一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备的制作方法

文档序号:30426904发布日期:2022-06-15 15:20阅读:141来源:国知局
一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备的制作方法
一种提高ito靶材初坯致密度的制备设备
技术领域
1.本发明属于注浆成型技术领域,具体涉及一种提高ito靶材初坯致密度的制备设备。


背景技术:

2.ito是铟锡氧化物的英文缩写,其主要特征是它的薄膜既有很好的导电性,又有很高的透光率,现在全世界的ito靶材用量在1000-1200吨;目前在制备ito靶材坯的过程中存在ito靶材坯的密度不均匀的现象,同时在注塑材料的过程中材料中容易出现气泡。


技术实现要素:

3.为了解决现有技术存在的上述问题,本发明目的在于提供一种提高ito靶材初坯致密度的制备设备。
4.本发明所采用的技术方案为:
5.一种提高ito靶材初坯致密度的制备设备,包括上模框、第一移动支架、转动组件及升降组件;
6.所述上模框中滑动设置有压板,所述压板与所述第一移动支架之间通过伸缩油缸连接,所述伸缩油缸的外部套设有第一弹性件;
7.所述压板上安装有真空机及进料管,所述进料管上设置有电磁阀;
8.所述升降组件设置有两个分别设置在所述第一移动支架的两侧并与所述上模框之间相连接;
9.所述转动组件设置在所述第一移动支架上,所述转动机构的两侧分别与两个所述升降组件之间传动连接;所述转动机构在所述伸缩油缸中油脂回流至油箱的过程中带动升降组件转动来提高第一移动支架的高度。
10.优选的,还包括下模框,所述下模框与所述上模框的尺寸相同,所述下模框与上模框的两侧分别通过两个伸缩气缸连接。
11.优选的,所述上模框与下模框之间的闭合面之间设置有软质密封条,所述上模块与所述下模块闭合后与所述压板之间形成成型腔。
12.优选的,所述上模框还的两侧内部均设置有滑轨,所述第一移动支架的两侧分别滑动连接在两个的所述滑轨上,所述压板的外边缘与所述上模框之间设置有密封边框。
13.优选的,所述转动机构包括固定连接在所述第一移动支架上的双头气缸及滑动连接在所述第一移动支架上的第二移动支架,所述第二移动支架设置为两个,两个所述第二移动支架对称分布在第一移动支架上,所述双头气缸设置在所述第一移动支架的中部,所述双头气缸的两端分别与两个所述第二移动支架固定连接。
14.优选的,每个所述第二移动支架上均固定连接有转动油缸,每个所述转动油缸的转动端均固定连接有第一摩擦轮,每个所述转动油缸设置在所述伸缩油缸与所述油箱之间并通过导管与两者相连通。
15.优选的,所述升降组件包括转动连接在所述第一移动支架上的螺纹套筒及固定连接在所述上模框上的丝杆,所述螺纹套筒与所述丝杆之间螺纹连接,所述螺纹套筒的外部固定连接有第二摩擦轮。
16.优选的,所述第二摩擦轮与所述第一摩擦轮之间传动连接,所述第二摩擦轮与所述第一移动支架之间设置有扭转复位件。
17.优选的,所述下模框的底部设置有排水管,每个所述排水管的上均设置有单向阀,所述下模框的内部侧底部设置有滤网。
18.优选的,所述下模框还设置有流水槽,所述流水槽之间成网格状设置,所述排水管的位于所述流水槽的的交汇处。
19.本发明的有益效果为:
20.该装置通过转动组件、升降组件及真空机之间的配合,利用大气压完成进料按压,在按压材料的过程中不断提高第一移动支架的高度,经过反复的加料挤成型可将材料中气泡完全排除,并且反复的挤压可以将材料挤压的更加紧实,进而增加成型件的密度。
附图说明
21.下面结合附图和具体实施方法对本发明做进一步详细的说明。
22.图1是本发明整体轴侧的结构示意图;
23.图2是本发明整体前侧的结构示意图;
24.图3是本发明部分轴侧的结构示意图;
25.图4是本发明部分前侧的结构示意图;
26.图5是本发明上模框的结构示意图。
27.图中:1-上模框,2-下模框,3-伸缩气缸,4-滑轨,5-压板,6-进料管,7-电磁阀,8-密封边框,9-真空机,10-第一移动支架,11-伸缩油缸,12-第二移动支架,13-双头气缸,14-转动油缸,15-第一摩擦轮,16-螺纹套筒,17-第二摩擦轮,18-丝杆,19-滤网,20-排水管,21-单向阀。
具体实施方式
28.下面结合附图及具体实施例对本发明作进一步阐述。
29.下面结合图1-5说明本发明的具体实施方式,一种提高ito靶材初坯致密度的制备设备,包括上模框1、第一移动支架10、转动组件及升降组件;所述上模框1中滑动设置有压板5,所述压板5与所述第一移动支架10之间通过伸缩油缸11连接,所述伸缩油缸11的外部套设有第一弹性件;所述压板5上安装有真空机9及进料管6,所述进料管6上设置有电磁阀7;所述升降组件设置有两个分别设置在所述第一移动支架10的两侧并与所述上模框1之间相连接;所述转动组件设置在所述第一移动支架10上,所述转动机构的两侧分别与两个所述升降组件之间传动连接;所述转动机构在所述伸缩油缸11中油脂回流至油箱的过程中带动升降组件转动来提高第一移动支架10的高度;该装置通过转动组件、升降组件及真空机9之间的配合,利用大气压完成进料按压,在按压材料的过程中不断提高第一移动支架10的高度,经过反复的加料挤成型可将材料中气泡完全排除,并且反复的挤压可以将材料挤压的更加紧实,进而增加成型件的密度。
30.优选的,还在本发明的一个具体实施例中,再次参考图1-5,包括下模框2,所述下模框2与所述上模框1的尺寸相同,所述下模框2与上模框1的两侧分别通过两个伸缩气缸3连接;所述上模框1与下模框2之间的闭合面之间设置有软质密封条,所述上模块与所述下模块闭合后与所述压板5之间形成成型腔;使用时收缩伸缩气缸3使上模框1与下模框2闭合,上模框1与下模框2之间设置的软质密封条可以使成型腔与外界完全隔绝。
31.优选的,在本发明的一个具体实施例中,再次参考图1-5,所述上模框1还的两侧内部均设置有滑轨4,所述第一移动支架10的两侧分别滑动连接在两个的所述滑轨4上,所述压板5的外边缘与所述上模框1之间设置有密封边框8;通过设置多个滑轨4进而使得第一移动支架10在移动的过程中确保移动方向的同时增加第一移动支架10的平稳性。
32.优选的,在本发明的一个具体实施例中,再次参考图1-5,所述转动机构包括固定连接在所述第一移动支架10上的双头气缸13及滑动连接在所述第一移动支架10上的第二移动支架12,所述第二移动支架12设置为两个,两个所述第二移动支架12对称分布在第一移动支架10上,所述双头气缸13设置在所述第一移动支架10的中部,所述双头气缸13的两端分别与两个所述第二移动支架12固定连接;每个所述第二移动支架12上均固定连接有转动油缸14,每个所述转动油缸14的转动端均固定连接有第一摩擦轮15,每个所述转动油缸14设置在所述伸缩油缸11与所述油箱之间并通过导管与两者相连通;伸缩油缸11在收缩的过程中,伸缩油缸11中的油脂流经转动油缸14推动固定在其转动轴上的第一摩擦轮15进行转动,进而带动升降组件进行升降,由于转动油缸14设置为单项转动,进而在伸缩油缸11伸长的过程中并不能带动转动油缸14进行转动;当装置完成成型取出成型品后,收缩双头气缸13拉动两侧的第二移动支架12向中间移动,进而使得第一摩擦轮15与升降组件脱离在复位件的作用下恢复原有位置。
33.优选的,在本发明的一个具体实施例中,再次参考图1-5,所述升降组件包括转动连接在所述第一移动支架10上的螺纹套筒16及固定连接在所述上模框1上的丝杆18,所述螺纹套筒16与所述丝杆18之间螺纹连接,所述螺纹套筒16的外部固定连接有第二摩擦轮17;所述第二摩擦轮17与所述第一摩擦轮15之间传动连接,所述第二摩擦轮17与所述第一移动支架10之间设置有扭转复位件;第一摩擦轮15在转动的过程中带动第二摩擦轮17进行旋转,进而带动螺纹套筒16进行旋转,利用与丝杆18的作用下,带动第一移动支架10向上移动,第一摩擦轮15与第二摩擦轮17脱离后在扭转复位件的弹力下带动螺纹套筒16反转,进而使得第一移动支架10恢复至原有位置。
34.优选的,在本发明的一个具体实施例中,再次参考图1-5,所述下模框2的底部设置有排水管20,每个所述排水管20的上均设置有单向阀21,所述下模框2的内部侧底部设置有滤网19;所述下模框2还设置有流水槽,所述流水槽之间成网格状设置,所述排水管20的位于所述流水槽的的交汇处;在抽空成型腔中材料受到挤压时,材料中水份通过滤网19的过滤集中在流水槽中,汇集到排水管20时排出,通过在排水管20上设置单向阀21,这样在抽空成型腔中的时可以防止漏气。
35.本发明一种提高ito靶材初坯致密度的制备设备,其装置的工作原理为:
36.使用的过程中,收缩伸缩气缸3使上模框1与下模框2闭合,上模框1与下模框2之间设置的软质密封条可以使成型腔与外界完全隔绝;通过驱动真空机9将成型腔内的空气完全排出,在气压的作用下推动压板5向下移动(此时拉动伸缩油缸11伸长),在打开电磁阀7
后利用外部气压与成型腔内部之间的压力差,材料将通过减料管6进入至成型腔中,此时伸缩油缸11将逐渐收缩,伸缩油缸11在收缩的过程中,伸缩油缸11中的油脂流经转动油缸14推动固定在其转动轴上的第一摩擦轮15进行转动,第一摩擦轮15在转动的过程中带动第二摩擦轮17进行旋转,进而带动螺纹套筒16进行旋转,利用与丝杆18的作用下,带动第一移动支架10向上移动,完成移动后,在驱动真空机9将材料中的气泡抽离出成型腔,在抽离空气的过程中,再次利用大气压来挤压成型腔中的材料,经过反复的加料挤成型可将材料中气泡完全排除,并且反复的挤压可以将材料挤压的更加紧实,进而增加成型件的密度,完成成型后驱动伸缩气缸3伸长和双头气缸13进行收缩,将成型件取出,收缩双头气缸13拉动两侧的第二移动支架12向中间移动,第一摩擦轮15与第二摩擦轮17脱离后在扭转复位件的弹力下带动螺纹套筒16反转,进而使得第一移动支架10恢复至原有位置。
37.本发明不局限于上述可选实施方式,任何人在本发明的启示下都可得出其他各种形式的产品,但不论在其形状或结构上作任何变化,凡是落入本发明权利要求界定范围内的技术方案,均落在本发明的保护范围之内。
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