金刚线截断机的制作方法

文档序号:15287727发布日期:2018-08-29 00:19阅读:396来源:国知局

本实用新型涉及硅棒加工设备技术领域,特别是涉及一种金刚线截断机。



背景技术:

金刚线截断机广泛应用于硅晶棒制造行业。然而,传统的金刚线截断机采用移动式金刚线来切割晶棒,运行过程中不能单独上料,一旦开机之后只能等切割完毕后方可再次安装晶棒。因此,传统的金刚线截断机不能实现连续上料,不利于应用。



技术实现要素:

基于此,有必要针对传统的金刚线截断机不能实现连续上料的问题,提供一种能够实现连续上料的金刚线截断机。

一种金刚线截断机,包括:

至少两个导轮;

金刚线,环绕设置于所述导轮外侧;

以及升降机构,位于所述金刚线的一侧,所述升降机构包括:

基座;

升降平台,所述升降平台上设置有至少两个用于托举晶棒的晶棒夹紧块,所述晶棒夹紧块的表面设有用于托举晶棒的凹槽;

以及两个升降单元,用于驱动所述升降平台升降,两个所述升降单元分别位于所述升降平台的两端,且固定于所述基座上;所述升降单元包括位于晶棒一侧的电动马达与丝杆、以及位于晶棒另一侧的第三元件,所述第三元件为电动马达与丝杆的组合、或者滑轨。

上述金刚线截断机中,将晶棒安装在晶棒夹紧块上之后,两个升降单元能够驱动升降平台独立升降,从而带动晶棒匀速上升或者下降。待晶棒完全切断后,可将剩余晶棒移动至下一位置继续进行切割,也可以更换新的晶棒进行切割。因此,能够实现连续上料,有利于提高金刚线截断机的运转效率,节约生产成本。

在其中一个实施例中,所述两个升降单元分别为第一升降单元和第二升降单元,所述第一升降单元包括:

第一电动马达,固定于所述基座上;

第一丝杆,一端与所述第一电动马达连接,所述第一丝杆受所述第一电动马达驱动时旋转;

以及第一滑轨,用以导向所述升降平台的一端移动,所述第一滑轨固定于所述基座上。

在其中一个实施例中,所述第二升降单元包括:

第二电动马达,固定于所述基座上;

第二丝杆,一端与所述第二电动马达连接,所述第二丝杆受所述第二电动马达驱动时旋转;

以及第二滑轨,用以导向所述升降平台的另一端移动,所述第二滑轨固定于所述基座上。

在其中一个实施例中,所述第一电动马达与所述第二电动马达位于晶棒的同一侧。

在其中一个实施例中,所述两个升降单元分别为第一升降单元和第二升降单元,所述第一升降单元包括:

第一电动马达,固定于所述基座上;

第一丝杆,一端与所述第一电动马达连接,所述第一丝杆受所述第一电动马达驱动时旋转;

第三电动马达,固定于所述基座上;

以及第三丝杆,一端与所述第一电动马达连接,所述第三丝杆受所述第一电动马达驱动时旋转。

在其中一个实施例中,所述第二升降单元包括:

第二电动马达,固定于所述基座上;

第二丝杆,一端与所述第二电动马达连接,所述第二丝杆受所述第二电动马达驱动时旋转;

第四电动马达,固定于所述基座上;

以及第四丝杆,一端与所述第二电动马达连接,所述第四丝杆受所述第二电动马达驱动时旋转。

在其中一个实施例中,所述晶棒夹紧块的个数为至少三个,且至少三个所述晶棒夹紧块均沿晶棒的轴向排布。

在其中一个实施例中,所述晶棒夹紧块的个数为至少四个,且至少四个所述晶棒夹紧块分别沿晶棒的轴向和径向排布,以同时托举至少两根晶棒。

在其中一个实施例中,所述金刚线截断机的升降机构的个数为一个。

在其中一个实施例中,所述金刚线截断机的升降机构的个数为至少两个。

附图说明

图1为本实用新型第一实施方式的金刚线截断机的示意图;

图2为本实用新型一实施方式的升降机构的左视图;

图3为本实用新型一实施方式的升降机构的俯视图;

图4为本实用新型第二实施方式的金刚线截断机的示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进,因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

请参见图1,本实用新型第一实施方式的金刚线截断机200包括四个导轮210、金刚线220以及升降机构100。

其中,需要说明的是,导轮210的个数不限于本实施方式的四个,还可以根据实际情况进行设置。例如,导轮210的个数还可以为两个。此时,导轮210的直径需大于晶棒的直径,以使晶棒可完全位于金刚线围成的区域内。

其中,金刚线220布线时,将其依次环绕设置在四个导轮210的外侧,构成不交叉的金刚线线网。

其中,升降机构100位于金刚线220一侧。本实施方式的升降机构100的个数为3个。这3个金刚线截断机的升降机构100平行排列,能够同时完成多根晶棒300的连续切割。此外,这3个金刚线截断机的升降机构100相互独立,互不干扰,可以在不停机的状态下随时上料。保证了金刚线截断机200来料后随时加工,提高了金刚线截断机200的运转效率。

请一并参见图2和图3,一实施方式的升降机构100包括基座110、两个升降单元、升降平台160以及五个晶棒夹紧块170。

其中,升降平台160上设置有至少两个用于托举晶棒300的晶棒夹紧块170。具体的,晶棒夹紧块170固定于升降平台160上。当然,晶棒夹紧块170的位置可以根据实际情况进行设置。

此外,晶棒夹紧块170的表面设有用于托举晶棒300的凹槽171。本实施方式的凹槽171的内表面为半圆形,这样可以与晶棒的外表面形状一致,将晶棒的下半部分完全卡合在凹槽171中,有利于固定晶棒,避免晶棒在切割过程中滑移。

其中,两个升降单元用于驱动升降平台160升降,两个升降单元分别位于升降平台160的两端,且固定于基座110上。升降单元包括位于晶棒300一侧的电动马达与丝杆、以及位于晶棒300另一侧的第三元件,第三元件为电动马达与丝杆的组合、或者滑轨。

本实施方式的两个升降单元分别为第一升降单元和第二升降单元。其中,第一升降单元包括第一电动马达120、第一丝杆140以及第一滑轨180。第二升降单元包括第二电动马达130、第二丝杆150以及第二滑轨190。

其中,基座110用于支撑第一电动马达120、第二电动马达130、第一丝杆140、第二丝杆150、升降平台160、晶棒夹紧块170、第一滑轨180以及第二滑轨190。

其中,第一电动马达120与第二电动马达130分别固定于基座110的两端。第二电动马达130与第一电动马达120分别用于提供使晶棒两端升降的动力。

其中,第一丝杆140的一端与第一电动马达120连接,第一丝杆140受第一电动马达120驱动时旋转。

其中,第二丝杆150的一端与第二电动马达130连接,第二丝杆150受第二电动马达130驱动时旋转。

其中,第一丝杆140与第二丝杆150旋转时驱动升降平台160上升或者下降。具体的,升降平台160的两端分别套设于第一丝杆140和第二丝杆150的外围,且与第一丝杆140、第二丝杆150螺纹连接。当第一丝杆140和第二丝杆150旋转时,可驱动升降平台160平移。

其中,第一滑轨180用以导向升降平台160的一端移动,第一滑轨180固定于基座110上,且位于第一电动马达120的一侧。

其中,第二滑轨190用以导向升降平台160的一端移动,第二滑轨190固定于基座110上,且位于第二电动马达130的一侧。

本实施方式中,将晶棒300安装在晶棒夹紧块170上之后,第一电动马达120和第二电动马达130能够驱动晶棒300匀速上升或者下降,且第一滑轨180和第二滑轨190能够保证晶棒300移动过程中的水平度,避免了因升降平台倾斜导致晶棒截断面斜面的产生。

在前述实施方式的基础上,第一电动马达120与第二电动马达130位于晶棒300的同一侧,如图2和图3所示。这样有利于在托举晶棒300匀速运动的过程中,晶棒300均匀受力。

在前述实施方式的基础上,晶棒夹紧块170的个数为至少三个,且至少三个晶棒夹紧块170均沿晶棒300的轴向排布。既能对晶棒300起到均匀的支撑力,又能节省材料,从而节省成本。

在前述实施方式的基础上,晶棒夹紧块170的个数为至少四个,且至少四个晶棒夹紧块170分别沿晶棒300的轴向和径向排布,以同时托举至少两根晶棒300。这样能够使金刚线截断机同时对多根晶棒300进行切割,提高生产效率。

在前述实施方式的基础上,金刚线截断机的升降机构100的个数为一个或者至少两个。金刚线截断机的升降机构100的个数可以根据具体需求进行设置。

本实施方式的金刚线截断机的升降机构中,将晶棒安装在晶棒夹紧块上之后,第一电动马达和第二电动马达能够驱动升降平台独立升降,从而带动晶棒匀速上升或者下降,且第一滑轨和第二滑轨能够保证晶棒移动过程中的水平度。待晶棒完全切断后,可将剩余晶棒移动至下一位置继续进行切割,也可以更换新的晶棒进行切割。因此,能够实现连续上料,有利于提高金刚线截断机的运转效率,节约生产成本。

需要说明的是,本实用新型的金刚线截断机中,升降机构的升降单元不限于此。

在另一实施方式中,两个升降单元分别为第一升降单元和第二升降单元,第一升降单元包括第一电动马达、第一丝杆、第三电动马达(未图示)以及第三丝杆(未图示)。

其中,第一电动马达固定于基座上。第一丝杆的一端与第一电动马达连接,第一丝杆受第一电动马达驱动时旋转。第三电动马达固定于基座上。第三丝杆的一端与第一电动马达连接,第三丝杆受第一电动马达驱动时旋转。

第二升降单元包括第二电动马达、第二丝杆、第四电动马达(未图示)以及第四丝杆(未图示)。

其中,第二电动马达固定于所述基座上。第二丝杆的一端与第二电动马达连接,第二丝杆受第二电动马达驱动时旋转。第四电动马达固定于基座上。第四丝杆的一端与第二电动马达连接,第四丝杆受第二电动马达驱动时旋转。

此外,需要说明的是,本实用新型的金刚线截断机不限于上述实施方式。

请参见图4,本实用新型第二实施方式的金刚线截断机400包括四个导轮410、金刚线420以及升降机构500。

其中,金刚线截断机的升降机构500包括升降平台560以及固定于升降平台560上的三列晶棒夹紧块570。

第二实施方式的金刚线截断机400中,采用一个金刚线截断机的升降机构500即可同时完成多根晶棒600的连续切割,提高了金刚线截断机400的运转效率。

当然,在其他实施方式中,还可以采用第一实施方式的金刚线截断机的升降机构100与第二实施方式的金刚线截断机的升降机构500的组合。

本实用新型的金刚线截断机中,将晶棒安装在晶棒夹紧块上之后,两个升降单元能够驱动升降平台独立升降,从而带动晶棒匀速上升或者下降。待晶棒完全切断后,可将剩余晶棒移动至下一位置继续进行切割,也可以更换新的晶棒进行切割。因此,能够实现连续上料,有利于提高金刚线截断机的运转效率,节约生产成本。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

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