辅助减少轴承箱震动的夹具及其安装方法与流程

本发明涉及单晶硅生产及设备维护，特别涉及一种辅助减少轴承箱震动的夹具及其安装方法。

背景技术：

1、硅片是半导体领域的主要生产材料，硅片多线切割技术是目前比较先进的硅片加工技术。它的原理是通过钢线的高速运动带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦，进而实现切割的目的。在整个过程中，钢线通过滑轮组件的引导后在导轮上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进而，以实现对硅片的切割。线切割不同于传统的砂轮片、刀锯片等切割技术，其具有效率高、产能高以及精度高等有点，是目前采用最广泛的硅片切割技术。

2、然而，随着线切割机的使用年限的增加设备会出现磨损，同时线切割机的轴承箱在经常进行拆卸安装等维修操作的过程中也会影响设备机体的孔径，如此使得线切割机在工作时，轴承箱会产生较大的震动，而轴承箱产生较大的震动则又会影响线切割加工的精度，进而严重影响了硅片加工的质量。

技术实现思路

1、有鉴于此，针对以上不足，有必要提出一种辅助减少轴承箱震动的夹具及其安装方法，以减少轴承箱产生的震动，使得线切割机具有较高的精度，进而提高硅片加工的质量。

2、第一方面，本发明提供了一种辅助减少轴承箱震动的夹具，包括：弧形块、弹性组件和n个固定件；所述弧形块的正侧面上设置有贯穿的第一固定孔，用以将该弧形块固定在待进行减震的轴承箱上；弧形块的内侧面和外侧面为同向弯曲的弧面，所述弹性组件固定连接在所述弧形块的内侧面上，且弹性组件与所述内侧面之间存在间隙；外侧面上设置有n个第二固定孔，每一个第二固定孔均贯穿所述弧形块的外侧面和内侧面，每一个固定件的一端均穿过一个第二固定孔接触到所述弹性组件上。

3、优选的，所述第二固定孔均为螺纹孔，固定件为螺栓。

4、优选的，第二固定孔为两个，且该两个第二固定孔关于所述第一固定孔对称。

5、优选的，所述弹性组件包括第一连接件、第一弹片和第二弹片；所述第一连接件固定在所述第一固定孔的正下方，所述第一弹片和第二弹片对称固定在所述第一连接件的两侧，且使两个弹片分别正对两个第二固定孔，两个弹片均与所述弧形块的内侧面存在间隙。

6、优选的，所述弹性组件和所述弧形块可一体成型。

7、优选的，所述第一弹片、第二弹片和所述第一连接件构成的弧形面与所述弧形块的内侧面具有相同的弧度。

8、优选的，所述弹性组件包括：第二连接件、第一弹簧、第二弹簧和第三连接件；所述第一弹簧和第二弹簧的两端分别固定与所述第二连接件和所述第三连接件上，且关于第一连接件和第二连接件的中心位置对称；所述第二连接件面向所述弧形块的一面设置有两个非贯穿的第三固定孔，该第三固定孔为与所述第二固定孔孔径相同的螺纹孔，且每一个螺栓穿过一个第二固定孔后能够螺纹齿合进一个第三固定孔。

9、优选的，所述第三连接件与所述弧形块的内侧面具有相同的弧度。

10、第二方面，本发明提供了一种辅助减少轴承箱震动的夹具的安装方法，包括以下步骤：

11、步骤1：确定轴承箱发生震动的机台；

12、步骤2：拆掉发生震动的机台的边缘上处于对称位置上的两个螺栓；

13、步骤3：在每一个拆掉螺栓的螺纹孔位置上，利用拆掉的螺栓穿过所述辅助减少轴承箱震动的夹具的第一固定孔进行固定，使得该夹具以弹性组件正对发生震动的机台中心的方式固定在该机台上；

14、步骤4：紧固夹具上的固定件，以驱使所述弹性组件紧致压实在所述轴承箱的机台上。

15、由上述技术方案可知，本发明提供的辅助减少轴承箱震动的夹具主要可以包括弧形块、弹性组件和固定件，弹性组件固定设置在内侧面上，弧形块的正侧面和外侧面上分别设置第一固定孔和第二固定孔，第一固定孔用于将该弧形块固定在轴承箱上，固定件用于穿过第二固定孔接触到弹性组件上。如此，在安装好夹具后，弹性组件紧挨着待减震的轴承箱，通过紧固固定件即可驱动弹性组件运动，进而紧紧压在轴承箱上，达到减少轴承箱震动的目的。进一步，轴承箱震动减少，线切割机的工作精度也就更高，进而线切割机加工出的硅片质量也就更高。

技术特征：

1.一种辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，包括：弧形块、弹性组件和n个固定件；所述弧形块的正侧面上设置有贯穿的第一固定孔，用以将该弧形块固定在待进行减震的轴承箱上；弧形块的内侧面和外侧面为同向弯曲的弧面，所述弹性组件固定连接在所述弧形块的内侧面上，且弹性组件与所述内侧面之间存在间隙；外侧面上设置有n个第二固定孔，每一个第二固定孔均贯穿所述弧形块的外侧面和内侧面，每一个固定件的一端均穿过一个第二固定孔接触到所述弹性组件上。

2.根据权利要求1所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，所述第二固定孔均为螺纹孔，固定件为螺栓。

3.根据权利要求2所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，第二固定孔为两个，且该两个第二固定孔关于所述第一固定孔对称。

4.根据权利要求3所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，所述弹性组件包括第一连接件、第一弹片和第二弹片；所述第一连接件固定在所述第一固定孔的正下方，所述第一弹片和第二弹片对称固定在所述第一连接件的两侧，且使两个弹片分别正对两个第二固定孔，两个弹片均与所述弧形块的内侧面存在间隙。

5.根据权利要求4所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，所述弹性组件和所述弧形块可一体成型。

6.根据权利要求4所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，所述第一弹片、第二弹片和所述第一连接件构成的弧形面与所述弧形块的内侧面具有相同的弧度。

7.根据权利要求3所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，所述弹性组件包括：第二连接件、第一弹簧、第二弹簧和第三连接件；所述第一弹簧和第二弹簧的两端分别固定与所述第二连接件和所述第三连接件上，且关于第一连接件和第二连接件的中心位置对称；所述第二连接件面向所述弧形块的一面设置有两个非贯穿的第三固定孔，该第三固定孔为与所述第二固定孔孔径相同的螺纹孔，且每一个螺栓穿过一个第二固定孔后能够螺纹齿合进一个第三固定孔。

8.根据权利要求7所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，所述第三连接件与所述弧形块的内侧面具有相同的弧度。

9.一种辅助减少轴承箱震动的夹具的安装方法，其特征在于，包括以下步骤：

技术总结
一种辅助减少轴承箱震动的夹具及其安装方法，该夹具包括：弧形块、弹性组件和N个固定件；弧形块的正侧面上设置有贯穿的第一固定孔，用以将该弧形块固定在待进行减震的轴承箱上；弧形块的内侧面和外侧面为同向弯曲的弧面，弹性组件固定连接在弧形块的内侧面上，且弹性组件与内侧面之间存在间隙；外侧面上设置有N个第二固定孔，每一个第二固定孔均贯穿弧形块的外侧面和内侧面，每一个固定件的一端均穿过一个第二固定孔接触到弹性组件上。本方案能够减少轴承箱产生的震动，使得线切割机具有更高的精度，进而提高硅片加工的质量。

技术研发人员：陈元寿,马玉怀,赵娜,徐慶晧,王黎光,曹启刚,芮阳,王忠保,张昆
受保护的技术使用者：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15