一种用于石英舟双刀开槽机构的制作方法

本发明涉及石英舟加工，特别涉及一种用于石英舟双刀开槽机构。

背景技术：

1、在集成电路扩散工艺制作中，需要用石英舟作为圆晶(硅片)的载体，而石英棒是组成石英舟的重要部分。在石英舟的石英棒加工过程中，需要沿着其长度方向加工出排列分布的槽齿。石英舟的石英棒的开槽机构由夹持组件、可移动的切割组件组成，在夹持组件上可夹持至少两个呈排列分布的石英棒，切割组件在横向移动切割过程中对多个石英棒开设前一道槽齿，在纵向移动调节位置后，继续横向移动对多个石英棒开设后一道槽齿。其中石英舟的石英棒可参考授权公告号为cn217035601u，授权公告日为2022年7月22日的中国专利《一种多次扩散石英舟》中的石英棒的结构。开槽机构的夹持组件可参考授权公告号为cn217346134u，授权公告日为2022年9月22日的中国专利《一种用于石英棒开槽的加工装置》。

2、但是因为石英棒上需要开设的槽齿数量较多，且其长度越长所需开设的槽齿数量越多，导致切割组件对石英棒开槽的加工效率较低的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种用于石英舟双刀开槽机构，能够提高对石英棒开槽的加工效率。

2、本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于石英舟双刀开槽机构，包括机床、设置在机床内且实现对多个石英棒夹持的夹持组件、活动设置在机床上的切割组件，所述切割组件包括沿着机床的长度方向移动设置在机床上的第一移动架、设置在机床和第一移动架之间的第一移动机构、沿着机床的宽度方向移动设置在第一移动架上的第二移动架、设置在第一移动架和第二移动架之间的第二移动机构、升降设置在第二移动架上的升降架、设置在第二移动架和升降架之间的升降气缸、设置在升降架下端的动力电机、与动力电机联动的开槽刀具，所述开槽刀具包括左支座、右支座、两个设置在左支座和右支座之间的导向杆、至少两个滑动设置两个导向杆上的调节座、多个分别安装在调节座上的安装夹具、多个分别安装在安装夹具上的开槽刀片、用于等间距调节多个调节座的位置的调节组件，所述左支座上设置有用于安装在动力电机的输出轴上的连接套部，所述右支座上设置有位于调节丝杠周侧的空心转轴部；所述升降架上设置有朝向右支座延伸的延伸梁，所述延伸梁上滑动设置有调节支架，所述延伸梁和调节支架之间设置有实现固定调节支架的固定旋钮螺栓，所述调节支架下端设置有套设在空心转轴部以提高开槽刀片转动稳定性的加固套筒。

3、通过采用上述技术方案，通过调节组件可实现等间距调节多个调节座的位置，从而实现调节多个开槽刀片的位置，以实现控制相邻开槽刀片之间的间距为石英棒上的相邻槽齿的整数倍，多个开槽刀片进行开槽设置能够提高对石英棒开槽的加工效率；且在开槽刀具安装时，使得连接套部安装在动力电机的输出轴上，使得调节支架上的加固套筒套设在空心转轴部上，从而提高开槽刀具转动的稳定性。

4、本发明的进一步设置为：所述调节组件包括转动连接在左支座和右支座之间且穿过多个调节座的调节丝杠、设置在靠近右支座的调节座上且与调节丝杠相连接的丝杠螺母、多个分别中部铰接在除去具有丝杠螺母的多个调节座上的第一调节臂、一端铰接在左支座上的第二调节臂、一端铰接在具有丝杠螺母的调节座上的第三调节臂，所述调节丝杠一端穿出右支座且位于空心转轴部内的正多边形转动端，相邻的所述第一调节臂的端部相铰接，所述第二调节臂和相靠近的第一调节臂的端部相铰接，所述第三调节臂和相靠近的第一调节臂的端部相铰接，所述第一调节臂、第二调节臂和第三调节臂活动时不与安装夹具相干涉。

5、通过采用上述技术方案，在调节组件使用时，通过转动正多边形转动端，可实现带动具有丝杠螺母的调节座的位置改变，而多个调节座和左支架在安装过程中采用第一调节臂、第二调节臂和第三调节臂连接，从而实现带动其余调节座的位置实现等间距调节，以使得多个开槽刀片之间的间距在调节过程中保持相等的状态。

6、本发明的进一步设置为：所述夹持组件包括设置在机床内且具有多个供石英棒下半部分嵌入的嵌入槽的工作台、升降设置在工作台两端的升降压座、设置在升降压座下表面且用于压紧多个石英棒端部的第一橡胶压垫、穿过升降压座两端后螺纹连接在工作台上的锁紧旋钮螺栓，所述嵌入槽呈“v”型设置。

7、通过采用上述技术方案，在多个石英棒分别嵌入在多个嵌入槽后，通过安装升降压座并通过锁紧旋钮螺栓固定在工作台的过程中，升降压座下表面的第一橡胶压垫可实现对石英棒的端部进行弹性压紧固定。

8、本发明的进一步设置为：所述工作台两端的两侧分别滑动设置有滑动块，所述升降压座两端的两个锁紧旋钮螺栓下端分别螺纹连接在两个滑动块上，所述第一橡胶压垫上排列设置有多个呈“v”型设置的压槽。

9、通过采用上述技术方案，因不同型号的石英棒的长度不同，通过在工作台两侧滑动设置滑动块，使得升降压座两端的锁紧旋钮螺栓螺纹连接在两个滑动块上，此时可实现调节升降压座相对工作台的位置，以适配不同长度的石英棒的两端进行夹持压紧。

10、本发明的进一步设置为：所述调节支架下端设置有在开槽刀片开槽过程中实现弹性压紧在多个石英棒上的弹性压紧组件，所述弹性压紧组件初始状态的最下端高度和开槽刀片最下端的高度相同。

11、通过采用上述技术方案，在开槽刀片对石英棒进行开槽时，有的石英棒长度较长，在开槽过程中容易出现振动，此时通过弹性压紧组件的辅助压紧，可实现对石英棒靠近开槽处的位置进行压紧，以减少开槽时出现的振动；同时因弹性压紧组件压紧在多个石英棒上，使得开槽刀片沿着机床的宽度方向对多个石英棒进行开槽时，可减少弹性压紧组件随之移动时受到的阻力。

12、本发明的进一步设置为：所述弹性压紧组件包括升降设置在调节支架下端的升降座、设置在升降座下表面且实现压紧在石英棒上的第二橡胶压垫、两个设置在调节支架两侧的伸缩套、两个设置在升降座上端且穿过升降套的升降轴、设置在升降轴上端的防脱螺母、套设在升降轴上且两端抵紧在升降座和伸缩套之间的压缩弹簧，所述第二橡胶压垫下表面两端的折角处呈圆角设置，当所述开槽刀片沿着机床的纵向移动过程中，所述第二橡胶压垫用于同时压紧在多个石英棒上表面。

13、通过采用上述技术方案，弹性压紧组件包括升降座、第二橡胶压垫、伸缩套、升降轴、防脱螺母和压缩弹簧，此时在开槽刀片开槽过程中，可通过压缩弹簧使使得第二橡胶压垫压紧在多个石英棒上表面进行辅助压紧，以减少开槽时出现的振动；同时第二橡胶压垫下表面两端的折角处呈圆角设置，进一步减小弹性压紧组件随着开槽刀片移动时受到的阻力。

14、本发明的进一步设置为：所述安装夹具包括安装圆盘、设置在安装圆盘和调节座之间的连杆、设置在安装圆盘周侧的定夹持座、滑动设置在安装圆盘周侧的活动夹持座、多个螺栓螺母，所述开槽刀片被压紧在定夹持座和活动夹持座之间，所述螺栓螺母穿过定夹持座、开槽刀片和活动夹持座。

15、通过采用上述技术方案，在开槽刀片安装后，通过螺栓螺母的固定，使得开槽刀片被固定在定夹持座和活动夹持座之间。

16、本发明的进一步设置为：在调节相邻的所述开槽刀片的间距时，使得所述开槽刀片的间距为石英棒的相邻槽齿间距的5-10倍。

17、通过采用上述技术方案，开槽刀具的间距为石英棒相邻槽齿间距的5-10倍时，使得相邻的开槽刀欧安之间可设定较大的间距，以方便开槽刀片设计时对间距的尺寸要求，同时在多个开槽刀片对石英棒进行开槽时，同时加工的多个槽齿之间的间距较大时，避免相邻的两个槽齿加工时出现的振动断裂的情况发生。