单晶硅切片机用切片机构的制作方法

文档序号:15287721发布日期:2018-08-29 00:19阅读:826来源:国知局

本实用新型涉及硅切片生产用设备技术领域,具体地说,尤其涉及一种单晶硅切片机用切片机构。



背景技术:

单晶硅片是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,广泛用于制造半导体器件、太阳能电池等行业,而单晶硅片是通过切片机有序的从硅棒上加工所得。

现有技术中,单晶硅切片机包括可上下移动的升降台,在升降台上设置可拆卸的粘棒工装,粘棒工装上粘结树脂板,树脂板上固定晶棒,再利用金刚线对晶棒进行切割。然而现有的切片机存在如下缺点:对粘棒工装的定位效果一般,在切片过程中粘棒工装仍有活动可能,不能保证硅晶片的加工精度;切片过程中产生的杂质易随着金刚线带入导线轮槽中,影响正常使用。



技术实现要素:

为了解决上述问题,本实用新型公开了一种单晶硅切片机用切片机构,结构稳定,能够确保粘棒工装的锁定可靠性。

本实用新型是通过以下技术方案实现的:

一种单晶硅切片机用切片机构,包括导线轮、金刚线、升降台、粘棒工装及晶棒,所述金刚线绕设在所述导线轮上,所述升降台设置在所述金刚线的上方,所述升降台的下方连接有粘棒工装,所述粘棒工装的上端设有若干凸块,所述升降台的下端设有与凸块相匹配的凹槽,锁紧螺母穿过升降台及凸块将粘棒工装与升降台固定连接,所述粘棒工装的下端连接有树脂板,所述树脂板的下表面粘接有晶棒,所述金刚线的下方设有喷嘴。

所述粘棒工装的下端设有凹槽,所述树脂板固定在凹槽内。

所述喷嘴内通入氮气。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

本实用新型结构稳定,利用凸块锁定结构将粘棒工装可靠的定位在升降台下方,防止在切片过程中粘棒工装发生活动,进而保证了硅晶片的加工精度;喷嘴能够将落在金刚线上的碎片及时吹去,避免切片过程中产生的碎片随着金刚线被带入导线轮的线槽中,有效保证了切线机构的正常使用。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图;

图2是本实用新型图1A处的放大结构示意图。

图中:1、导线轮;2、升降台;3、粘棒工装;4、凸块;5、锁紧螺母;6、树脂板;7、晶棒;8、金刚线;9、喷嘴。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步说明:

一种单晶硅切片机用切片机构,包括导线轮1、金刚线8、升降台2、粘棒工装3及晶棒7,所述金刚线8绕设在所述导线轮1上,所述升降台2设置在所述金刚线8的上方,所述升降台2的下方连接有粘棒工装3,所述粘棒工装3的上端设有若干凸块4,所述升降台2的下端设有与凸块4相匹配的凹槽,锁紧螺母5穿过升降台2及凸块4将粘棒工装3与升降台2固定连接,所述粘棒工装3的下端连接有树脂板6,所述树脂板6的下表面粘接有晶棒7,所述金刚线8的下方设有喷嘴9。

所述粘棒工装3的下端设有凹槽,所述树脂板6固定在凹槽内。

所述喷嘴9内通入氮气。

如说明书附图图1及图2所示,一种单晶硅切片机用切片机构,包括导线轮1、金刚线8、升降台2、粘棒工装3及晶棒7,金刚线8绕设在导线轮1上,升降台2设置在金刚线8的上方,升降台2的下方连接有粘棒工装3,粘棒工装3的上端设有若干凸块4,升降台2的下端设有与凸块4相匹配的凹槽,锁紧螺母5穿过升降台2及凸块4将粘棒工装3与升降台2固定连接,粘棒工装3的下端设有凹槽,树脂板6固定在凹槽内,粘棒工装3的下端连接有树脂板6,树脂板6的下表面粘接有晶棒7,金刚线8的下方设有喷嘴9,喷嘴9内通入氮气。

本实用新型粘棒工装3的上端设有两个凸块4,粘棒工装3的凸块结构能够将粘棒工装3精确定位并固定在升降台2的下方,利用锁紧螺母5固定,方便拆卸及安装;粘棒工装3的下端具有凹槽结构,树脂板6及晶棒7的上端固定在凹槽内,由于晶棒7与粘棒工装3是采用粘接方式固定,因此这种结构增加了晶棒7与粘棒工装3的粘接面积,结构更稳固。

金刚线8下方的喷嘴9能够将其表面的碎片吹走,避免切片过程中产生的碎片随着金刚线8带入导向轮1中。

综上所述,仅为本实用新型的较佳实施例而已,并非用来限定本实用新型实施的范围,凡依本实用新型权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰,均应包括于本实用新型的权利要求范围内。

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