一种晶棒处理装置及控制方法与流程

[0001]
本发明涉及半导体处理技术领域，特别是涉及一种晶棒处理装置及控制方法。


背景技术：

[0002]
半导体在通信系统、光伏发电、集成电路、消费电子、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。
[0003]
另一方面，将多晶硅料加入到石英坩埚内，经过加热使其为熔融状态，接着使用多重提拉法将其制成单晶硅棒。在提拉单晶硅棒时，单晶硅棒底部会有尖头，而且提拉出来的单晶硅棒上下直径不同，因此需要将其进行处理。现有技术是将单晶硅棒的尖头先切掉，然后再拿取进行打磨，使其上下的直径相同，而且最后还要将切掉的单晶硅棒的尖头进行收集再磨碎，因此使其操作繁琐，浪费时间和浪费动力。为此，我国公开的专利号cn201910196834.7提供了一种半导体晶棒处理设备，用于解决上述问题。
[0004]
但是，专利号cn201910196834.7提供的一种半导体晶棒处理设备中存在如下确缺点：1、当多个晶棒落入到第一收集箱内后，无法对晶棒进行有序排列，从而每次落下一个晶棒后需要第一时间从第一收集箱内取出，作业繁琐、劳动强度大；2、晶棒在第二套筒内下落的过程中，没有缓冲的功能，使得晶棒迅速落入到第一收集箱内，晶棒的底端撞击第一收集箱的内底面，存在晶棒的底端被撞击损坏的风险，提高生产成本。


技术实现要素：

[0005]
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种晶棒处理装置，用于解决现有技术中当多个晶棒落入到第一收集箱内后，无法对晶棒进行有序排列，从而每次落下一个晶棒后需要第一时间从第一收集箱内取出，作业繁琐、劳动强度大；晶棒在第二套筒内下落的过程中，没有缓冲的功能，使得晶棒迅速落入到第一收集箱内，晶棒的底端撞击第一收集箱的内底面，存在晶棒的底端被撞击损坏的风险，提高生产成本的问题。
[0006]
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种晶棒处理装置，包括：收集箱、直线驱动机构、伸缩件、托起机构和吸气机构，所述直线驱动机构设置在收集箱的一端外壁上，所述直线驱动机构沿着收集箱的前、后方向分布，所述伸缩件安装在直线驱动机构上，所述伸缩件沿着收集箱的左、右方向分布，所述托起机构竖直设置在伸缩件的内端上，所述吸气机构设置在收集箱的侧壁上，且吸气机构和托起机构互相连通；
[0007]
所述托起机构包括底托件和侧挡件，所述侧挡件固定在底托件的顶面右端上，所述侧挡件采用半圆弧板状结构，所述半圆弧板状结构的内部开设有空腔，所述侧挡件的内侧开设有多个出气孔，且出气孔和空腔互相连通，所述吸气机构的吸气端通过接头和空腔连通；
[0008]
所述侧挡件的顶端设有摄像头，所述摄像头的拍摄角度朝向半圆弧板状结构的开
口侧分布；
[0009]
还包括控制模块，所述控制模块分别和直线驱动机构、伸缩件、吸气机构、摄像头电性连接。
[0010]
优选的，所述直线驱动机构包括两个第一安装板、螺纹杆、移动块、导向杆和第一驱动件，两个所述第一安装板固定在收集箱的右侧上，所述螺纹杆转动设置在两个第一安装板之间，所述导向杆固定设置在两个第一安装板之间，所述第一驱动件安装在收集箱后侧的位置处，所述第一驱动件的输出轴和螺纹杆的一端连接，所述移动块设置在螺纹杆和导向杆之间，所述移动块和螺纹杆之间为螺纹连接，所述移动块和导向杆之间滑动连接。
[0011]
优选的，所述吸气机构包括第一气泵和软管，所述第一气泵安装在收集箱的右侧上，所述第一气泵位于直线驱动机构的上方，所述软管的外端和第一气泵连通，所述软管的内端和侧挡件内部的空腔连通。
[0012]
优选的，还包括抵挡机构，所述抵挡机构活动设置在收集箱的前、后侧壁的顶端之间，所述抵挡机构能够抵挡住软管，避免软管完全落入到收集箱内，从而避免软管缠绕住收集箱内的晶棒。
[0013]
优选的，所述抵挡机构包括抵挡块、抵挡杆和两个抵挡滚轮，所述抵挡块固定在软管的中间位置处的外围，所述收集箱的前、后侧壁的顶端均开设有滚槽，两个所述抵挡滚轮分别滚动设置在两个滚槽内，所述抵挡杆设置在两个抵挡滚轮之间，所述抵挡杆在中间位置处和抵挡块固定连接。
[0014]
优选的，所述滚槽采用长条形结构，所述长条形结构沿着收集箱的左、右方向分布，所述抵挡杆包括一个中间段和两个自由端，所述中间段向上突出于自由端，所述抵挡块固定在所述中间段上。
[0015]
优选的，还包括分隔机构，所述分隔机构包括多个分隔板和气动组件，所述分隔板沿着收集箱的前、后方向均匀分布，所述气动组件能够分别带动多个分隔板进入到收集箱内，多个分隔板能够把收集箱的内部空间分隔成多个子区间。
[0016]
优选的，所述气动组件包括第二气泵、第一气管、多个第二气管、多个阀门、多个气动马达和齿轮，所述第二气泵安装在收集箱的后侧，所述第一气管和第二气泵连通，多个所述气动马达均安装在收集箱的后侧，所述齿轮设置在气动马达的输出轴上，所述第一气管通过第二气管和气动马达连通，所述阀门设置在第二气管上，所述分隔板的底端设有齿条，且齿条和齿轮互相啮合。
[0017]
优选的，所述控制模块和第二气泵、多个阀门之间均采用电性连接。
[0018]
此外，本发明还提供了一种晶棒处理装置的控制方法：
[0019]
移动作业：启动第一驱动件，所述第一驱动件的输出轴带动螺纹杆旋转，所述螺纹杆带动移动块沿着收集箱的前、后方向移动，所述移动块带动伸缩件移动；
[0020]
伸长作业：启动并伸长伸缩件，所述伸缩件的内端带动托起机构向左移动，所述托起机构带动其内部的晶棒向左移动；
[0021]
吸附作业：启动第一气泵，所述第一气泵吸气并在侧挡件的内侧产生负压，从而使得晶棒贴附在侧挡件的内侧壁上；
[0022]
拍摄作业：启动摄像头，所述摄像头拍摄收集箱的内部的晶棒排列情况，从而根据需求调整第一驱动件、伸缩件和第一气泵的启动时间点；
[0023]
分隔作业：启动第二气泵，所述第二气泵产生气体并把气体经第一气管压入到气动马达内，所述气动马达的输出轴发生旋转并带动齿轮旋转，所述齿轮通过齿条带动分隔板沿着收集箱的前、后方向移动，从而把收集箱的内部空间分隔成多个子区间。
[0024]
如上所述，本发明的晶棒处理装置，至少具有以下有益效果：
[0025]
一、首先，晶棒在重力作用下落入到托起机构内，其次，启动吸气机构，吸气机构在托起机构内产生负压，使得晶棒能够稳定的位于托起机构内，再次，启动直线驱动机构，直线驱动机构带动伸缩件沿着收集箱的前后方向移动，然后启动伸缩件，伸缩件的内端带动托起机构移动到指定位置，从而可以对晶棒进行有序排列，能够从收集箱内同时取出多个晶棒，作业简单、劳动强度低，同时，通过摄像头拍摄收集箱内的晶棒的排列情况，利于把晶棒放置到精准的空闲位置处，避免多个晶棒之间互相碰撞，从而保护晶棒；
[0026]
二、晶棒在套筒内下落的过程中，具有多次缓冲的功能，使得晶棒缓慢的落入到收集箱内，避免晶棒的底端撞击收集箱的内底面，消除晶棒的底端被撞击损坏的风险，降低生产成本。
附图说明
[0027]
图1显示为本发明的晶棒处理装置的立体图。
[0028]
图2显示为本发明的晶棒处理装置的立体图(另一视角)。
[0029]
图3显示为本发明的晶棒处理装置的主视图。
[0030]
图4显示为本发明的晶棒处理装置的俯视图。
[0031]
图5显示为本发明的晶棒处理装置中伸缩件、托起机构、抵挡机构和吸气机构之间的立体图。
[0032]
图6显示为本发明的晶棒处理装置中托起机构的俯剖视图。
[0033]
图7显示为本发明的晶棒处理装置中直线驱动机构的立体图。
[0034]
图8显示为本发明的晶棒处理装置中分隔机构的俯视图。
[0035]
图9显示为本发明的晶棒处理装置中缓冲机构的主剖视图。
[0036]
图10显示为本发明的晶棒处理装置中的框图。
[0037]
元件标号说明：收集箱1、直线驱动机构2、第一安装板21、螺纹杆22、移动块23、导向杆24、第一驱动件25、伸缩件3、托起机构4、底托件41、侧挡件42、出气孔43、抵挡机构5、抵挡块51、抵挡杆52、抵挡滚轮53、吸气机构6、第一气泵61、软管62、分隔机构7、第二气泵71、第一气管72、第二气管73、阀门74、气动马达75、分隔板76、齿轮77、摄像头8、。
具体实施方式
[0038]
以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。
[0039]
请参阅图1至图10。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及
“
一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。
[0040]
以下各个实施例仅是为了举例说明。各个实施例之间，可以进行组合，其不仅仅限于以下单个实施例展现的内容。
[0041]
请参阅图1-4，本发明提供一种晶棒处理装置，包括：收集箱1、直线驱动机构2、伸缩件3、托起机构4和吸气机构6，直线驱动机构2设置在收集箱1的一端外壁上，其中，直线驱动机构2设置在收集箱1的左端上，直线驱动机构2沿着收集箱1的前、后方向分布，其中，直线驱动机构2位于收集箱1的高度中央位置处，伸缩件3安装在直线驱动机构2上，其中，伸缩件3的外端焊接固定在直线驱动机构2上，伸缩件3和直线驱动机构2互相垂直，伸缩件3采用液压伸缩杆或气压伸缩杆，伸缩件3沿着收集箱1的左、右方向分布，托起机构4竖直设置在伸缩件3的内端上，托起机构4用于托起并稳固住其内部的晶棒，吸气机构6设置在收集箱1的侧壁上，且吸气机构6和托起机构4互相连通。
[0042]
使用时，当晶棒落入到托起机构4内时，启动吸气机构6，托起机构4内的空气被吸气机构6并产生负压，使得晶棒能够稳定的保持在托起机构4的内部，确保在运送排列的过程中晶棒不会倾斜掉落，然后，启动直线驱动机构2，并使得直线驱动机构2带动伸缩件3沿着收集箱1的前后方向移动，再启动伸缩件3，伸缩件3的内端通过托起机构4带动晶棒沿着收集箱1的左右方向移动，直线驱动机构2和伸缩件3配合使用能够把托起机构4内的晶棒运送到收集箱1内的多个位置，从而把多个晶棒整齐的排列在收集箱1内，使得作业人员从收集箱1内能够同时取出多个晶棒，作业简单、劳动强度低。
[0043]
请参阅图5、6，托起机构4包括底托件41和侧挡件42，侧挡件42固定在底托件41的顶面右端上，底托件41采用圆形板状结构，侧挡件42采用半圆弧板状结构，且半圆弧板状结构的开口朝向收集箱1的左端分布，半圆弧板状结构的内径等于晶棒的外径，半圆弧板状结构的内部开设有空腔，空腔沿着侧挡件42的高度方向分布，侧挡件42的内侧开设有多个出气孔43，且出气孔43和空腔互相连通，其中，出气孔43的横截面为圆形结构，多个出气孔43沿着侧挡件42的内侧均匀分布，吸气机构6的吸气端通过接头和空腔连通。
[0044]
使用时，晶棒在重力的作用下向下掉落，晶棒掉落到底托件41的顶面上，同时侧挡件42可以从侧向挡住晶棒，避免晶棒倾斜掉落，然后启动吸气机构6，侧挡件42内侧的空气经过多个出气孔43进入到侧挡件42内的空气里，然后被吸气机构6吸入，从而在侧挡件42的内侧形成负压区域，使得晶棒被吸附在侧挡件42的内侧上，其中，多个出气孔43的设计，使得负压区域沿着晶棒的高度方向均匀分布，能够有效的避免晶棒在运送排列的过程中发生倾倒的现象，从而保护晶棒。
[0045]
请参阅图7，直线驱动机构2包括两个第一安装板21、螺纹杆22、移动块23、导向杆24和第一驱动件25，两个第一安装板21固定在收集箱1的右侧上，其中，两个第一安装板21位于同一高度上，螺纹杆22转动设置在两个第一安装板21之间，其中，螺纹杆22和第一安装板21之间通过轴承转动连接，导向杆24固定设置在两个第一安装板21之间，导向杆24位于螺纹杆22的正下方，导向杆24和螺纹杆22互相平行，第一驱动件25安装在收集箱1后侧的位置处，其中，收集箱1后侧设置有l型安装架，第一驱动件25安装在l型安装架上，第一驱动件25为旋转驱动件，具体的，第一驱动件25采用慢速电机，第一驱动件25的输出轴通过联轴器和螺纹杆22的一端连接，移动块23设置在螺纹杆22和导向杆24之间，移动块23采用矩形块
体结构，且矩形块体沿着竖直方向分布，移动块23和螺纹杆22之间为螺纹连接，其中，移动块23的内顶部开设有螺纹孔，螺纹杆22和螺纹孔之间螺纹连接，移动块23和导向杆24之间滑动连接，其中，移动块23的内底部开设有光孔，导向杆24贯穿在光孔内，且导向杆24的外表面和光孔之间留有间隙，以利于移动块23沿着导向杆24滑动。
[0046]
使用时，启动第一驱动件25，第一驱动件25的输出轴通过联轴器带动螺纹杆22在两个第一安装板21之间旋转，其中，螺纹杆22绕自身轴线旋转，在螺纹杆22和螺纹孔的螺纹连接的作用下，移动块23沿着螺纹杆22的长度方向移动，同时，移动块23沿着导向杆24的长度方向移动，具备导向的作用，利于移动块23的稳定移动，此外，收集箱1的左侧壁开设有长条形通槽，长条形通槽和螺纹杆22互相平行，伸缩件3固定在移动块23的内侧，且伸缩件3贯穿长条形通槽，伸缩件3的内端延伸至收集箱1的内部，移动块23通过伸缩件3、托起机构4带动晶棒沿着收集箱1的前后方向移动，便于对晶棒进行排列放置。
[0047]
请参阅图5，吸气机构6包括第一气泵61和软管62，第一气泵61安装在收集箱1的右侧上，其中，收集箱1的右侧水平固定有第二安装板，第一气泵61安装在第二安装板的顶面上，第一气泵61采用抽气泵，第一气泵61位于直线驱动机构2的上方，软管62的外端和第一气泵61连通，软管62的内端和侧挡件42内部的空腔连通。使用时，启动第一气泵61，第一气泵61进行抽气作业，托起机构4内的空气经过软管62被第一气泵61抽出，从而在托起机构4的内部产生负压，也即，吸气机构6为托起机构4提供负压环境，利于晶棒的稳定放置。
[0048]
请参阅图1、2、5，还包括抵挡机构5，抵挡机构5活动设置在收集箱1的前、后侧壁的顶端之间，抵挡机构5能够抵挡住软管62，避免软管62完全落入到收集箱1的内部，从而避免软管62缠绕住收集箱1内的晶棒。具体而言，抵挡机构5包括抵挡块51、抵挡杆52和两个抵挡滚轮53，抵挡块51固定在软管62的中间位置处的外围，其中，抵挡块51采用正方体块，正方体块的内部开设有圆形通孔，软管62的外表面和圆形通孔的内壁固定连接，收集箱1的前、后侧壁的顶端均开设有滚槽，两个抵挡滚轮53分别滚动设置在两个滚槽内，抵挡杆52设置在两个抵挡滚轮53之间，抵挡杆52在中间位置处和抵挡块51固定连接。具体而言，滚槽采用长条形结构，长条形结构的滚槽沿着收集箱1的左、右方向分布，长条形结构的滚槽的两端均采用半圆形过渡，以减小应力集中，抵挡杆52包括一个中间段和两个自由端，中间段向上突出于自由端，抵挡块51固定在中间段上。
[0049]
鉴于需要把晶棒能够放置在收集箱1的内部最左端，软管62的长度可以设置成等于收集箱1的左右侧壁之间的距离，当托起机构4位于收集箱1内部右端时，软管62会部分的向下落入到收集箱1内，抵挡块51可以托起来软管62的中间部位，具体的，抵挡杆52的中间段向上突出于自由端，使得抵挡块51向上凸起高于收集箱1的顶面，避免软管62完全落入到收集箱1内，从而避免软管62缠绕收集箱1内的晶棒；当托起机构4移动时，托起机构4带动软管62的内端移动，软管62带动抵挡块51移动，抵挡块51通过抵挡杆52带动抵挡滚轮53才条形滚槽内滚动，从而适应软管62的位置变化，确保时刻都能托起来软管62。
[0050]
请参阅图1、2、4、8，还包括分隔机构7，分隔机构7包括多个分隔板76和气动组件，分隔板76沿着收集箱1的前、后方向均匀分布，气动组件能够分别带动多个分隔板76进入到收集箱1内，其中，收集箱1的后壁上开设有多个通槽，分隔板76滑动设置在通槽内，多个分隔板76能够把收集箱1的内部空间分隔成多个子区间，从而把收集箱1内的多排晶棒分隔开来，避免晶棒之间互相碰撞，有效的保护晶棒。具体而言，气动组件包括第二气泵71、第一气
管72、多个第二气管73、多个阀门74、多个气动马达75和齿轮77，第二气泵71安装在收集箱1的后侧，第一气管72和第二气泵71连通，多个气动马达75均安装在收集箱1的后侧底面上，齿轮77设置在气动马达75的输出轴上，第一气管72通过第二气管73和气动马达75连通，阀门74设置在第二气管73上，分隔板76的底端设有齿条(图中未示出)，且齿条和齿轮77互相啮合。
[0051]
使用时，启动第二气泵71，第二气泵71向第一气管72的内部供气，第一气管72内的气体经阀门74进入到气动马达75内，气动马达75的输出轴带动齿轮77旋转，齿轮77带动齿条沿着收集箱1的前后方向移动，从而齿条带动分隔板76沿着收集箱1的前后方向移动，具体而言，当收集箱1内部最左端的晶棒排列完毕后，开启最左端的阀门74同时关闭其他的阀门74，使得最左端的气动马达75启动，对应的，最左端的分隔板76朝向收集箱1的内部移动，从而把收集箱1内最左端的晶棒隔离开来，同理，当需要隔离某列晶棒时，只需要开启相对应的阀门74即可实现，总的来说，可以把收集箱1内的多排晶棒分隔开来，避免相邻的两排晶棒之间互相碰撞，能够有效的保护晶棒、延长使用寿命。
[0052]
请参阅图5，侧挡件42的顶端设有摄像头8，摄像头8的拍摄角度朝向半圆弧板状结构的开口侧分布，其中，摄像头8用于拍摄收集箱1的内部晶棒的排列情况，并把数据传输到控制模块内，便于知晓下一个晶棒的放置位置，请参阅图10，还包括控制模块，控制模块分别和直线驱动机构2、伸缩件3、吸气机构6、摄像头8电性连接，此外，控制模块和第二气泵71、多个阀门74之间均采用电性连接。使用时，摄像头8拍摄的晶棒排列分布的位置数据传输到控制模块内，控制模块来控制直线驱动机构2运动到收集箱1的前后相对位置处，然后控制模块再控制伸缩件3，从而把晶棒运送到收集箱1的左右相对位置处，以准确定位位置，此外，控制模块还可以控制吸气机构6、第二气泵71和多个阀门74，以实现自动化控制晶棒的吸附、分隔板76的自动移动，全程实现自动化作业，降低劳动强度。
[0053]
请参阅图9，此外，还包括套筒9，套筒9位于收集箱1的正上方，套筒9内从上至下设有多个缓冲机构，缓冲机构包括第一横板91和第二横板98，第一横板91和第二横板98分别转动设置在套筒9的两侧内壁上，第一横板91和第二横板98的内端相互对接分布，第一横板91、第二横板98和套筒9的内壁之间均设有扭簧92，第一横板91的内端底面设有第一磁性件96，第二横板98的内端底面设有第二磁性件97，第一磁性件96和第二磁性件97互相吸引，第一横板91和第二横板98的顶面均滑动设有插杆94，插杆94的顶端设有缓冲板93，插杆94的外围设有弹性件95，且弹性件95位于缓冲板93和第一横板91之间或缓冲板93和第二横板98之间。
[0054]
当晶棒被打磨后沿着套筒9向下掉落，晶棒的底端首先接触到缓冲板93，由于弹性件95的弹性变形，缓冲板93缓慢下移，具备缓冲作用，在晶棒下落的过程中具有保护的作用，然后在晶棒的重力作用下，第一横板91和第二横板98均相对于套筒9发生旋转，从而为晶棒下落打开一条通道，晶棒即可在套筒9内下落，当一个晶棒落入到收集箱1内后，在第一磁性件96、第二磁性件97之间的互相吸引力和扭簧92的扭力作用下，第一横板91和第二横板98相对于套筒9向上旋转，以恢复到初始位置，从而为下一个晶棒提供缓冲功能，以持续作业。
[0055]
此外，本发明还提供了一种晶棒处理装置的控制方法：
[0056]
移动作业：启动第一驱动件25，第一驱动件25的输出轴带动螺纹杆22旋转，螺纹杆
22带动移动块23沿着收集箱1的前、后方向移动，移动块23带动伸缩件3移动；
[0057]
伸长作业：启动并伸长伸缩件3，伸缩件3的内端带动托起机构4向左移动，托起机构4带动其内部的晶棒向左移动；
[0058]
吸附作业：启动第一气泵61，第一气泵61吸气并在侧挡件42的内侧产生负压，从而使得晶棒贴附在侧挡件42的内侧壁上；
[0059]
拍摄作业：启动摄像头8，摄像头8拍摄收集箱1的内部的晶棒排列情况，从而根据需求调整第一驱动件25、伸缩件3和第一气泵61的启动时间点；
[0060]
分隔作业：启动第二气泵71，第二气泵71产生气体并把气体经第一气管72压入到气动马达75内，气动马达75的输出轴发生旋转并带动齿轮77旋转，齿轮77通过齿条带动分隔板76沿着收集箱1的前、后方向移动，从而把收集箱1的内部空间分隔成多个子区间。
[0061]
综上所述，本发明中晶棒在重力作用下落入到托起机构内，其次，启动吸气机构，吸气机构在托起机构内产生负压，使得晶棒能够稳定的位于托起机构内，再次，启动直线驱动机构，直线驱动机构带动伸缩件沿着收集箱的前后方向移动，然后启动伸缩件，伸缩件的内端带动托起机构移动到指定位置，从而可以对晶棒进行有序排列，能够从收集箱内同时取出多个晶棒，作业简单、劳动强度低，同时，通过摄像头拍摄收集箱内的晶棒的排列情况，利于把晶棒放置到精准的空闲位置处，避免多个晶棒之间互相碰撞，从而保护晶棒；晶棒在套筒内下落的过程中，具有多次缓冲的功能，使得晶棒缓慢的落入到收集箱内，避免晶棒的底端撞击收集箱的内底面，消除晶棒的底端被撞击损坏的风险，降低生产成本。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0062]
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。