝缘衬套;22、端面绝缘垫;23、联结法兰;24、第一联轴器;25、第一电机;26、轴承座;27、轴;29、导轮轴;30、直线轴;31、轴线轴承;32、固定座;33、第一连杆;34、连板;35、丝杆;36、第二联轴器;37、第二电机;40、支架;42、导轮轴;43、第二连杆;44、接轴;45、第三电机;46、防转杆;47、限位杆;48、绝缘碳刷支架;49、压指;50、弹簧;51、支杆;52、销;53、碳刷座;54、碳刷;55、刷环;56、轴承;57、空轴。
具体实施例方式下面将参考附图并结合实施例,来详细说明本发明。参见图I所示,一种卧式收放线张力控制机构,包括基板1,还包括一钢线13,所述钢线13由放线辊2、长导线轮3、放线排线导线轮4、放线张力测量导轮5、放线排线控制导轮6控制放线侧张力;所述钢线13由切削室导出后,经收线张力控制导轮12、收线张力测量导轮11、收线排线导轮10和收线辊9控制收线侧张力;限位柱7固联于所述张力控制导轮12和放线排线控制导论6两侧;防转块8固联于所述基板I上,位于所述放线辊2和收线辊9左上方。进一步的,参见图2所示,所述收线辊9由左右两处的锥头14支撑在轴27上,通过螺栓15、压块17和蝶簧16轴向定位;所述轴27经联第一轴器24与第一电机25连接;同时所述轴27由左右两处的轴承支撑于轴承座26上,所述轴承座26通过端面绝缘垫22、第一绝缘衬套20和第二绝缘衬套21固联于所述基板I上;所述第一电机25通过联结法兰23固联于所述基板I。进一步的,参见图2所示,所述收线排线导轮10通过轴承支撑于导轮轴29,所述导轮轴29固联于直线轴30,所述直线轴30通过固定座32、第一连杆33和连板34与丝杆35固联,并由轴线轴承31支撑于所述基板I上;所述丝杆35经第二联轴器36与第二电机37相连,并由左右两处的轴承支撑于支架40上,所述支架40固联于所述基板I。进一步的,参见图2所示,所述收线张力控制导轮12由轴承支撑于导轮轴42上,并通过第二连杆43、接轴44固接于第三电机45,所述第三电机45固联于所述基板I。进一步的,参见图2所示,所述防转块8内部开有通孔,防转杆46在所述通孔内自由滑动,限位杆47固联于所述防转杆46上。进一步的,参见图3所示,绝缘碳刷支架48固联于所述联结法兰23上,碳刷座53 固联于所述绝缘碳刷支架48上,碳刷54安装在所述碳刷座53内,所述碳刷座53与刷环55固连,所述刷环55与轴27固联;压指49通过销52铰接于所述绝缘碳刷支架48上,并通过固定在支杆51上弹簧50施加压力于碳刷54。进一步的,参见图4所示,所述长导线轮3由轴承支撑于空轴57上,所述空轴57与所述基板I固联。以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种卧式收放线张力控制机构,包括基板(I),其特征在于还包括一钢线(13),所述钢线(13)由放线辊(2)、长导线轮(3)、放线排线导线轮(4)、放线张力测量导轮(5)、放线排线控制导轮(6)控制放线侧张力;所述钢线(13)由切削室导出后,经收线张力控制导轮(12)、收线张力测量导轮(11)、收线排线导轮(10)和收线辊(9)控制收线侧张力;限位柱(7)固联于所述张力控制导轮(12)和放线排线控制导论(6)两侧;防转块(8)固联于所述基板(I)上,位于所述放线辊(2)和收线辊(9)左上方。
2.根据权利要求I所述的卧式收放线张力控制机构,其特征在于所述收线辊(9)由左右两处的锥头(14)支撑在轴(27)上,通过螺栓(15)、压块(17)和蝶簧(16)轴向定位;所述轴(27)经联第一轴器(24)与第一电机(25)连接;同时所述轴(27)由左右两处的轴承支撑于轴承座(26)上,所述轴承座(26)通过端面绝缘垫(22)、第一绝缘衬套(20)和第二绝缘衬套(21)固联于所述基板(I)上;所述第一电机(25)通过联结法兰(23)固联于所述基板(I)。
3.根据权利要求I所述的卧式收放线张力控制机构,其特征在于所述收线排线导轮(10)通过轴承支撑于导轮轴(29),所述导轮轴(29)固联于直线轴(30),所述直线轴(30)通过固定座(32)、第一连杆(33)和连板(34)与丝杆(35)固联,并由轴线轴承(31)支撑于所述基板(I)上;所述丝杆(35)经第二联轴器(36)与第二电机(37)相连,并由左右两处的轴承支撑于支架(40)上,所述支架(40)固联于所述基板(I)。
4.根据权利要求I所述的卧式收放线张力控制机构,其特征在于所述收线张力控制导轮(12)由轴承支撑于导轮轴(42)上,并通过第二连杆(43)、接轴(44)固接于第三电机(45),所述第三电机(45)固联于所述基板(I)。
5.根据权利要求I所述的卧式收放线张力控制机构,其特征在于所述防转块(8)内部开有通孔,防转杆(46)在所述通孔内自由滑动,限位杆(47)固联于所述防转杆(46)上。
6.根据权利要求I所述的卧式收放线张力控制机构,其特征在于绝缘碳刷支架(48)固联于所述联结法兰(23)上,碳刷座(53)固联于所述绝缘碳刷支架(48)上,碳刷(54)安装在所述碳刷座(53)内,所述碳刷座(53)与刷环(55)固连,所述刷环(55)与轴(27)固联;压指(49)通过销(52)铰接于所述绝缘碳刷支架(48)上,并通过固定在支杆(51)上弹簧(50)施加压力于碳刷(54)。
7.根据权利要求I所述的卧式收放线张力控制机构,其特征在于所述长导线轮(3)由轴承支撑于空轴(57)上,所述空轴(57)与所述基板(I)固联。
全文摘要
本发明公开了一种卧式收放线张力控制机构,包括基板,还包括一钢线,所述钢线由放线辊、长导线轮、放线排线导线轮、放线张力测量导轮、放线排线控制导轮控制放线侧张力;所述钢线由切削室导出后,经收线张力控制导轮、收线张力测量导轮、收线排线导轮和收线辊控制收线侧张力;限位柱固联于所述张力控制导轮和放线排线控制导论两侧;防转块固联于所述基板上,位于所述放线辊和收线辊左上方。本发明采用伺服拖动控制钢线张力,实现钢线高速下张力的精确控制;采用独立的收放线排线结构,提升了工艺的灵活性;简化了过线导轮的空间布局,降低了断线的几率。
文档编号B28D7/00GK102672833SQ20111006413
公开日2012年9月19日 申请日期2011年3月17日 优先权日2011年3月17日
发明者张宝玉, 金万斌 申请人:苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司
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