剥离膜卷、陶瓷部件片材及其制造方法、以及陶瓷部件及其制造方法与流程

1.本公开涉及一种剥离膜卷、陶瓷部件片材及其制造方法、以及陶瓷部件及其制造方法。


背景技术：

2.近年来，随着电子机器小型化的要求，电子部件也变得越来越小型化。作为电子部件的一种的陶瓷部件也一年年地越来越小型化。例如，作为陶瓷部件的一种的层叠陶瓷电容器将电介质层及内部电极的厚度减薄以谋求大容量化。一般的层叠陶瓷电容器通过以下方式制造，即，将剥离膜作为承载膜，并在承载膜上形成电介质层及内部电极而制成坯片，并将坯片剥离而层叠。
3.若层叠陶瓷电容器的电介质层的厚度变薄，则有表示发生短路等不良情况的电压强度下的耐性的耐电压性能降低的倾向。尤其在电介质层的厚度不均匀的情况下，较薄的部分成为耐电压性能降低的因素。具备具有这样的较薄部分的电介质层的层叠陶瓷电容器的耐电压不良，从而层叠陶瓷电容器的成品率降低。另一方面，若电介质层的厚度均匀则耐电压性能良好，层叠陶瓷电容器的成品率提升。
4.用作电介质层的承载膜的剥离膜中若存在皱褶及折痕等，则会导致厚度变动。另外，剥离膜表面的平滑性对电介质层厚度的均匀性造成影响。根据这样的情况，例如专利文献1中，研究了一种能够使剥离膜平滑从而降低电介质层的厚度的不均的剥离膜卷。
5.现有技术文献
6.专利文献
7.专利文献1：日本专利特开2011-206995号公报


技术实现要素：

8.发明想要解决的技术问题
9.陶瓷部件的制造工序中，在从剥离膜卷拉出的剥离膜上形成陶瓷坯片。在此，作为用以提高陶瓷部件的生产性的对策，认为通过加长卷绕成剥离膜卷的剥离膜的卷绕长度从而减少剥离膜卷的更换频率是有效的。但是，若加长剥离膜的卷绕长度，则导致剥离膜卷大型化，剥离膜卷的内侧部分、即卷芯附近的剥离膜受到的压力变大。
10.因此，若在卷芯存在突起(凸部)，则卷芯的突起形状会转印至卷芯附近的剥离膜。在厚度较薄的陶瓷坯片的情况下，这种转印的突起形状成为陶瓷坯片的厚度变动的因素。该厚度变动虽然会随着远离卷芯而得以改善，但因卷芯附近部分的剥离膜的变形较大，因此陶瓷坯片的厚度变动较大，为了抑制陶瓷坯片的厚度变动，采取不使用而废弃等对策。如果能有效利用这样未被有效利用的剥离膜，则可实现剥离膜的有效利用，并且可降低剥离膜卷的更换频率，从而可期待陶瓷坯片及陶瓷部件等各种制品的生产效率提高。
11.因此，本发明提供一种能够有效利用剥离膜直至卷芯附近为止的剥离膜卷。另外，
本公开提供一种通过使用这样的剥离膜卷从而能够以较高的生产效率制造陶瓷部件片材及陶瓷部件的制造方法。另外，本发明提供一种可靠性优异的陶瓷部件片材及陶瓷部件。
12.[解决技术问题的手段]
[0013]
本发明的一个方面所涉及的剥离膜卷具备：具有基材膜及剥离层的剥离膜、及卷绕有该剥离膜的卷芯，其中卷芯的外周面的表面粗糙度(rp)为1.5μm以下。
[0014]
卷芯的外周面的突起对剥离膜卷的内侧部分、即卷芯附近部分的剥离膜的变形产生较大影响。上述剥离膜卷中，卷芯的外周面的表面粗糙度(rp)为1.5μm以下，因此即便卷绕长度变长而使施加至内侧的剥离膜的压力变大，也可抑制卷芯附近的剥离膜变形，降低剥离膜的厚度变动。因此，即便加长剥离膜的卷绕长度也可有效利用剥离膜直至芯附近为止。
[0015]
另外，表面粗糙度(rp)表示测定卷芯的外周面而获得的粗糙度曲线中最高的凸起(突起)的高度。在卷芯的外周面若存在哪怕一个较大的突起，则通过突起而将形状转印至剥离膜，从而卷芯附近的剥离膜的变形显著，导致陶瓷坯片的厚度较大地变动。另一方面，卷芯的外周面的凹陷相比于突起难以将形状转印至剥离膜。因此，作为上述卷芯的表面粗糙度，通过将rp(最大凸起高度)而非ra(算术平均粗糙度)及rv(最大凹陷深度)特定为规定值以下从而可降低卷芯附近的剥离膜的变形。
[0016]
卷绕于卷芯的剥离膜的宽度方向上的厚度变动幅度也可为0.5μm以下。若剥离膜的宽度方向上的厚度变动幅度为0.5μm以下，则由厚度不同而产生的压力差变小，从而可进一步抑制剥离膜的变形。尤其在卷径较大的剥离膜卷的情况下，抑制变形的效果进一步变大。
[0017]
卷芯可由纤维强化塑料构成。由此，可提高卷芯表面的平滑性，并且可提高卷芯的机械强度。因此，可充分抑制因卷芯变形而导致剥离膜产生皱褶及折痕等。另外，也有时会将纤维强化塑料称为frp(fiber reinforced plastics，纤维增强塑料)、或fwd(fiber winding plastics，纤维缠绕塑料)。
[0018]
卷芯的外径可为170mm以下。因剥离膜卷被卷绕，因此来自卷芯的形状的转印对应于与卷绕有剥离膜的直径对应的周长而以该周长的间隔周期性地出现。若卷芯的外径变小则该间隔变窄。卷芯的突起形状的转印有随着剥离膜的卷绕远离卷芯而变小的倾向。就突起形状的转印间隔而言，卷芯越小则越窄。因此，产生突起形状的转印的剥离膜的长度在卷芯越小时变得越短。因此，可缩短随着转印而不得不废弃的剥离膜的长度。另外，也可减小剥离膜卷的尺寸，从而降低设置空间及运输成本。
[0019]
卷绕于卷芯的剥离膜的长度可为4000m以上。若剥离膜的长度变长，则施加至卷芯附近的剥离膜的压力变大，从而容易受到卷芯外周面的突起的影响。由于上述剥离膜卷的外周面上的突起的高度充分小，因此即便加长剥离膜的长度，也能够抑制剥离膜的变形。因此，可降低剥离膜卷的更换频率，并充分提高陶瓷坯片及陶瓷部件等各种制品的生产效率。
[0020]
本公开的一个方面的陶瓷部件片材的制造方法具有使用包含陶瓷粉末的浆料在从上述任意剥离膜卷拉出的剥离膜的剥离层的表面形成陶瓷坯片的工序。
[0021]
上述制造方法使用从上述任意的剥离膜卷拉出的剥离膜。上述剥离膜可形成即使在卷芯附近厚度变动也降低的陶瓷坯片。因此，可有效利用卷芯附近的剥离膜，制造具备厚度变动降低的陶瓷坯片的陶瓷部件片材。这样，也可有效利用卷芯附近的剥离膜而制造陶
瓷部件片材，因此可提高陶瓷部件片材的生产效率。
[0022]
在形成上述陶瓷坯片的工序中，也可在从剥离膜卷拉出的剥离膜中从后端起300m以内的部分形成陶瓷坯片。即便如此使用卷芯附近的剥离膜，也可以制造厚度变动得以抑制的陶瓷坯片。由此，可充分减小陶瓷坯片的制造成本。本公开中剥离膜的“后端”是指安装于卷芯的一侧的一端，剥离膜的“前端”系指出现于剥离膜卷的外周面的一侧的一端。
[0023]
本发明的一个方面的陶瓷部件的制造方法具有：使用以上述制造方法获得的陶瓷部件片材而获得包含陶瓷坯片的层叠体的工序；以及烧成层叠体而获得烧结体的工序。该制造方法也可有效利用卷芯附近的剥离膜而制造陶瓷部件。因此，能够提高陶瓷部件的生产效率。
[0024]
本发明的一个方面的陶瓷部件片材可通过在从上述任意剥离膜卷拉出的剥离膜的剥离层的表面形成包含陶瓷坯片的坯片而获得。
[0025]
上述陶瓷部件片材可通过使用从上述任意的剥离膜卷拉出的剥离膜而获得。该剥离膜的厚度变动被抑制，因此陶瓷部件片材的坯片的厚度变动被抑制，从而可靠性优异。另外，可使用卷芯附近的剥离膜进行生产，因此可提高成品率。
[0026]
本发明的一个方面的陶瓷部件具备烧结体，该烧结体通过形成包含上述陶瓷部件片材的陶瓷坯片的层叠体，并对该层叠体进行烧成而获得。上述陶瓷坯片的厚度变动被抑制，因此上述陶瓷部件的可靠性优异。另外，可使用利用卷芯附近的剥离膜生产的陶瓷坯片，因此可提高成品率。
[0027]
发明的效果
[0028]
根据本公开，可提供一种即便加长剥离膜的卷绕长度也能够有效利用剥离膜直至卷芯附近为止的剥离膜卷。另外，本发明可提供一种通过使用这样的剥离膜卷从而能够以较高的生产效率制造陶瓷部件片材及陶瓷部件的制造方法。另外，本发明可提供一种可靠性优异的陶瓷部件片材及陶瓷部件。
附图说明
[0029]
图1是一个实施方式的剥离膜卷的立体图。
[0030]
图2是表示剥离膜的截面的一例的截面图。
[0031]
图3是一个实施方式的陶瓷部件片材的截面图。
[0032]
图4是表示一个实施方式的陶瓷部件的截面图。
[0033]
符号说明
[0034]
10
……
芯；20
……
剥离膜；22
……
基材膜；24
……
剥离层；30
……
坯片；32
……
陶瓷坯片；34
……
电极坯片；40
……
陶瓷部件片材；90
……
层叠陶瓷电容器；92
……
内层部；93
……
外层部；94
……
内部电极层；95
……
端子电极；96
……
陶瓷层；100
……
剥离膜卷。
具体实施方式
[0035]
以下，视情况参照附图说明本公开的实施方式。在各附图中，对于相同或同等的要素标注相同符号，并根据情况省略重复的说明。但是，以下实施方式为用以说明本公开的例示，并非旨在将本发明限定于以下内容。
[0036]
图1是一个实施方式的剥离膜卷的立体图。图1的剥离膜卷100具备：剥离膜20，其
具有基材膜及剥离层；及卷芯10，其卷绕有剥离膜20。剥离膜20例如在由层叠陶瓷电容器为代表的陶瓷部件的制造工序中用作承载膜。该制造工序中，例如在剥离膜上，通过涂布或印刷而形成成为电介质片材的陶瓷坯片、以及成为内部电极的电极坯片，其后，将这些剥离并层叠，并对层叠体进行烧成而制造陶瓷部件。剥离膜20从剥离膜卷100拉出而被使用。
[0037]
作为卷芯10的材质，可列举纸、塑料、金属等。在陶瓷部件的制造中颗粒会引起产生针孔，因此优选为包含不产生纸粉的轻质塑料。作为这种材质，可列举abs树脂、酚醛塑料(bakelite)及纤维强化塑料等。其中，abs树脂有使用一次后卷芯10变形从而圆度(roundness)降低的情况。
[0038]
另一方面，由于纤维强化塑料及酚醛塑料具有较高的机械强度，因此可重复利用卷芯10。这样，能够作为卷芯10反复使用，因此可降低产业废弃物而实现资源的有效利用。另外，在加长剥离膜20的卷绕长度的情况下可充分抑制卷芯10的变形。纤维强化塑料及酚醛塑料中，纤维强化塑料除较高的机械强度外还具有柔软性，因此特别优选。作为纤维强化塑料，可列举将纤维以热固化性树脂增强而得到的。
[0039]
卷芯10为圆柱体，外周面的表面粗糙度(rp)为1.5μm以下。卷芯10的表面粗糙度(rp)优选为1.0μm以下，更优选为0.6μm以下。若表面粗糙度(rp)大于1.5μm，则卷芯10的外周面上的突起(凸部)推压剥离膜20从而突起的形状被转印，剥离膜20变形。其结果，剥离膜20的剥离面(剥离层的表面)朝外侧卷绕而成的剥离膜卷中剥离面变形为凸形状。另一方面，剥离面朝内侧卷绕而成的剥离膜卷中剥离面变形为凹形状。使用这样的剥离膜20制造的层叠陶瓷电容器中，电介质层的厚度不均，在电介质层的厚度较小处产生耐电压的降低，在厚度较大处产生静电电容的降低。另一方面，若卷芯10的外周面的表面粗糙度(rp)变小，则突起变小，可抑制剥离膜20的变形。其结果，可提高使用剥离膜20制造的层叠陶瓷电容器的可靠性。
[0040]
卷芯10的表面粗糙度(rp)及表面粗糙度(rv)是jis(japanese industrial standards，日本工业标准)b 0601-2001中规定的“最大凸起高度”及“最大凹陷高度”。这些的表面粗糙度可使用接触式表面粗糙度计来测定。
[0041]
卷芯10的外周面中的表面粗糙度(rp)可通过致密地进行外周面的切削而减小。例如在制造由纤维强化塑料构成的卷芯10的情况下，首先，将含浸有树脂的纤维缠绕于心轴，根据需要进一步缠绕树脂片材。也可取代缠绕树脂片材而涂覆树脂。接下来，进行加热而利用热等使树脂固化之后，卸除心轴从而获得成为卷芯的裸管。
[0042]
作为树脂，可列举环氧树脂、不饱和聚酯树脂等。作为纤维，可列举玻璃纤维、芳香族聚酰胺纤维等。若考虑成本方面等，则作为树脂，优选为不饱和聚酯树脂。根据相同的观点，作为纤维，优选为玻璃纤维。
[0043]
接下来，使用车床等进行切削，使裸管的外周面平滑。例如，通过减慢车刀的进给速度从而可减小外周面的表面粗糙度(rp)。另外，进一步通过使用研磨纸或包含研磨材料的研磨液等进行研磨(例如抛光研磨)，从而可充分减小外周面的表面粗糙度(rp)。研磨可使用粗眼的研磨纸或粗眼的研磨材料进行，也可从粗眼的研磨纸或研磨材料慢慢变更为细眼的研磨纸或研磨材料而进行。通过进行这种研磨而可减小外周面的表面粗糙度(rp)。
[0044]
将经表面处理的裸管裁断成特定的长度。根据需要可进行去除切断面的毛边等处理。另外，通过将切削、研磨、及切断中所产生的碎屑(异物)去除，从而可抑制陶瓷坯片中产
生针孔。
[0045]
图2是表示剥离膜的截面的一例的截面图。剥离膜20具有基材膜22、及在其一个面上的剥离层24。基材膜22可为合成树脂的膜。作为合成树脂，可列举聚酯树脂、聚丙烯树脂及聚乙烯树脂等聚烯烃树脂、聚乳酸树脂、聚碳酸酯树脂、聚甲基丙烯酸甲酯树脂等丙烯酸类树脂、聚苯乙烯树脂、尼龙等聚酰胺树脂、聚氯乙烯树脂、聚氨基甲酸酯树脂、氟系树脂(fluorine resin)、以及聚苯硫醚树脂等。这些之中，优选为聚酯树脂。聚酯树脂中，从力学性质、透明性、成本等观点出发，更优选为聚对苯二甲酸乙二酯(pet，polyethylene terephthalate)。
[0046]
基材膜22的厚度优选为10～100μm，更优选为20～50μm。在厚度小于10μm的情况下，有剥离膜20的尺寸稳定性等物理特性受损的倾向。在厚度超过100μm的情况下，有剥离膜20的每单位面积的制造成本上升的倾向。
[0047]
从充分提高剥离膜20的机械强度的观点出发，基材膜22也可以在不损及透明性的程度内含有填料(填充剂)。填料并非特别限定，例如可列举碳酸钙、磷酸钙、二氧化硅、高岭土、滑石、氧化钛、气相二氧化硅(fumed silica)、氧化铝、及有机粒子等。
[0048]
使用聚酯膜作为基材膜22的情况下，可按以下顺序制造。首先，利用挤出机将熔融的聚酯浇铸至旋转冷却滚筒。熔融的聚酯从形成有狭缝的金属口儿挤出。然后冷却，从旋转冷却滚筒剥下从而获得未延伸的聚酯膜。只要调整挤出机的狭缝的间隙，则可调整聚酯膜的厚度及其变动幅度。
[0049]
接下来，将未延伸的聚酯膜延伸并调整成所需的厚度，并且赋予机械强度。聚酯膜的延伸优选为以双轴延伸进行。在该情况下，在纵向延伸后，进行横向延伸。延伸时的延伸温度优选为在聚酯膜的玻璃化转变温度以上且熔融温度以下进行。纵向延伸及横向延伸可分别延伸数倍左右。在延伸后也会继承未延伸膜的厚度变动。因此，通过控制未延伸膜的厚度变动而可调节基材膜22及剥离膜20的厚度变动幅度。
[0050]
剥离层24通过将包含剥离剂的溶液涂布于基材膜22的一个面上，使其干燥及固化而形成。涂布方法并未特别限定，可使用反向涂布法、凹版涂布法、杆式涂布法、棒式涂布法、迈耶棒式涂布法(
マイヤーバーコート
法)、模涂法、及喷涂法等即可。干燥可使用热风干燥、红外线干燥、自然干燥等。为了抑制干燥时的水分结露，优选为加热，可为60～120℃左右。
[0051]
作为用于形成剥离层24的剥离剂，可列举例如硅酮类剥离剂、长链烷基类剥离剂、含氟类剥离剂、及氨基醇酸树脂类的剥离剂。硅酮类剥离剂根据固化反应的不同而有加成反应类硅酮剥离剂、缩合反应类硅酮剥离剂、及紫外线固化类剥离剂等。
[0052]
固化条件根据剥离剂的固化系统而适当选择即可。例如，若剥离剂为加成反应类的硅酮，则可通过以80～130℃进行数十秒钟的加热处理而使之固化。若为紫外线固化类，则可将汞灯、金属卤化物灯等作为光源照射紫外线而使之固化。在照射紫外线而使自由基聚合的情况下，为了防止氧抑制，优选为在氮气气氛中进行固化。优选剥离层24的厚度变动幅度较小。
[0053]
加成反应类硅酮剥离剂通过使将乙烯基导入至聚二甲基硅氧烷的末端和/或侧链而得到的物质与氢硅氧烷反应而固化。固化中可使用铂催化剂。例如，可以以100℃左右的固化温度固化数十秒钟至数分钟。剥离层24的厚度可为50～300nm左右。作为加成反应类的
剥离剂，可列举信越化学工业株式会社制造的ks-847、ks-847t、ks-776l、ks-776a、ks-841、ks-774、ks-3703t、ks-3601等(均为商品名)。
[0054]
剥离层24例如也可由(甲基)丙烯酸酯成分与(甲基)丙烯酸酯改性硅酮的固化物构成。这种固化物可由紫外线固化，因此可加大剥离层24的厚度。因此，例如在基材膜22包含填料的情况下，可覆盖由填料引起的突起而使剥离层24的表面平滑。在该情况下，剥离层24的厚度可为300～3000nm。
[0055]
也可使用彼此不相溶的(甲基)丙烯酸酯单体与(甲基)丙烯酸酯改性硅油。将这些与反应引发剂一并混合至溶剂中，涂布于基材膜22之后，使溶剂干燥。这样，也可在使硅酮改性硅油局部存在于表面附近的状态下，通过紫外线进行固化而形成剥离层24。作为(甲基)丙烯酸酯改性硅油可使用公知的物质。例如可列举信越化学工业株式会社制造的x-22-164a、x-22-164b、x-22-174dx、x-22-2445(均为商品名)等。
[0056]
剥离膜20中的剥离层24的表面(剥离面)优选为平滑。具体而言，剥离层24的表面粗糙度(rp)优选为100nm以下，更优选为50nm以下。本实施方式的剥离层24的表面粗糙度(rp)为jis b 0601-2001所规定的最大凸起高度，可使用扫描型白色干涉显微镜或接触式等公知的表面粗糙度计来测定。
[0057]
剥离膜20的宽度方向上的厚度变动幅度优选为0.5μm以下，更优选为0.4μm以下，进一步优选为0.3μm以下。特别优选为0.2μm以下。通过减小该变动幅度，在将剥离膜20缠绕于卷芯10而形成剥离膜卷100时，由剥离膜20的厚度的不同而产生的压力差变小，从而可充分抑制卷芯10附近的剥离膜20变形。
[0058]
本公开中，将在剥离膜的伸出及卷取时搬送剥离膜的方向称为长度方向，将与剥离膜的长度方向正交的方向称为剥离膜的宽度方向。本公开的剥离膜的宽度方向上的厚度变动幅度为剥离膜20的宽度方向上的两端间的剥离膜的厚度的最大值与最小值之差。其以如下方式求出。
[0059]
在剥离膜20设置基准点，沿宽度方向设定多个测定剥离膜的厚度的位置。测定的位置的间隔适当设定即可，剥离膜的厚度实质上难以急剧变化，因此只要设为1mm至10mm左右的间隔即可。另外，基准点例如可设为剥离膜的侧端。在各个测定位置测定剥离膜的厚度并且使膜沿长度方向适当移动，从而以相同方式适时测定剥离膜的厚度。使用在宽度方向上在相同位置测定的多个长度方向的厚度测定值来算出平均值，对宽度方向的各个测定位置算出的剥离膜厚度的平均值中最大值与最小值之差成为厚度变动幅度。
[0060]
作为厚度的测定方法，可列举使用接触式厚度测定器、光学式厚度测定器、静电电容式厚度测定器、及使用有β射线或荧光x射线等的放射线式厚度测定器等方法、以及通过显微镜观察而测定剥离膜20的截面的方法等。若使用接触式厚度测定器，则可直接测定剥离膜20的厚度变动。另外，可以以相同方法或不同方法分别测定基材膜22、与剥离层24的厚度变动幅度，并将各自的厚度合计作为剥离膜20的厚度。例如，也可以以放射线式膜厚计测定基材膜22的厚度，利用分光光度求出的光学式测定来测定剥离层24的厚度，并将各自的厚度变动幅度合计而作为剥离膜20的厚度变动幅度。另外，光学式厚度测定器只要适当设定测定点直径即可，可设为0.2m～2mm左右。
[0061]
另外，也可在涂布装置或切断装置等的线内设置厚度测定器，依次测定厚度。通过以光学式或放射线式进行将测定器设置于线内的厚度测定，从而可防止测定器与剥离膜20
的接触。由此，可抑制损伤等，从而可充分维持剥离膜卷的质量。通过在涂布线或切断线内设置厚度测定器，并在剥离膜20的搬送时将厚度测定器沿宽度方向一边来回移动一边进行测定从而可遍及剥离膜20的全长测量厚度。
[0062]
切断前剥离膜的宽度例如可为1～2m。切断前的剥离膜卷通过将剥离膜缠绕于卷芯而制造。此时，可将剥离膜的剥离面侧作为内侧及外侧中的任一者而缠绕于卷芯。切断前的剥离膜也可一边沿长度方向切断一边缠绕于一个或多个卷芯10。由此，可将剥离膜20调整为适当的宽度。剥离膜的切断方法适当选择即可。例如，可使用具有上刀辊及下刀辊的切断装置进行切断。上刀辊可沿其旋转轴方向以特定间隔安装多片上刀。上刀辊的上刀可与下刀辊啮合。
[0063]
将从切断前的剥离膜卷拉出的剥离膜输送至切断装置中的上刀辊与下刀辊之间。切断装置中，上刀辊与下刀辊彼此朝相反方向旋转而将剥离膜切断。切断后，剥离膜再次卷绕于卷芯而成为一个实施方式的剥离膜卷100(切断后)。朝卷芯10的卷取可适当调节张力，另外，可将剥离面侧作为内侧、外侧中的任一者而缠绕于卷芯10。为了抑制运输时的卷绕偏移，也可增强开始卷绕的张力，并慢慢减弱。也可促进通过接触辊而缠绕的剥离膜20之间的空气的排出。
[0064]
卷芯10的外径可为170mm以下，也可为100mm以下。由此，可减小剥离膜卷100的尺寸，从而降低设置空间及运输成本。
[0065]
卷绕于卷芯10的剥离膜20的长度可为4000m以上，也可为5000m以上，还可为6000m以上。由此，可降低剥离膜卷100的更换频率，充分提高陶瓷坯片及陶瓷部件等各种制品的生产效率。
[0066]
剥离膜卷100中，卷芯10的表面粗糙度(rp)充分小，因此即便在卷芯10附近，也可抑制剥离膜20的变形。因此，在制作剥离膜卷100时可加大剥离膜20的卷取力。由此，可充分抑制在运输中剥离膜卷100崩塌、或产生卷绕偏移。
[0067]
图3是本公开的一个实施方式的陶瓷部件片材的截面图。图3的陶瓷部件片材40的制造方法具有在从剥离膜卷拉出的剥离膜20的剥离层24的表面24a，使用包含陶瓷粉末的浆料与电极浆料形成包含陶瓷坯片32及电极坯片34的坯片30的工序。
[0068]
陶瓷坯片32可通过涂布含有陶瓷粉末的陶瓷浆料并使其干燥而形成。电极坯片34可通过在陶瓷坯片32上涂布电极浆料并使其干燥而形成。
[0069]
例如若为层叠陶瓷电容器，陶瓷浆料可通过将电介质原料(陶瓷粉末)与有机媒介混练而制备。作为电介质原料，可列举通过烧成而成为复合氧化物或氧化物的各种化合物。例如，可以从碳酸盐、硝酸盐、氢氧化物、有机金属化合物等中适当选择来使用。电介质原料是平均粒径为4μm以下，优选为0.1～3.0μm的粉末。
[0070]
电极浆料例如可通过将选自各种导电性金属及合金等导电体材料、以及与各种氧化物、有机金属化合物、及树脂酸盐等的烧成后成为导电体材料的材料等中的至少一种、与有机媒介混练而制备而成。作为制造电极浆料时使用的导电体材料，优选使用ni金属、ni合金、或它们的混合物。为了提高粘结性，电极浆料也可包含增塑剂。作为增塑剂，可列举邻苯二甲酸丁苄酯(bbp)等邻苯二甲酸酯、己二酸、磷酸酯、二醇类等。
[0071]
陶瓷浆料及电极浆料中包含的有机媒介可通过将粘合剂树脂溶解于有机溶剂中来制备。作为用于有机媒介的粘合剂树脂，可列举例如乙基纤维素、丙烯酸类树脂、丁醛类
树脂、聚乙烯醇缩乙醛、聚乙烯醇、聚烯烃、聚氨基甲酸酯、聚苯乙烯、以及这些的共聚物等。这些之中，优选为丁醛类树脂，具体而言使用聚乙烯醇缩丁醛类树脂。通过使用丁醛类树脂而可提高陶瓷坯片的机械强度。陶瓷浆料及电极浆料的一者或两者也可根据需要含有选自各种分散剂、增塑剂、除静电剂、电介质、玻璃料、绝缘体等中的至少一种添加物。
[0072]
将上述陶瓷浆料例如使用刮刀装置等涂布于剥离膜20的剥离层24的表面24a。然后，使涂布的陶瓷浆料在干燥装置内例如以50～100℃的温度干燥1～20分钟从而形成陶瓷坯片32。陶瓷坯片32与干燥前相比收缩至5～25％。
[0073]
然后，例如使用丝网印刷装置，在陶瓷坯片32的表面32a上以成为特定图案的方式印刷上述电极浆料。使所印刷的电极浆料在干燥装置内例如以50～100℃的温度干燥1～20分钟而形成电极坯片34。这样，可获得在剥离膜20的剥离层24上依次层叠有陶瓷坯片32与电极坯片34的陶瓷部件片材40。
[0074]
若剥离膜卷100的剥离膜20的厚度变动幅度变大，则陶瓷坯片32的厚度变动变大。从剥离膜卷100拉出的剥离膜20在卷芯10附近变形较小，且剥离膜20的厚度变动幅度也较小，因此即使在卷芯10附近的剥离膜20也可形成厚度变动幅度充分降低了的陶瓷坯片32。
[0075]
由于即使在卷芯10附近的剥离膜20的厚度变动也得以抑制，因此例如也可在直至距卷芯10侧的剥离膜20的后端300m以内的部分为止形成包含陶瓷坯片32及电极坯片34的坯片30。也可在直至距该后端250m以内的部分、或200m以内的部分形成坯片30。如此，直至卷芯10附近的剥离片材12均可有效利用，因此可降低制造成本，并且减少剥离膜卷100的更换频率从而提高坯片30的生产效率。
[0076]
陶瓷部件片材40中，包含陶瓷坯片32及电极坯片34的坯片30的厚度变动幅度得以充分降低。使用这样的陶瓷部件片材40制作的陶瓷部件的可靠性优异。另外，这种陶瓷部件片材40及陶瓷部件可以较低的制造成本制造。
[0077]
陶瓷坯片32及电极坯片34的厚度分别可为1.0μm以下。这样即便厚度较小也可抑制厚度变动，因此可获得具有较高可靠性的陶瓷部件。本公开的陶瓷部件片材并不限定于图3的片材，例如，也可不具有电极坯片，仅由陶瓷坯片32构成。
[0078]
本发明的一个实施方式的陶瓷部件的制造方法具有：层叠工序，准备多个陶瓷部件片材，层叠多个陶瓷部件片材的坯片而获得层叠体；烧成工序，将层叠体烧成而获得烧结体；及电极形成工序，其在该烧结体形成端子电极而获得层叠陶瓷电容器。
[0079]
图4是表示以上述制造方法制造的层叠陶瓷电容器的一例的截面图。层叠陶瓷电容器90具备内层部92、及沿层叠方向夹着该内层部92的一对外层部93。层叠陶瓷电容器90在侧面具有端子电极95。
[0080]
内层部92具有多层(本例中为13层)陶瓷层96、及多层(本例中为12层)内部电极层94。陶瓷层96与内部电极层94交替层叠。内部电极层94与端子电极95电连接。外层部93由陶瓷层形成。该陶瓷层例如可以与陶瓷坯片32同样形成。
[0081]
作为层叠工序的一例，将图3所示的陶瓷部件片材40的剥离膜20剥离而获得坯片30。将该坯片30的一面30b层叠于外层用坯片。从另一陶瓷部件片材40将另一剥离膜20剥离而获得另一坯片30，将最初剥离后的坯片的电极坯片34与另一坯片30的30b以相向方式层叠。其后，反复执行该顺序从而将坯片30层叠，由此可获得层叠体。即，该层叠工序中，将剥离膜20剥离而获得坯片30并依次将坯片30层叠。通过反复执行多次该顺序而形成层叠体。
最后也可进行外层用坯片的层叠。
[0082]
层叠体中的坯片的层叠片数并未特别限制，例如，可为数十层至数百层。在层叠体的与层叠方向正交的两端面，也可设置未形成电极层的较厚的外层用坯片。在形成层叠体之后，也可将层叠体切断而制成生片(greenchip)。
[0083]
在烧成工序中，将在层叠工序获得的层叠体(生片)烧成而获得烧结体。烧成条件以1100～1300℃、在加湿了的氮气与氢气的混合气体等气氛中进行即可。但是，烧成时的气氛中的氧分压优选为10-2
pa以下，更优选为10-2
～10-8
pa。另外，在烧成前，优选实施层叠体的脱粘合剂处理。脱粘合剂处理可在一般的条件下进行。例如，在使用ni或ni合金等贱金属作为内部电极层的导电体材料的情况下，优选为以200～600℃进行。
[0084]
烧成后，为了使构成烧结体的电介质层再氧化，也可进行热处理。热处理中的保持温度或最高温度优选为1000～1100℃。热处理时的氧分压优选为比烧成时的还原气氛高的氧分压，更优选为10-2
pa～1pa。优选为对这样获得的烧结体例如实施滚筒研磨、以喷砂等实施端面研磨。
[0085]
电极形成工序中，在烧结体的侧面上烧附端子电极用浆料而形成端子电极95，由此可获得图4所示的层叠陶瓷电容器90。该层叠陶瓷电容器90的制造方法中，可使用形成于剥离膜卷100的卷芯10附近的剥离膜20上的坯片30来制造层叠陶瓷电容器90。剥离膜卷100中，卷芯10附近的剥离膜20的厚度变动幅度得以充分降低，因此坯片30的厚度的变动幅度也可充分降低。因此，形成于卷芯10附近的剥离膜20的坯片30也可用于层叠陶瓷电容器90的制造。
[0086]
这种层叠陶瓷电容器90可抑制耐电压的降低，可靠性优异。因此，根据上述制造方法，可以较高的成品率制造可靠性优异的层叠陶瓷电容器90。另外，也可使用先前未使用的剥离膜20，因此可降低制造成本。
[0087]
以上，说明了若干实施方式，但本发明丝毫不限定于上述实施方式。例如，说明了形成层叠陶瓷电容器作为陶瓷部件的例子，但本发明的陶瓷部件并不限定于层叠陶瓷电容器，例如也可为其它陶瓷部件。陶瓷部件例如也可为变阻器、或层叠电感器。
[0088]
实施例
[0089]
参照实施例及比较例更详细地说明本公开的内容，但本公开并非限定于下述实施例。
[0090]
(实施例1)
[0091]
为制作剥离膜，按以下顺序制备了剥离剂溶液。相对于壬二醇二丙烯酸酯100质量份，准备丙烯酸酯改性硅油(商品名：x-22-2445，信越化学工业株式会社制造)0.415质量份、甲基乙基酮100质量份、及甲苯100质量份。将这些放入金属制容器中并搅拌混合，获得无色透明的溶液。
[0092]
在上述溶液中，添加反应引发剂(商品名：omnirad127，igm rasins b.v.制造)2.5质量份而制备涂布液。从涂布装置的狭缝挤出涂布液而涂布于宽度1100mm的双轴延伸聚对苯二甲酸乙二酯膜(pet膜，厚度：31μm，宽度方向的厚度变动幅度：0.46μm)的一面，吹30秒温度为80℃的热风而使甲基乙基酮及甲苯蒸发。由此在pet膜上形成涂布层。
[0093]
接下来，在氧浓度100ppm的氮气气氛下照射紫外线而使涂布层固化，形成具有剥离功能的剥离层。这样获得在pet膜的一面具有剥离层的剥离膜。
[0094]
按以下顺序测定剥离膜的厚度。在涂布装置的紫外线固化部与剥离膜的卷取机之间设置光学式厚度测定器来测定剥离膜的厚度。厚度测定器分别具备测定波长域互不相同的剥离层的厚度测定用检测部、及pet膜的厚度测定用检测部。另外，测定点直径设为1mm，以剥离膜的一侧端为基准并以4mm间隔设定测定位置。一边将这些检测部沿宽度方向移动，一边在宽度方向上以4mm间隔分别测定剥离层及pet膜的厚度。将由光学式的厚度测定器求出的剥离层与pet膜的各测定值相加作为剥离膜的厚度。另外，一边搬送剥离膜且一边使厚度测定器来回移动，一边持续进行厚度测定。由此，遍及剥离膜的全长地测定剥离膜的厚度。剥离层的厚度的平均值为0.5μm。
[0095]
使用扫描型白色干涉显微镜(装置名：vs1540，hitachi high-tech science corporation制造)，测定了剥离膜的剥离层的表面粗糙度(rp)。其结果，剥离层的表面粗糙度(rp)为30nm。另外，所制作的剥离膜的全长为8500m。
[0096]
使用切断机将剥离膜沿长度方法切断，切下宽度200mm的尺寸。将该剥离膜以剥离面成为外侧的方式卷取于卷芯。卷取通过以使施加至所卷取的剥离膜的张力从开始卷绕至结束卷绕慢慢变弱的倾斜张力(taper tension)进行。这样，获得剥离膜的卷绕长度为4000m的5条剥离膜卷。另外，将切断前的剥离膜的自两端朝内侧50mm的部分切断并废弃。
[0097]
针对切断的各个剥离膜卷，使以上述顺序测定的剥离膜的厚度数据对应于各个剥离膜的位置而进行计算，对每一剥离膜卷求出宽度方向上的厚度变动幅度。
[0098]
用于卷取的纤维强化塑料制的卷芯是使环氧树脂含浸于玻璃纤维，加压并层叠成形而得到的卷芯。卷芯的内径为76.2mm，外径为88.2mm。使用研磨纸进行卷芯外周面的研磨。研磨通过将研磨纸从粗研磨纸阶段性地变为细研磨纸来进行。以此方式进行表面处理，并调整了卷芯外周面的表面粗糙度。
[0099]
在表面处理后，卷芯外周面的表面粗糙度rp及rv分别为1.5μm及3.0μm。该表面粗糙度(rp及rv)使用mitutoyo corporation制造的表面粗糙度测定机(商品名：sj-210)按以下顺序测定。将宽度202mm的卷芯的外周面沿着与剥离膜的宽度方向对应的方向划分成14块，测定各块的表面粗糙度。卷芯每旋转1/4圈重复进行一次这种测定，共计在56块测定表面粗糙度。56块各自的rp、rv中，将各自的最大值作为卷芯外周面的表面粗糙度rp、rv。结果如表1所示。
[0100]
从将剥离膜切断获得的剥离膜卷中，选出1条宽度方向上的厚度变动幅度为0.5μm的剥离膜卷。从该剥离膜卷拉出剥离膜，按以下顺序制作了电介质片材作为陶瓷部件片材。分别准备了作为陶瓷粉末的batio3系的粉末、作为有机粘合剂的聚乙烯醇缩丁醛(pvb)、及作为溶剂的甲醇。然后，相对于陶瓷粉末100质量份调配10质量份的有机粘合剂、及165质量份的溶剂，用球磨机混练而获得电介质浆料。
[0101]
将剥离膜卷设置于涂布机，从而将电介质浆料涂布于从剥离膜卷拉出的剥离膜的剥离层侧，在剥离膜上形成电介质坯片。电介质坯片的厚度设为0.9μm。该厚度使用设置于一条线上的穿透式x射线膜厚计(商品名：accurex，futec inc.制造)连续测定。在卷绕于卷芯的剥离膜剩余100m的状态下结束电介质浆料的涂布。其后，在未涂布的状态下从卷芯拉出剥离膜而使其在涂布机内移行，在卷芯上剥离膜剩余70m的状态下停止移行。根据由穿透式x射线膜厚计测定的资料来调查电介质坯片的厚度的平均值及厚度的变动幅度(厚度变动幅度)。另外，厚度变动幅度根据厚度的平均值、最大值及最小值而求出。即，将最大值-平
均值的绝对值与最小值-平均值的绝对值中较大的值作为厚度变动幅度。
[0102]
从开始涂布电介质浆料的剥离膜的前端侧至剩余500m的部分为止的电介质坯片的厚度变动幅度为0.03μm。另一方面，自剩余500m至剩余100m为止的部分(剥离膜的后端侧的部分)的电介质坯片的厚度变动幅度为0.04μm。将各种条件及结果汇总示于表1。
[0103]
(实施例2～3)
[0104]
调整卷芯外周面的研磨条件从而改变了卷芯外周面的表面粗糙度，除此以外，其它以与实施例1相同的方式制作了剥离膜卷。然后，以与实施例1相同的方式在从剥离膜卷拉出的剥离膜上形成电介质坯片，并调查了厚度变动幅度。结果如表1所示。
[0105]
(实施例4、5)
[0106]
将熔融的聚对苯二甲酸乙二酯从设置有狭缝的金属口儿浇铸至旋转冷却滚筒而制作pet膜。此时，通过更精密地调整该狭缝的间隙，而获得宽度方向的厚度变动幅度与实施例1不同的pet膜。除使用了该pet膜以外，其它以与实施例1相同的方式制作了剥离膜，获得了宽度方向的厚度变动幅度比实施例1小的剥离膜卷。然后，以与实施例1相同的方式，在自剥离膜卷拉出的剥离膜上形成电介质坯片，并调查了电介质坯片的厚度变动幅度。结果如表1所示。
[0107]
(实施例6)
[0108]
以与实施例1、4、5相同的方式制作了pet膜。此时，并不相较实施例1、4、5更精密地进行狭缝间隙的调整而制作了pet膜。由此，获得了宽度方向的厚度变动幅度与实施例1、4、5不同的pet膜。除使用了该pet膜以外，以与实施例1相同的方式制作了剥离膜，并获得了宽度方向的厚度变动幅度比实施例1大的剥离膜卷。以与实施例1相同的方式，在从剥离膜卷拉出的剥离膜上形成电介质坯片，并调查了电介质坯片的厚度变动幅度。结果如表1所示。
[0109]
(实施例7)
[0110]
除代替纤维强化塑料制的卷芯而使用abs(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚树脂)制的卷芯以外，其它以与实施例1相同的方式获得了剥离膜卷。该abs制的卷芯通过利用挤出成形来制作。由于不进行外周面的研磨，因此卷芯外周面的表面粗糙度取决于模具的表面形状。以与实施例1相同的方式在从剥离膜卷拉出的剥离膜上形成电介质坯片，并调查了厚度变动幅度。结果如表1所示。
[0111]
(实施例8)
[0112]
除使用了与实施例2相同的卷芯、使用了与实施例4相同的剥离膜、及将卷绕长度设为8000m以外，其它以与实施例1相同的方式制作了剥离膜。除根据卷绕剥离膜的长度而比实施例1更长地形成了电介质坯片以外，其它以与实施例1相同的方式调查了厚度变动幅度。结果如表1所示。
[0113]
(实施例9)
[0114]
除使用了与实施例3相同的卷芯、使用了与实施例4相同的剥离膜、及将卷绕长度设为6000m以外，其它以与实施例1相同的方式制作了剥离膜。除根据卷绕剥离膜的长度而比实施例1更长地形成了电介质坯片以外，其它以与实施例1相同的方式调查了厚度变动幅度。结果如表1所示。
[0115]
(实施例10)
[0116]
除使用了与实施例3相同的卷芯、使用了与实施例5相同的剥离膜、及将卷绕长度
设为8000m以外，其它以与实施例1相同的方式制作了剥离膜。除根据卷绕剥离膜的长度而比实施例1更长地形成了电介质坯片以外，其它以与实施例1相同的方式调查了厚度变动幅度。结果如表1所示。
[0117]
(实施例11)
[0118]
在实施例1中在从剥离膜卷拉出的剥离膜上形成了电介质坯片之后，重复利用卷芯而再次制作了实施例1的剥离膜卷。在从该剥离膜卷拉出的剥离膜上再次形成电介质坯片。这样反复进行剥离膜卷的制作、与从该剥离膜卷拉出的剥离膜上的电介质坯片的制作共计30次。调查第30次制作的电介质坯片的厚度变动幅度。结果如表1所示。
[0119]
(实施例12)
[0120]
除在向卷芯的卷取中将剥离面作为内侧而卷取剥离膜以外，其它以与实施例1相同的方式制作了剥离膜卷。然后，以与实施例1相同的方式在从剥离膜卷拉出的剥离膜上形成了电介质坯片，并调查了厚度变动幅度。结果如表1所示。
[0121]
(比较例1)
[0122]
除仅以粗的研磨纸进行了卷芯外周面的研磨而改变了卷芯外周面的表面粗糙度以外，其它以与实施例1相同的方式制作了剥离膜卷。然后，以与实施例1相同的方式在从剥离膜卷拉出的剥离膜上形成电介质坯片，并调查了厚度变动幅度。结果如表1所示。
[0123]
(比较例2)
[0124]
除使用了厚度变动幅度不同的pet膜、及使卷取于卷芯的剥离膜的长度如表1所示变动以外，其它以与比较例1相同的方式获得了剥离膜卷。以与比较例1相同的方式在从剥离膜卷拉出的剥离膜上，根据卷绕长度而比比较例1更长地形成电介质坯片，并调查了厚度变动幅度。结果如表1所示。从500m附近起电介质坯片的膜厚变动开始变大，从300m起膜厚特别大地变动。
[0125]
(比较例3)
[0126]
代替frp制的卷芯，使用了外周面的表面粗糙度为表1所示的酚醛塑料制的卷芯。除使用了该卷芯以外，其它以与实施例1相同的方式获得了剥离膜卷。以与实施例1相同的方式在从剥离膜卷拉出的剥离膜上形成了电介质坯片，并调查了厚度变动幅度。结果如表1所示。从500m附近起电介质坯片的膜厚变动开始变大，从300m起膜厚特别大地变动。
[0127]
[表1]
[0128][0129]
比较例1～3中，在卷芯侧、即剥离膜的后端侧(500m～100m)，电介质坯片的厚度变动幅度变大。在将这样的电介质坯片层叠并烧成而获得的层叠陶瓷电容器中，有产生耐电压不良的顾虑。另一方面，实施例1～12中，在卷芯侧、即剥离膜的后端侧(500m～100m)，也可使电介质坯片的厚度变动幅度减小。将这种电介质坯片层叠并烧成而获得的电容器的耐电压高，可靠性优异。另外，根据实施例11的结果，纤维强化塑料制的卷芯能够反复利用，确认到耐久性也优异。另一方面，实施例7的abs制的卷芯虽电介质坯片的厚度变动幅度较小，但使用后卷芯变形，难以重复利用。
[0130]
[产业上的可利用性]
[0131]
根据本发明，可提供一种能够有效利用剥离膜至卷芯附近为止的剥离膜卷。另外，本发明可提供一种通过使用这样的剥离膜卷从而能够以较高的生产效率制造陶瓷部件片材及陶瓷部件的制造方法。另外，本发明可提供一种可靠性优异的陶瓷部件片材及陶瓷部件。