一种多线切割装置的制作方法

本实用新型涉及切割装置，特别涉及一种多线切割装置，属于多线切割技术领域。

背景技术：

单晶碳化硅作为第三代宽禁带半导体材料，具有优越的性能,近年来迅速渗透到照明，电力器件，微波射频等，在制造耐高温和抗辐射的高频大功率器件方面具有广阔的应用前景，已成为国际关注的焦点，在下一代功率器件的制造和外延生长中，对单晶材料最终的表面质量有严格的要求，然而，由于,SiC晶体的硬度高(莫氏硬度为9.2，仅次于金刚石)，化学稳定性非常好(常温下几乎不与其他物质发生明显的化学反应)，因此SiC衬底很难加工得到，其中又以线切割站影响最大，切割的品质优劣，直接影响到后段加工良率，甚至影响到外延稳定性，现有技术中在整个切割过程中使用同厚度沾接板或者同厚度树脂条进行切割，导致进出线端BOW/Warp不一致，在切割行程末期，出线端由于线弓较大，会导致线痕过深。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种多线切割装置，以解决上述背景技术中提出的现有技术中在整个切割过程中使用同厚度沾接板或者同厚度树脂条进行切割，导致进出线端BOW/Warp不一致，在切割行程末期，出线端由于线弓较大，会导致线痕过深的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多线切割装置，包括工作载台，所述工作载台的顶端设有浆料箱，所述工作载台底端的两侧分别设有第一沾接板和第二沾接板，所述第一沾接板的底端和第二沾接板的底端均设有晶棒，所述工作载台的两侧均开设有滑槽，两个所述滑槽的内部均滑动连接有横杆，两个所述横杆的底端固定连接有喷射带，所述喷射带底部的一侧开设有凹槽，所述凹槽的内壁面设有若干喷头，所述晶棒的底部设有切割装置，所述切割装置的底部设有收集箱，所述收集箱的一侧设有腔室，所述腔室的内部固定设有水泵，所述水泵的出水口通过通料管道与浆料箱的内部相通。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述收集箱底部的一侧通过连通管与水泵的进水口相通。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述切割装置由两个工作导轮和切割线组成，两个所述工作导轮之间通过切割线传动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述工作载台的两端均设有固定杆，所述水泵通过设置在工作载台一侧的第一开关与外接电源电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述喷射带的内部设有水管，所述水管的一端与浆料箱的内部相通，所述水管的另一端与喷头相通。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一沾接板的厚度大于第二沾接板的厚度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型一种多线切割装置，通过设立厚度不同的第一沾接板和第二沾接板，将较厚沾接板放至于出线端，使得出线端晶棒与切割线接触时间较长，进而补正出线端切割能力较弱问题，从而改善出线端的弯曲度和翘曲度。

附图说明

图1为本实用新型正面结构示意图；

图2为本实用新型的滑槽的结构示意图。

图中：1、切割装置；2、喷头；3、凹槽；4、晶棒；5、第一沾接板；6、浆料箱；7、工作载台；8、第二沾接板；9、横杆；10、喷射带；11、滑槽；12、切割线；13、工作导轮；14、固定杆；15、通料管道；16、水泵；17、腔室；18、收集箱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供了一种多线切割装置，包括工作载台7，工作载台7的顶端设有浆料箱6，工作载台7底端的两侧分别设有第一沾接板 5和第二沾接板8，第一沾接板5的底端和第二沾接板8的底端均设有晶棒4，工作载台7的两侧均开设有滑槽11，两个滑槽11的内部均滑动连接有横杆9，两个横杆9的底端固定连接有喷射带10，喷射带10底部的一侧开设有凹槽3，凹槽3的内壁面设有若干喷头2，晶棒4的底部设有切割装置1，切割装置1 的底部设有收集箱18，收集箱18的一侧设有腔室17，腔室17的内部固定设有水泵16，水泵16的出水口通过通料管道15与浆料箱6的内部相通。

优选的，收集箱18底部的一侧通过连通管与水泵16的进水口相通，位于收集箱18内部的浆料通过连通管输送至水泵16，被水泵16加压。

优选的，切割装置1由两个工作导轮13和切割线12组成，两个工作导轮13之间通过切割线12传动连接，工作导轮13引导着切割线12来回运动，带动浆料对晶棒4进行切割。

优选的，工作载台7的两端均设有固定杆14，水泵16通过设置在工作载台7一侧的第一开关与外接电源电性连接，通过固定杆14将横杆9固定在工作载台7上，从而调整喷头2的高度。

优选的，喷射带10的内部设有水管，水管的一端与浆料箱6的内部相通，水管的另一端与喷头2相通，浆料箱6内部的浆料通过水管进入到喷头2。

优选的，第一沾接板5的厚度大于第二沾接板8的厚度，将较厚沾接板放至于出线端，使得出线端晶棒4与切割线接触时间较长，进而补正出线端切割能力较弱问题，从而改善出线端的弯曲度和翘曲度。

具体使用时，本实用新型一种多线切割装置，在滑槽11内部滑动横杆9，进而调整喷射带10和喷头2的高度，工作导轮13引导着切割线12来回运动，浆料箱6内部的浆料通过水管进入到喷头2，喷射在切割线12与晶棒4的接触面，切割线12带动浆料对晶棒4进行切割，第一沾接板5的厚度大于第二沾接板8的厚度，将较厚沾接板放至于出线端，使得出线端晶棒4与切割线接触时间较长，进而补正出线端切割能力较弱问题，从而改善出线端的弯曲度和翘曲度，切割后的浆料通过切割装置1，落入收集箱18内部，位于收集箱18内部的浆料通过连通管输送至水泵16，被水泵16加压，重新加入浆料箱6内部。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。