一种多线切割机的滚筒式罗拉结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于机械技术领域，涉及一种多线切割机，特别是一种多线切割机的滚筒式罗拉结构。
【背景技术】
[0002]多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。现有的多线切割机罗拉轴中，主动轴和被动轴是一样的结构，且被动轴由主动轴通过皮带传动带动进行运动，而且罗拉轴在长时间工作后容易发热而影响正常使用，现有的罗拉轴均是在轴承座上进行冷却的，结构复杂，制造费用高，而且冷却效果较差。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种多线切割机的滚筒式罗拉结构，它结构简单，冷却效果好。
[0004]本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:一种多线切割机的滚筒式罗拉结构，包括罗拉、前罗拉架和后罗拉架，前罗拉架和后罗拉架分别设置在罗拉前后两端并对罗拉进行定位，其特征在于，所述罗拉包括罗拉轴、罗拉芯轴和罗拉滚筒，所述罗拉轴为中空的管状结构，所述罗拉芯轴通过轴承套设在罗拉轴的外部，所述罗拉滚筒套设并固连在罗拉芯轴的外部，所述后罗拉架上固设有一进出水座，所述进出水座具有一冷却液进口、一冷却液出口和一插设在罗拉轴内腔中并与罗拉轴内腔相连通的冷却液内管，所述冷却液内管的外径小于罗拉轴的内径，所述冷却液内管的前端位于罗拉轴内腔的前端，且冷却液内管的后端与冷却液进口相连通，所述冷却液出口与罗拉轴的内腔相连通。
[0005]本技术方案中，通过设置在后罗拉架上进出水座引入或引出冷却液，可以实现对罗拉轴的直接冷却，冷却效果好，而且罗拉滚筒和罗拉轴为相分离的滚筒式结构，改变了原有借助皮带传动的方式，可以直接由缠绕在罗拉上的切割钢丝线带动进行转动，结构更加简单。
[0006]在上述的多线切割机的滚筒式罗拉结构中，所述罗拉轴的后端通过后支承座连接在后罗拉架上，所述前罗拉架上固连有一前固定座，所述罗拉轴的前端上设置有压板和锁紧螺母，所述压板套设在罗拉轴上，且压板的后端面压设在前固定座上，所述锁紧螺母通过螺纹旋接在罗拉轴上，且锁紧螺母的后端面压设在压板上。当锁紧螺母锁紧之后，罗拉轴相对于前、后罗拉架是保持固定不动的，进出冷却液时的密封性好，冷却效果好，而且无需动密封结构装置，结构更加简单。
[0007]在上述的多线切割机的滚筒式罗拉结构中，所述罗拉轴和前固定座之间设置有一锥套，所述锥套套设在罗拉轴的前端上且由固定螺母一进行限位，所述锥套具有一直径由后往前逐渐减小的外锥面，所述前固定座具有与锥套相配合的内锥面。罗拉轴的后端与后支承座为非固连连接，且罗拉轴和前固定座通过锥套锥度连接，当调整固定螺母和罗拉轴的旋进深度时，能够对罗拉轴的位置进行轴向调整，从而调整罗拉轴和锥套的结合度，使得两者连接更加牢固，该设计结构简单，而且其在安装罗拉时，容易校准定位，拆卸罗拉时也更加的方便快捷。
[0008]在上述的多线切割机的滚筒式罗拉结构中，所述罗拉芯轴的前端端部环设有一圈挡沿，罗拉芯轴的后端固连有一后防砂套，所述后防砂套的前端面抵靠在罗拉滚筒的后端面并使得罗拉滚筒的前端面抵靠在挡沿上，所述后防砂套的后端套装在后支承座上。罗拉滚筒由后防砂套进行限位固连在罗拉芯轴上，结构相对简单；后防砂套由橡胶制成，既能避免切割用砂进入到罗拉中，又能避免冷气外泄，冷却效果好。
[0009]在上述的多线切割机的滚筒式罗拉结构中，所述罗拉芯轴的前端固连有一前防砂套，所述前防砂套的前端套设在前固定座上。前防砂套由橡胶制成，既能避免切割用砂进入到罗拉中，又能避免冷气外泄，冷却效果好。
[0010]与现有技术相比，本实用新型具有以下的优点:
[0011]1、原来多线切割机罗拉轴中，主动轴和被动轴是一样的结构，现在把被动轴的结构做了较大的改动，采用了滚筒式结构，罗拉轴固定不转，罗拉芯轴带动罗拉滚筒转动，而且改变了原有借助皮带传动的方式，直接由缠绕在罗拉上的切割钢丝线带动即可，结构更加简单；
[0012]2、罗拉轴的冷却采用主轴内部冷却，与原来的轴承座冷却相比，结构简单了，制造费用减少，冷却效果提高，由于罗拉轴是固定不动的，避免了进出冷却液时采用的动密封结构装置，避免了易渗漏的缺点；
[0013]3、采用了锥度连接，更换罗拉时，更加方便快捷。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型的结构示意图。
[0015]图中，1、罗拉；la、罗拉轴；lb、罗拉芯轴；Ib 1、挡沿；lc、罗拉滚筒；2、前罗拉架；3、后罗拉架；4、轴承；5、进出水座；5a、冷却液进口 ；5b、冷却液出口 ；5c、冷却液内管；6、后支承座；7、后连接板；8、前固定座；9、压板；10、锁紧螺母；11、锥套；12、固定螺母一 ；13、后防砂套；14、前防砂套；15、固定螺母二 ；16、堵头。
【具体实施方式】
[0016]以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
[0017]参照图1，本实施例为一种多线切割机的滚筒式罗拉结构，包括罗拉1、前罗拉架2和后罗拉架3，前罗拉架2和后罗拉架3分别设置在罗拉I前后两端并对罗拉I进行定位。具体如下，后罗拉架3上固连有一后连接板7，后支撑座6的后端抵靠在后连接板7上，罗拉轴Ia的后端插接在后支承座6上，罗拉轴Ia和后支承座6为非固连结构，罗拉轴Ia相对于后支承座6能进行轴向运动。前罗拉架2上固连有一前固定座8，罗拉轴Ia的前端上设置有压板9和锁紧螺母10，压板9套设在罗拉轴Ia上，且压板9的后端面压设在前固定座8上，锁紧螺母10通过螺纹旋接在罗拉轴Ia上，且锁紧螺母10的后端面压设在压板9上。
[0018]参照图1，罗拉I包括同轴设置的罗拉轴la、罗拉芯轴Ib和罗拉滚筒lc，罗拉芯轴Ib的两端分别通过2个轴承4套设在罗拉轴Ia的外部，罗拉芯轴Ib与罗拉轴Ia之间相互独立，互不干涉，罗拉芯轴Ib的前端端部环设有一圈挡沿Ibl，罗拉滚筒Ic套设在罗拉芯轴Ib的外部，罗拉芯轴Ib的后端固连有一后防砂套13，后防砂套13的后防砂套13的后端套装在后支承座6上，后防砂套13的