一种硅棒切片预清洗脱胶机的喷淋槽的制作方法
【专利摘要】一种硅棒切片预清洗脱胶机的喷淋槽，包括槽体，槽体内部为槽腔，槽腔内纵向设置有托架，托架两侧平行于托架安装有喷淋杆，喷淋杆与所述预清洗脱胶机的水泵冲洗系统的出水口相连，还包括摆动装置，所述摆动装置连接喷淋杆，所述喷淋杆能绕其轴线转动，所述摆动装置驱动所述喷淋杆来回转动使水流均匀的喷淋在单晶硅片上。本实用新型通过不断调整喷淋杆的喷淋角度，使本实用新型的喷淋槽可以更好地对硅片进行冲洗，防止硅片在后续流程中出现氧化、花斑等问题。
【专利说明】一种硅棒切片预清洗脱胶机的喷淋槽
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种硅棒切片预清洗脱胶机的喷淋槽。
【背景技术】
[0002]众所周知，现代信息技术和现代电子技术的基础是半导体技术，而半导体硅是最重要的半导体材料。多线切割机以其具有极高的生产效率和出片率，广泛应用于大直径超薄硅片的切割领域。多线切割机在完成硅片切割后，硅片必须进行清洗使硅片与玻璃板脱离才能进入下个流程，硅片与玻璃板脱离这个过程就是在预清洗脱胶机中进行的。
[0003]预清洗脱胶机它包括有若干个并排设置的喷淋槽，喷淋槽内纵向设置有托架，托架两侧平行于托架固定有喷淋杆，预清洗脱胶机还包括水泵冲洗系统和位于喷淋槽上方的机械臂及用于将单晶托输入所述预清洗脱胶机的传送带，机械臂将传送带上的装满单晶硅片的单晶托放置到喷淋槽中的托架上，水泵冲洗系统的出水口与喷淋杆相连，由水泵系统控制水流对所述单晶托中的单晶硅片进行冲洗。
[0004]上述预清洗脱胶机的喷淋槽具有如下缺点，喷淋杆是固定的，只固定喷淋单晶硅片的一个位置，不但喷淋时间长，耗水量大，而且单晶硅片的清洁度还常出现不达标情况。
实用新型内容
[0005]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种清洁效果更好的喷淋槽。
[0006]本实用新型通过如下技术方案解决其技术问题:一种硅棒切片预清洗脱胶机的喷淋槽，包括槽体，槽体内部为槽腔，槽腔内纵向设置有托架，托架两侧平行于托架安装有喷淋杆，喷淋杆与所述预清洗脱胶机的水泵冲洗系统的出水口相连，其特征在于，还包括摆动装置，所述摆动装置连接喷淋杆，所述喷淋杆能绕其轴线转动，所述摆动装置驱动所述喷淋杆来回转动使水流均匀的喷淋在单晶硅片上。
[0007]所述喷淋杆在摆动装置的驱动下在与水平方向成-45°?+45°的范围内来回转动。
[0008]作为本实用新型的具体实施例:所述喷淋杆通过转轴固定在所述喷淋槽槽体正面的槽壁上，转轴的一端穿出所述喷淋槽槽体正面的槽壁后与所述摆动装置连接。
[0009]所述摆动装置包括电机、偏心轮、两个拉杆和两个摆臂，所述偏心轮固定在电机的输出轴上，偏心轮上具有一凸轴，所述两个摆臂分别固定在所述转轴穿出所述喷淋槽槽体正面的槽壁的外露端上，所述两个拉杆活动连接所述凸轴与所述两个摆臂，电机驱动偏心轮转动，偏心轮通过拉杆带动所述摆臂来回摆动，从而使所述转轴和喷淋杆来回转动，将水流均匀的喷到切割好的单晶硅片上，以更好的冲洗硅片。
[0010]本实用新型具有如下优点:本实用新型的喷淋杆可以来回转动，使水流均匀喷在切割好的硅片上，本实用新型通过不断调整喷淋杆的喷淋角度，使本实用新型的喷淋槽可以更好地对硅片进行冲洗，防止硅片在后续流程中出现氧化、花斑等问题，另外，本实用新型还能有效的节省喷淋用水，提闻喷淋效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型较佳实施例的预清洗脱胶机的喷淋槽的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0013]如图1所示，本实用新型的预清洗脱胶机的喷淋槽包括槽体1，槽体I内部为槽腔，槽腔内纵向设置有托架2，托架2两侧平行于托架安装有喷淋杆3，水泵冲洗系统的出水口与喷淋杆3相连。传送带将装满单晶硅片的单晶托输入到预清洗脱胶机内，机械臂将单晶托放置到喷淋槽中的托架2上，由水泵冲洗系统输入水流，水流从喷淋杆3中喷出，对放置在托架2中的单晶硅片进行清洗。
[0014]本实用新型的预清洗脱胶机还包括摆动装置，摆动装置用于驱动喷淋杆3在与水平方向成-45°?+45°的范围内来回转动，以便将水流均匀的喷淋在单晶硅片上，从而使经清洗后的单晶硅片具有更好的清洁效果，还有利于提到单晶硅片的清洗效率，减少清洗用水。
[0015]本实施例的喷淋杆3是通过转轴4固定在喷淋槽槽体I正面的槽壁11上，转轴4一端穿出喷淋槽槽体I正面的槽壁11。摆动装置由电机51、偏心轮52、两个拉杆53和两个摆臂54组成，偏心轮52固定在电机51的输出轴上，偏心轮52上具有一凸轴，两个摆臂54分别固定在转轴4的外露端上，两个拉杆53的两端分别与所述凸轴与所述两个摆臂54铰接。电机51在接到启动指令后开始运转，电机51跟偏心轮52连在一起，偏心轮52带动拉杆53，动力在拉杆53的传递下使喷淋杆3来回转动，水流通过喷淋杆3以不同地角度冲洗单晶硅片，达到清洗目的。
[0016]需要指出的是，以上实施例只用于对本实用新型作进一步说明，不代表本实用新型的保护范围，其他人根据本实用新型的提示做出的非本质的修改和调整，仍属于本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种硅棒切片预清洗脱胶机的喷淋槽，包括槽体，槽体内部为槽腔，槽腔内纵向设置有托架，托架两侧平行于托架安装有喷淋杆，喷淋杆与所述预清洗脱胶机的水泵冲洗系统的出水口相连，其特征在于，还包括摆动装置，所述摆动装置连接喷淋杆，所述喷淋杆能绕其轴线转动，所述摆动装置驱动所述喷淋杆来回转动使水流均匀的喷淋在单晶硅片上。
2.根据权利要求1所述的硅棒切片预清洗脱胶机的喷淋槽，其特征在于，所述喷淋杆在摆动装置的驱动下在与水平方向成-45°?+45°的范围内来回转动。
3.根据权利要求2所述的硅棒切片预清洗脱胶机的喷淋槽，其特征在于，所述喷淋杆通过转轴固定在所述喷淋槽槽体正面的槽壁上，转轴的一端穿出所述喷淋槽槽体正面的槽壁后与所述摆动装置连接。
4.根据权利要求3所述的硅棒切片预清洗脱胶机的喷淋槽，其特征在于，所述摆动装置包括电机、偏心轮、两个拉杆和两个摆臂，所述偏心轮固定在电机的输出轴上，偏心轮上具有一凸轴，所述两个摆臂分别固定在所述转轴穿出所述喷淋槽槽体正面的槽壁的外露端上，所述两个拉杆活动连接所述凸轴与所述两个摆臂。
【文档编号】B28D7/02GK203854109SQ201420168212
【公开日】2014年10月1日 申请日期:2014年4月9日 优先权日:2014年4月9日
【发明者】王建锁, 范靖, 李伟浩 申请人:阳光硅谷电子科技有限公司